JP2714502B2 - 移動ステージ装置 - Google Patents
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Description
び工作機械などに適用される移動ステージ装置に関し、
特に、高速かつ高精度の位置決めを必要とする移動ステ
ージ装置に関する。
従来例の一つを示す上面図であり、図11は、図10の
E−E線に沿う拡大断面図である。
減衰させる剛性の低い定盤支持手段である2つのダンパ
61,62(図11参照)によって支持された定盤1と、
定盤1上の図10図示上端および下端にそれぞれ設けら
れた案内手段である2つの案内板311,312と、複数
個の流体静圧軸受(図10および図11には、流体静圧
軸受3211,3212,3213,3221,3222,3223
のみ図示。)を介して定盤1と各案内板311,312と
によって非接触に支持された可動ステージ2と、定盤1
上に設けられた、可動ステージ2に推力を与える駆動手
段であるリニアモータ4(図11参照)とからなる。
2の裏面(定盤1側の面)に固定された、矩形状の中空
部を有するヨーク42と、可動ステージ2の移動方向
(図10図示横方向)に一列に定盤1上に固定された、
ヨーク42の中空部を貫通する駆動コイル41群と、駆
動コイル41群を挟んでヨーク42の中空部に取付けら
れた一対の永久磁石431,432とから構成されてい
る。また、可動ステージ2は、リニアモータ4により推
力が与えられて各案内板311,312に沿って移動する
が、このときの可動ステージ2の移動量は、可動ステー
ジ2上に固定されたミラー52とレーザ測長器51とか
らなるレーザ測長系によって計測された可動ステージ2
の位置情報に基づいて制御される。さらに、各ダンパ6
1,62は、定盤1と床との間に設けられており、床から
の振動を定盤1に伝えないように共振周波数が下げられ
て剛性が低くされており、定盤1に生じた振動を減衰さ
せる特性を有する。
2の高速かつ高精度な位置決めを達成するため、図12
に示すように、たとえば、停止状態から目標位置近傍ま
での大移動には高速度の移動が可能な速度制御を用い、
目標位置近傍での正確な位置決めには位置制御を用いる
という駆動方法が採られる。ここで、前記速度制御にお
いて高速な移動を達成するため、リニアモータ4を用い
るとともに図12に示すように停止状態から急加速で速
度を立ち上げて目標位置直前で急減速することによっ
て、最高速度をできるだけ大きくしかつできるだけ長く
維持している。
述した従来の移動ステージ装置では、以下に示す問題が
あった。
反力を定盤1上のリニアモータ4の駆動コイル41群が
受けるとともに、各ダンパ61,62の剛性が低いため
に、速度制御時の可動ステージ2の加減速を急にすれば
するほどその反力を受けて定盤1が大きく揺れてしま
う。このため、位置制御時には残留した定盤1の振動に
よって可動ステージ2が揺すられ、却って最終的な位置
決めに時間がかかる。
が変化し、それにより可動ステージ2の姿勢も変化す
る。このため、加工機械などに適用した場合には、加工
精度の悪化を招き、また、半導体焼き付け装置に適用し
た場合には、ステージの傾きによって焼き付け光の焦点
がずれて解像度が悪化するなどの影響がある。
振動を効果的に止める手段がなく、定盤1の振動の影響
がなくなるまで自然に振動が減衰するのを待つしかな
い。
加減速を行うとリニアモータ4の発熱量が多くなり、こ
れによって可動ステージ2などが熱変形を起こす。この
ため、加工機械などに適用した場合には、可動ステージ
2の熱変形によりミラー52と加工点との間の距離が変
化して、加工精度の悪化を招く。また、半導体焼き付け
装置に適用した場合には、ミラー52と焼き付け位置と
の間の距離の変化によって、焼き付け精度が悪化する。
するために使われてしまうので、エネルギーの無駄が生
じる。
解決すべくなされたもので、その目的は、位置決めの高
速化および高精度化が図れるとともに、エネルギーの無
駄が生じない優れた移動ステージ装置を提供することに
ある。
置は、ダンパ手段を介して支持された定盤と、該定盤上
を移動する可動ステージと、該可動ステージに推力を与
えて直進移動させるためのリニアモータと、前記可動ス
テージを前記定盤の面に平行な所定方向に案内するため
の案内部材と、前記可動ステージを該案内部材に案内す
る第1の流体静圧軸受と、前記可動ステージを前記定盤
の面に対して支持案内する第2の流体静圧軸受とを備
