CN102723297A - 一种具有末端负载支撑且结构对称的xy精密运动平台 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种具有术端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台，包括底板组件(1)、底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)，运动平台连接体组件(4)由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成，磁力预紧滚动支撑机构包括4块高磁合金块。本发明具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式、更小的结构尺寸，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。

Description

一种具有末端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台

技术领域

本发明涉及半导体芯片封装设备，具体涉及一种与传统的XY运动平台相比较，具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式、更小的结构尺寸的XY精密运动平台，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。

背景技术

在半导体芯片封装领域，传统的XY运动平台一般的驱动结构为普通直线电机，动子一般以悬臂梁的方式从直线电机壳中伸出，而运动连接机构一般采用两组具有悬臂梁方式的滚子导轨进行滑动连接，易产生振颤，造成系统刚度较低；运动控制方式一般以步进方式进行，运动精度较差；连接方式一般为机构耦合式，即一个方向的整体驱动机构连同装夹机构及负载，完全承载于另一个方向的驱动之上，成为另一个方向驱动的负载。因此，传统的XY运动平台主要缺点为：一是平台的系统刚度较低；二是运动精度较差；三是在机构耦合方式中，运动部件质量及体积较大，不适应较狭窄的空间使用；四是使用零部件较多，装配调整较为复杂，制造成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构合理，具有更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式、更小的结构尺寸的XY精密运动平台。

本发明的发明目的是这样实现的：一种具有术端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台，底板组件包括底板在底板上安装有X轴直线电机组件、Y轴直线电机组件、运动平台连接体组件；其中，X轴直线电机组件通过X轴直线电机安装座螺钉安装在底板的X轴安装平面上；Y轴直线电机组件通过Y轴直线电机安装座螺钉安装在底板的Y轴安装平面上；运动平台连接体组件的上端通过导向连接体与X轴直线电机动子连接杆、Y轴直线电机动子连接杆相连接；运动平台连接体组件的下端通过磁力预紧滚动支撑机构的连接体固定台座并利用固定台座安装螺钉安装在底板的相应安装平面上；

在底板组件中，X轴光栅尺读数头角架通过X轴角架安装螺钉装在底板的相应平面上；X轴光栅尺读数头通过X轴读数头安装螺钉安装在X轴光栅尺读数头角架的相应位置；X轴精密运动导轨通过X轴导轨安装螺钉安装在底板的X轴导轨的安装平面上；X轴导轨滑块滑动安装在X轴精密运动导轨上；Y轴光栅尺读数头角架通过Y轴角架安装螺钉安装在底板的相应平面上；Y轴光栅尺读数头通过Y轴读数头安装螺钉安装在Y轴光栅尺读数头角架的相应位置；Y轴精密运动导轨通过Y轴导轨安装螺钉安装在底板的Y轴导轨的安装平面上；Y轴导轨滑块滑动安装在Y轴精密运动导轨上；

在X轴直线电机组件中，X轴直线电机安装座通过X轴直线电机安装座螺钉安装在底板的X轴安装平面上；X轴直线电机定子及壳体通过定位镶嵌安装在X轴直线电机安装座的安装平面上；X轴直线电机动子安装在X轴直线电机定子及壳体内；X轴直线电机动子连接杆通过X轴电机动子连接杆螺钉安装在X轴直线电机动子端面的螺钉孔内；X轴光栅尺架过X轴光栅尺架安装螺钉安装在X轴直线电机动子侧面的螺钉孔内；

在Y轴直线电机组件中，Y轴直线电机安装座通过Y轴直线电机安装座螺钉安装在底板的Y轴安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体通过定位镶嵌安装在Y轴直线电机安装座的安装平面上；Y轴直线电机动子安装在Y轴直线电机定子及壳体内；Y轴直线电机动子连接杆通过Y轴电机动子连接杆螺钉安装在Y轴直线电机动子端面的螺钉孔内；Y轴光栅尺架通过Y轴光栅尺架安装螺钉安装在Y轴直线电机动子侧面的螺钉孔内；