え、前記リニアモータの固定部を前記定盤及び前記ダン
パ手段とは独立した支持手段で支持して、前記可動ステ
ージの移動方向に関する前記リニアモータの加減速の反
力を該支持手段で受けるようにしたものである。
永久磁石とを備え、前記リニアモータの固定部は該駆動
コイルを有するものや、前記可動ステージに位置制御用
の推力を与えるため、前記リニアモータとは別に設けら
れた駆動手段を有するものや、前記移動方向に関する前
記可動ステージの位置を計測するレーザ干渉計を有し、
該レーザ干渉計のミラーが前記可動ステージ上に搭載さ
れているものであってもよい。
直進推力を与えるためのリニアモータの固定部が定盤お
よびダンパ手段とは独立した支持手段により支持され、
しかも、定盤と可動ステージとの間、および案内部材と
可動ステージとの間は流体静圧軸受で非接触に支持案内
されており、リニアモータの加減速の反力を支持手段で
受けるようにしている。従って、可動ステージは定盤か
らも床からも案内部材からも非接触で機械的に切り離さ
れた状態をなし、床からの高周波振動などが可動ステー
ジに伝達されることはなく、かつ、リニアモータの加減
速反力が定盤に伝達されることもないため、高精度かつ
高速な位置決めが可能となる。
て説明する。
の実施例を示す上面図であり、図2は、図1のA−A線
に沿う拡大断面図である。
図10に示した従来の移動ステージ装置と異なる。
リニアモータ4の他に、可動ステージ2の図1図示上方
に取付板76を介して取り付けられた第2のリニアモー
タ7を有し、このリニアモータ4を別の駆動手段として
用いている。ここで、第2のリニアモータ7は、図2に
示すように、図示左側面が取付板76に取付けられた、
矩形状の中空部を有する第2のヨーク72と、可動ステ
ージ2の移動方向(図1図示横方向)に一列に設けられ
た、第2のヨーク72の中空部を貫通する第2の駆動コ
イル71群と、第2の駆動コイル71群を挟んで第2の
ヨーク72内に取付けられた一対の第2の永久磁石73
1,732とから構成されている。
左端および右端は、支持板81および支持板82により床
上にそれぞれ支持されている。ここで、各支持板81,
82は定盤1およびダンパ6 1 ,6 2 とは独立したもので
あり、高い剛性をもつように第2の駆動コイル71群を
床に直接支持している。
モータ4と第2のリニアモータ7とは、レーザ測長器5
1と可動ステージ2上に搭載されたミラー52とからな
るレーザ測長系によって計測された可動ステージ2の位
置情報に基づいて駆動される。ここで、リニアモータ4
の駆動コイル41とヨーク42とは非接触であるから、
駆動コイル41に電流を供給する回路をオン/オフする
手段を設けておくことにより力の伝達および非伝達を切
替えることができる。第2のリニアモータ7についても
同様である。
駆動方法を説明する図である。
度の移動が可能な速度制御を用いて停止位置から目標位
置近傍までの大移動を行ったのち、位置制御を用いて目
標位置近傍での正確な位置決めを行う点については、図
12で説明した従来の移動ステージ装置の駆動方法と同
じであるが、次の点で異なる。
第2のリニアモータ7のみを使用する。
は、リニアモータ4のみを使用する。
用いて可動ステージ2を移動させるときには、リニアモ
ータ4は使用せずに第2のリニアモータ7のみを使用し
て、図3左側に示す予め定めた速度指令曲線に従って目
標位置近傍まで可動ステージ2を移動する。このとき、
可動ステージ2は、図2に示す流体静圧軸受3211,3
221などの複数個の流体静圧軸受を介して定盤1に非接
触に支持されているとともに、図1に示す4つの流体静
圧軸受3212,3213,3222,3223を介して各案内
板311,312に非接触に支持されているため、可動ス
テージ2と定盤1および各案内板311,312との間に
は摩擦力などの力はほとんど働かない。また、リニアモ
ータ4の駆動コイル41群とヨーク42も非接触である
から、リニアモータ4を使用しなければ、可動ステージ
2と定盤1との間にはリニアモータ4を介して伝わる力
はほとんどない。したがって、定盤1とは別に設置され
た第2のリニアモータ7を使用して可動ステージ2を駆
動した場合には、定盤1は力学的に切離されており、従
来の駆動方法では生じた急加減速の反力による振動は起
こらない。また、このとき、第2のリニアモータ7の第
2の駆動コイル71群は各支持板81,82により高剛性
で支持されているため、急加減速の反力による振動は小
さく、エネルギーの無駄が少ない。
ほぼ停止したところで、速度制御を終了するため第2の
リニアモータ7を停止させる。このとき、第2のリニア
モータ7の第2の駆動コイル71群と第2のヨーク72
とは力学的に切離されるため、第2の駆動コイル71は
速度制御時の加減速の反力を受けて小さく振動するとと
もに、各支持板81,82が高剛性のため床からの振動が
伝わってくる。しかし、これ以後の位置決め時に、定盤
1と可動ステージ2とに第2の駆動コイル71の振動の
影響が及ぶことはない。また、定盤1上のリニアモータ
4を用いて位置制御を行えば、従来の加減速による振動
の影響を受けずに、高速かつ高精度の位置決めを行うこ
とができる。位置決め時に発生する加減速は、速度制御
による移動時に発生するものに比べ非常に小さいため、
位置決め時の加減速による反力の影響はほとんどない。
す利点がある。
ため、従来の駆動方法で生じていた定盤1の姿勢変化に
よる加工精度や焼き付け精度の悪化が起こらない。
盤1外に設置された第2のリニアモータ7を使用して行
うため、位置決めに用いる定盤1上のリニアモータ4は
大きな推力を必要としない。このため、リニアモータ4
が発生する熱量は、従来の駆動方法の場合に比べて非常
に小さくなる。また、大量の熱を発生する第2のリニア
モータ7は定盤1や可動ステージ2から離れて支持され
ているため、定盤1や可動ステージ2が受ける熱量は従
来の駆動方法の場合より少なくなるため、熱変形による
加工精度や焼き付け精度の悪化を防ぐことができる。
まった場合には、リニアモータ4と第2のリニアモータ
7とを同時に使用することにより、各支持板81,82を
基準として定盤1の振動を止めることができる。このと
きの駆動手法としては、リニアモータ4と第2のリニア
モータ7とに同時にサーボロックを掛けて、各支持板8
1,82に対して可動ステージ2をサーボロックによって
固定してしまう手法、あるいは、一方のリニアモータを
サーボロックによって固定し、他方のリニアモータに制
振制御を掛ける手法がある。
の実施例を示す上面図であり、図5は、図4のB−B線
に沿う拡大断面図である。
図1に示した移動ステージ装置と異なる。
案内板311,312の代わりに、定盤1の図4図示上下
端付近にそれぞれ設けられた2つの摺動案内溝831,
832を有する。
7の代わりに、同図図示左方に設けられた2つのプーリ
841,842および同図図示右方に設けられた2つのプ
ーリ843,844と、各プーリ841〜844に張設され
たワイヤ85と、同図図示左下側のプーリ842 を回転
駆動するモータ81とを有する。ここで、ワイヤ85
は、図5に示すように、コの字形状の断面を有する可動
ステージ2の内側壁とヨーク42の両側との間に形成さ
れた2つの空間部をそれぞれ通るように設けられてお
り、可動ステージ2の内側壁とヨーク42の側壁との間
に設けられたクランパ86でワイヤ85を挟むことによ
り可動ステージ2に推力が伝達される。
支持板81,82の代わりに、4つの支持ダンパ881〜
884を有する。ここで、図4図示左下側のプーリ842
を除く各プーリ841,843,844およびモータ81
は、各支持ダンパ881〜88 4により床上に支持されて
いる。また、各支持ダンパ881〜884は、駆動の反力
には剛性が高く、その他の方向には床からの振動を伝え
ないように、床に対して垂直にそれぞれ設けられてい
る。
のようにして行われる。
モータ81のみ使用する。
は、リニアモータ4のみ使用する。
より可動ステージ2を移動させるときには、リニアモー
タ4は使用せずにモータ81のみを使用して、予め定め
た速度指令曲線に従って目標位置近傍まで可動ステージ
2を移動する。このとき、可動ステージ2は摺動方向の
摩擦が非常に小さい各摺動案内溝831,832を介して
定盤1に支持されているため、可動ステージ2の加減速
による反力や振動は定盤1にはほとんど伝わらない。そ
の後、クランパ86を離してワイヤ85と可動ステージ
2を切離すことにより、加減速の反力によるワイヤ8
5,各プーリ84 1〜844およびモータ81の振動が可
動ステージ2や定盤1に伝わることを防止することがで
きる。その後の位置決め時には、図1に示した移動ステ
ージ装置と同様に、定盤1上に設置されたリニアモータ
4を用いることにより、定盤1を振動させることなく高
速高精度の位置決めが可能となる。
まった場合には、クランパ86によってワイヤ85を挟
んだ状態で、モータ81とリニアモータ4とを同時に使
用することにより、定盤1の振動を効果的に止めること