运动平台连接体组件由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成；磁力预紧滚动支撑机构中的连接体固定台座通过固定台座安装螺钉安装在底板的固定台座安装平面上；固定衬板固定在连接体固定台座上的凹腔内；在滚动钢珠组件中，钢珠上衬板、钢珠下衬板上各开有圆形孔，滚动钢珠装入钢珠上衬板，钢珠上衬板与钢珠下衬板热合；活动衬板固定在活动台座下表面的凹腔内；4块高磁合金块固定在活动台座对称的4个侧面的凹腔内；导向连接体定在活动台座的上表面；导向连接体通过导向连接螺钉将X轴直线电机动子连接杆和Y轴直线电机动子连接杆铰接在导向连接体上的安装孔内。

优选地，设置两组X轴精密运动导轨和两组Y轴精密运动导轨。

优选地，设置滑动安装在X轴精密运动导轨上的4个X轴导轨滑块和滑动安装在Y轴精密运动导轨上的4个Y轴导轨滑块。

优选地，两根X轴直线电机动子连接杆以铰接形式通过X轴电机动子连接杆螺钉安装在X轴直线电机动子端面的螺钉孔内并且两根Y轴直线电机动子连接杆以铰接形式通过Y轴电机动子连接杆螺钉安装在X轴直线电机动子端面的螺钉孔内。

优选地，X轴直线电机动子只能沿X轴方向在一定范围内进行直线运动；Y轴直线电机动子只能沿Y轴方向在一定范围内进行直线运动。

优选地，磁力预紧滚动支撑机构中的连接体固定台座由碳素钢制成。

优选地，固定衬板的上表面是与滚动钢珠组相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度；活动衬板的下表面是与钢珠组相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度；

优选地，滚动钢珠组所用钢珠是轴承专用钢珠；钢珠上衬板和钢珠下衬板由非金属材料制成。

优选地，活动台座由不导磁的轻质金属材料制成。

优选地，活动衬板、高磁合金块、活动台座、导向连接体经胶粘剂粘合成一体，以活动衬板的下表面与滚动钢珠组件相接触。

本发明的具有末端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台具有如下优点：

1.由于X轴、Y轴直线电机动子均采用以精密导轨与滑块机构作为运动支撑，没有普通直线电机动子的悬臂梁结构所产生的振颤，因此使系统的运动刚度得到提高。

2.由于在运动平台连接体组件中，采用磁力预紧滚动支撑机构，通过滚动钢珠组件的支撑作用，使运动平台连接体组件的支撑刚度得到提高。

3.由于采用独特的平行四边形与自由滚动机构的解耦方式，在保证系统刚度的同时，使解耦运动既简单、又适用；

4.由于整机的结构尺寸更为小巧，利于在空间狭小的生产线上应用；

5.结构相对简单，生产成本较低。

附图说明

图1为本发明的XY精密运动平台及所定义的X/Y/Z坐标系的三维示意图；

图2为底板组件的三维分解图；

图3为X轴直线电机组件的三维分解图；

图4为Y轴直线电机组件的三维分解图；

图5为运动平台连接体组件的三维分解图。

在图1中，具体附图标记表示：1-底板组件；2-X轴直线电机组件；3-Y轴直线电机组件、4-运动平台连接体组件；

在图2中，具体附图标记表示：5-底板、6-X轴光栅尺读数头角架、7-X轴角架安装螺钉、8-X轴光栅尺读数头、9-X轴读数头安装螺钉、10-X轴精密运动导轨、11-X轴导轨滑块、12-X轴导轨安装螺钉、13-Y轴导轨安装螺钉、14-Y轴导轨滑块、15-Y轴精密运动导轨、16-Y轴角架安装螺钉、17-Y轴光栅尺读数头角架、18-Y轴读数头安装螺钉、19-Y轴光栅尺读数头；

在图3中，具体附图标记表示：20-X轴光栅尺架安装螺钉、21-X轴光栅尺架、22-X轴直线电机安装座、23-X轴直线电机定子及壳体、24-X轴直线电机安装座螺钉、25-X轴直线电机动子连接杆、26-X轴直线电机动子、27-X轴电机动子连接杆螺钉；

在图4中，具体附图标记表示：28-Y轴直线电机动子连接杆、29-Y轴电机动子连接杆螺钉、30-Y轴直线电机动子、31-Y轴直线电机定子及壳体、32-Y轴直线电机安装座螺钉、33-Y轴直线电机安装座、34-Y轴光栅尺架、35-Y轴光栅尺架安装螺钉；

在图5中，具体附图标记表示：36-连接体固定台座、37-固定衬板、38-固定台座安装螺钉、39-钢珠下衬板、40-滚动钢珠组、41-钢珠上衬板、42-活动衬板、43-高磁合金块、44-活动台座、45-导向连接体、46-导向连接螺钉。

具体实施方式

结合附图对本发明作进一步说明：

参照附图1-5所示，一种具有末端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台包括：底板组件1、X轴直线电机组件2、Y轴直线电机组件3、运动平台连接体组件4、底板5、X轴光栅尺读数头角架6、X轴角架安装螺钉7、X轴光栅尺读数头8、X轴读数头安装螺钉9、X轴精密运动导轨10、X轴导轨滑块11、X轴导轨安装螺钉12、Y轴导轨安装螺钉13、Y轴导轨滑块14、Y轴精密运动导轨15、Y轴角架安装螺钉16、Y轴光栅尺读数头角架17、Y轴读数头安装螺钉18、Y轴光栅尺读数头19、X轴光栅尺架安装螺钉20、X轴光栅尺架21、X轴直线电机安装座22、X轴直线电机定子及壳体23、X轴直线电机安装座螺钉24、X轴直线电机动子连接杆25、X轴直线电机动子26、X轴电机动子连接杆螺钉27、Y轴直线电机动子连接杆28、Y轴电机动子连接杆螺钉29、Y轴直线电机动子30、Y轴直线电机定子及壳体31、Y轴直线电机安装座螺钉32、Y轴直线电机安装座33、Y轴光栅尺架34、Y轴光栅尺架安装螺钉35、连接体固定台座36、固定衬板37、固定台座安装螺钉38、钢珠下衬板39、滚动钢珠组40、钢珠上衬板41、活动衬板42、高磁合金块43、活动台座44、导向连接体45、导向连接螺钉46。

底板组件1包括底板5，在底板5上安装有X轴直线电机组件2、Y轴直线电机组件3、运动平台连接体组件4；其中，X轴直线电机组件2通过X轴直线电机安装座螺钉24安装在底板5的X轴安装平面上；Y轴直线电机组件3通过Y轴直线电机安装座螺钉32安装在底板5的Y轴安装平面上；运动平台连接体组件4的上端通过导向连接体45与X轴直线电机动子连接杆25、Y轴直线电机动子连接杆28相连接；运动平台连接体组件4的下端通过磁力预紧滚动支撑机构的连接体固定台座36并利用固定台座安装螺钉38安装在底板5的相应安装平面上。

底板组件1中，X轴光栅尺读数头角架6通过X轴角架安装螺钉7安装在底板5的相应平面上；X轴光栅尺读数头8通过X轴读数头安装螺钉9安装在X轴光栅尺读数头角架6的相应位置；两组X轴精密运动导轨10通过X轴导轨安装螺钉12安装在底板5的X轴导轨的安装平面上；4个X轴导轨滑块11滑动安装在两组X轴精密运动导轨10上；Y轴光栅尺读数头角架17通过Y轴角架安装螺钉16安装在底板5的相应平面上；Y轴光栅尺读数头19通过Y轴读数头安装螺钉18安装在Y轴光栅尺读数头角架17的相应位置；两组Y轴精密运动导轨15通过Y轴导轨安装螺钉13安装在底板5的Y轴导轨的安装平面上；4个Y轴导轨滑块14滑动安装在两组Y轴精密运动导轨15上。

X轴直线电机组件2中，X轴直线电机安装座22通过X轴直线电机安装座螺钉24安装在底板5的X轴安装平面上；X轴直线电机定子及壳体23通过定位镶嵌安装在X轴直线电机安装座22的安装平面上；X轴直线电机动子26安装在X轴直线电机定子及壳体23内；两根X轴直线电机动子连接杆25以铰接形式通过X轴电机动子连接杆螺钉27安装在X轴直线电机动子26端面的螺钉孔内；X轴光栅尺架21通过X轴光栅尺架安装螺钉20安装在X轴直线电机动子26侧面的螺钉孔内；X轴直线电机动子26只能沿X轴方向在一定范围内进行直线运动。

Y轴直线电机组件3中，Y轴直线电机安装座33通过Y轴直线电机安装座螺钉32安装在底板5的Y轴安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体31通过定位镶嵌安装在Y轴直线电机安装座33的安装平面上；Y轴直线电机动子30安装在Y轴直线电机定子及壳体31内；两根Y轴直线电机动子连接杆28以铰接形式通过Y轴电机动子连接杆螺钉29安装在Y轴直线电机动子30端面的螺钉孔内；Y轴光栅尺架34通过Y轴光栅尺架安装螺钉35安装在Y轴直线电机动子30侧面的螺钉孔内；Y轴直线电机动子30只能沿Y轴方向在一定范围内进行直线运动。

运动平台连接体组件4由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成；磁力预紧滚动支撑机构中的连接体固定台座36由碳素钢制成，通过固定台座安装螺钉38安装在底板5的固定台座安装平面上；固定衬板37以胶粘剂粘合在连接体固定台座36上面的凹腔内；固定衬板37的上表面是与滚动钢珠组相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度；在滚动钢珠组件中，滚动钢珠组40所用钢珠是轴承专用钢珠；钢珠上衬板41、钢珠下衬板39都由非金属材料制成，各开有1组圆形孔；滚动钢珠装入钢珠上衬板41，并与钢珠下衬板39热合后，滚动钢珠组40的钢珠能够在热合后的钢珠衬板内自由滚动；将滚动钢珠组件自由放置在固定衬板37的上表面，滚动钢珠组件应能够在表面上自由滚动；活动衬板42以胶粘剂粘合在活动台座44下表面的凹腔内；活动衬板42的下表面是与钢珠组相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度；活动台座44由不导磁的轻质金属材料制成，4块高磁合金块43以胶粘剂粘合在活动台座44对称的4个侧面的凹腔内；导向连接体45以胶粘剂粘合在活动台座44的上表面；上述活动衬板42、高磁合金块43、活动台座44、导向连接体45经胶粘剂粘合后组件为一体，以活动衬板42的下表面与滚动钢珠组件相接触，放在滚动钢珠组件上，此时滚动钢珠组件支撑运动平台连接体组件4中的运动部分，在固定衬板37的上表面自由滚动；导向连接体45通过4个导向连接螺钉46，将两根X轴直线电机动子连接杆25、两根Y轴直线电机动子连接杆28铰接在导向连接体45上的4个安装孔内。

在此所述的直线电机动子的端面是指X轴直线电机动子26处于图3所示位置时或Y轴直线电机动子30处于图4所示位置时的上表面，侧面是指X轴直线电机动子26处于图3所示位置时或Y轴直线电机动子30处于图4所示位置时的侧表面。

本发明的XY精密运动平台的工作原理为：安装在底板组件1上的X轴直线电机组件2，由X轴直线电机动子26的线圈提供驱动力，驱动X轴直线电机动子26，经X轴精密运动导轨10、X轴导轨滑块11导向，沿X方向进行运动；安装在底板组件1上的Y轴直线电机组件3，由Y轴直线电机动子30的线圈提供驱动力，驱动Y轴直线电机动子30，经Y轴精密运动导轨15、Y轴导轨滑块14导向，沿Y方向进行运动；由于X轴直线电机动子26、Y轴直线电机动子30都是在X轴精密运动导轨10、X轴导轨滑块11、Y轴精密运动导轨15、Y轴导轨滑块14的支撑下运动，因此没有普通直线电机动子的悬臂梁结构所产生的振颤，使系统的运动刚度得以提高；运动平台连接体组件4的活动台座44以不导磁的轻质金属材料制造，当胶粘剂将4块高磁合金块43粘合在活动台座44对称的4个侧面的凹腔内后，形成了对称的4个强磁极；连接体固定台座36是以碳素结构钢制造，具有良好的导磁性；当在连接体固定台座36中粘合的固定衬板37上表面上放置滚动钢珠组件、并将运动平台连接体组件4的运动部分放置在滚动钢珠组件上后，在活动台座44中4个强磁极的磁性力作用下，吸引连接体固定台座36而形成了磁性预紧力，并通过磁性预紧力将整个运动平台连接体组件4在Z轴方向吸合为一体，而在XY平面上的一定范围内，运动部分则可以任意移动；因滚动钢珠组40中的钢珠是轴承专用钢珠，具有很高的圆度、硬度和良好表面粗糙度；活动衬板42与固定衬板37均以合金钢材制造，与滚动钢珠接触的表面经淬火及抛光处理后，具有很高的硬度和良好的表面粗糙度；因此滚动钢珠组40在活动衬板42与固定衬板37的相接触表面滚动时，具有很高的支撑刚度，产生的磨擦力极小，对牵引力具有很高的灵敏度；铰接在X轴方向的两根X轴直线电机动子连接杆25，和与其铰接的X轴直线电机动子26、导向连接体45之间，形成一个不稳定的平行四边形；铰接在Y轴方向的两根Y轴直线电机动子连接杆28，和与其铰接的Y轴直线电机动子30、导向连接体45之间，也形成一个不稳定的平行四边形；由于上述X轴与Y轴的运动组件，带动两个不稳定的平行四边形的内角沿铰接轴的变化，加之滚动钢珠组件带动运动平台连接体组件4中的运动部分在XY平面的一定范围内的自由运动，构成了本发明独特的解耦运动方式，从而使运动平台连接体组件4中的运动部分所装夹的工件，可以达到加工范围内XY平面上的任一点；精密运动平台的运动精度是依据安装在X轴和Y轴方向的光栅尺进行精密测量与反馈，由计算机控制完成的，可以达到很高的精度。

Claims (10)

1.一种具有末端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台，其特征在于，底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)；其中，X轴直线电机组件(2)通过X轴直线电机安装座螺钉(24)安装在底板(5)的X轴安装平面上；Y轴直线电机组件(3)通过Y轴直线电机安装座螺钉(32)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；运动平台连接体组件(4)的上端通过导向连接体(45)与X轴直线电机动子连接杆(25)、Y轴直线电机动子连接杆(28)相连接；运动平台连接体组件(4)的下端通过磁力预紧滚动支撑机构的连接体固定台座(36)并利用固定台座安装螺钉(38)安装在底板(5)的相应安装平面上；

在底板组件(1)中，X轴光栅尺读数头角架(6)通过X轴角架安装螺钉(7)安装在底板(5)的相应平面上；X轴光栅尺读数头(8)通过X轴读数头安装螺钉(9)安装在X轴光栅尺读数头角架(6)的相应位置；X轴精密运动导轨(10)通过X轴导轨安装螺钉(12)安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上；X轴导轨滑块(11)滑动安装在X轴精密运动导轨(10)上；Y轴光栅尺读数头角架(17)通过Y轴角架安装螺钉(16)安装在底板(5)的相应平面上；Y轴光栅尺读数头(19)通过Y轴读数头安装螺钉(18)安装在Y轴光栅尺读数头角架(17)的相应位置；Y轴精密运动导轨(15)通过Y轴导轨安装螺钉(13)安装在底板(5)的Y轴导轨的安装平面上；Y轴导轨滑块(14)滑动安装在Y轴精密运动导轨(15)上；

在X轴直线电机组件(2)中，X轴直线电机安装座(22)通过X轴直线电机安装座螺钉(24)安装在底板(5)的X轴安装平面上；X轴直线电机定子及壳体(23)通过定位镶嵌安装在X轴直线电机安装座(22)的安装平面上；X轴直线电机动子(26)安装在X轴直线电机定子及壳体(23)内；X轴直线电机动子连接杆(25)通过X轴电机动子连接杆螺钉(27)安装在X轴直线电机动子(26)端面的螺钉孔内；X轴光栅尺架(21)通过X轴光栅尺架安装螺钉(20)安装在X轴直线电机动子(26)侧面的螺钉孔内；

在Y轴直线电机组件(3)中，Y轴直线电机安装座(33)通过Y轴直线电机安装座螺钉(32)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体(31)通过定位镶嵌安装在Y轴直线电机安装座(33)的安装平面上；Y轴直线电机动子(30)安装在Y轴直线电机定子及壳体(31)内；Y轴直线电机动子连接杆(28)通过Y轴电机动子连接杆螺钉(29)安装在Y轴直线电机动子(30)端面的螺钉孔内；Y轴光栅 尺架(34)通过Y轴光栅尺架安装螺钉(35)安装在Y轴直线电机动子(30)侧面的螺钉孔内；

运动平台连接体组件(4)由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成；磁力预紧滚动支撑机构中的连接体固定台座(36)通过固定台座安装螺钉(38)安装在底板(5)的固定台座安装平面上；固定衬板(37)固定在连接体固定台座(36)上的凹腔内；在滚动钢珠组件(40)中，钢珠上衬板(41)、钢珠下衬板(39)上各开有圆形孔，滚动钢珠装入钢珠上衬板(41)，钢珠上衬板(41)与钢珠下衬板(39)热合；活动衬板(42)固定在活动台座(44)下表面的凹腔内；4块高磁合金块(43)固定在活动台座(44)对称的4个侧面的凹腔内；导向连接体(45)固定在活动台座(44)的上表面；导向连接体(45)通过导向连接螺钉(46)将X轴直线电机动子连接杆(25)和Y轴直线电机动子连接杆(28)铰接在导向连接体(45)上的安装孔内。

2.根据权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，设置两组X轴精密运动导轨(10)和两组Y轴精密运动导轨(15)。

3.根据权利要求2所述的XY精密运动平台，其特征在于，设置滑动安装在X轴精密运动导轨(10)上的4个X轴导轨滑块(11)和滑动安装在Y轴精密运动导轨(15)上的4个Y轴导轨滑块(14)。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，两根X轴直线电机动子连接杆(25)以铰接形式通过X轴电机动子连接杆螺钉(27)安装在X轴直线电机动子(26)端面的螺钉孔内并且两根Y轴直线电机动子连接杆(28)以铰接形式通过Y轴电机动子连接杆螺钉(29)安装在X轴直线电机动子(30)端面的螺钉孔内。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，X轴直线电机动子(26)只能沿X轴方向在一定范围内进行直线运动；Y轴直线电机动子(30)只能沿Y轴方向在一定范围内进行直线运动。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，磁力预紧滚动支撑机构中的连接体固定台座(36)由碳素钢制成。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，固定衬板(37)的上表面是与滚动钢珠组(40)相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度；活动衬板(42)的下表面是与钢珠组(40)相接触的表面，经淬火及表面抛光处理，有很高的硬度和极好的表面粗糙度。 

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，滚动钢珠组(40)所用钢珠是轴承专用钢珠；钢珠上衬板(41)和钢珠下衬板(39)由非金属材料制成。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，活动台座(44)由不导磁的轻质金属材料制成。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的XY精密运动平台，其特征在于，活动衬板(42)、高磁合金块(43)、活动台座(44)、导向连接体(45)经胶粘剂粘合成一体，以活动衬板(42)的下表面与滚动钢珠组件相接触。 

Images