ができる。
の実施例を示す上面図であり、図7は、図6のC−C線
に沿う拡大断面図である。
1の実施例の移動ステージ装置の可動ステージ2が図6
図示XY平面上を自由に移動できるようにしたもの(い
わゆる、XYステージ)である。すなわち、この移動ス
テージ装置では、可動ステージ2は、X軸方向リニアモ
ータ4X (不図示)および一組の第2のX軸方向リニア
モータ7X1,7X2によりX軸方向に移動され、また、Y
軸方向リニアモータ4 Y (不図示)および一組の第2の
Y軸方向リニアモータ7Y1,7Y2によりY軸方向に移動
される。
図示上下で互いに交差する矩形状の中空部を有する2つ
のヨーク(X軸方向ヨーク42X とY軸方向ヨーク42
Y )が設けられており、図示上側のX軸方向ヨーク42
X はX軸方向リニアモータ4 X のヨークとして機能し、
また、図示下側のY軸方向ヨーク42Y はY軸方向リニ
アモータ4Y のヨークとして機能する。したがって、X
軸方向リニアモータ4 X は、X軸方向ヨーク42X と、
X軸方向に一列に固定された、X軸方向ヨーク42X の
前記中空を貫通するX軸方向駆動コイル41X 群と、X
軸方向駆動コイル41X 群を挟んで対向するようX軸方
向ヨーク42X に取付られた一対のX軸方向永久磁石4
3X1,43X2とからなる。
すように、X軸方向駆動コイル41 X 群のX軸方向の両
端側にそれぞれ各足96X1,96X2を有し、各足9
6X1,96X2は、定盤1上のX軸方向の両端部にそれぞ
れ固定された平行な一組のY軸方向案内板31Y1,31
Y2および定盤1に後述する流体静圧軸受を介して支持さ
れている。すなわち、図示左側の足96X1とY軸方向案
内板31Y1との間には2つの流体静圧軸受3211,32
12が設けられており、図示右側の足96X2とY軸方向案
内板31Y2との間には2つの流体静圧軸受3213,32
14が設けられている。また、図7に示すように、図示左
側の足96X1と定盤1との間には、2つの流体静圧軸受
3231,3232(流体静圧軸受3232は不図示)が設け
られており、図示右側の足96X2と定盤1との間には、
2つの流体静圧軸受3233,3234(流体静圧軸受32
34は不図示)が設けられている。さらに、図示していな
いが、X軸方向駆動コイル41X群とX軸方向ヨーク4
2X との左右の間にも、2つ流体静圧軸受がそれぞれ設
けられている。
ーク42Y と、Y軸方向に一列に設けられた、Y軸方向
ヨーク42Y の中空部を貫通するY軸方向駆動コイル4
1Y群と、Y軸方向駆動コイル41Y 群を挟んで対向す
るようY軸方向ヨーク42Yに取付けられた一対のY軸
方向永久磁石43Y1,43Y2とからなる。ここで、Y軸
方向駆動コイル41Y 群は、図6に示すように、Y軸方
向駆動コイル41Y 群のY軸方向の両端側にそれぞれ各
足96Y1,96Y2を有し、各足96Y1,96Y2は、定盤
1上のY軸方向の両端部にそれぞれ固定された平行な一
組のX軸方向案内板31X1,31X2および定盤1に後述
する流体静圧軸受を介して支持されている。すなわち、
同図図示上側の足96Y1とX方向案内板31X1との間に
は2つの流体静圧軸受3221,3222が設けられてお
り、図示右側の足96X2とX軸方向案内板31X2との間
には2つの流体静圧軸受3223,3224が設けられてい
る。また、図示していないが、同図図示上側の足96X1
と定盤1との間および図示下側の足96X2と定盤1との
間には、それぞれ流体静圧軸受が2つずつ設けられてい
る。さらに、Y軸方向駆動コイル41Y 群とY軸方向ヨ
ーク42Y との図7図示左右の間にも、2つの流体静圧
軸受3251,3252がそれぞれ設けられている。
は、図1に示した第1の実施例の第2のリニアモータ7
と同様の構造を有し、各ヨークがY軸方向駆動コイル4
1Y群の両端にそれぞれ取付られている。図6図示上側
の第2のX軸方向リニアモータ7X1の図示左端は支持板
8X11 により支持され、図示右端は支持板8X12 により
支持されている。また、図示下側の第2のX軸方向リニ
アモータ7X2の図示左端は支持板8X21 により支持さ
れ、図示右端は支持板8X22 により支持されている。
は、図1に示した第1の実施例の第2のリニアモータ7
と同様の構造を有し、各ヨークがX軸方向駆動コイル4
1X群の両端にそれぞれ取付られている。図6図示左側
の第2のY軸方向リニアモータ7Y1はの図示上端は支持
板8Y11 により支持され、図示下端は支持板8Y12 によ
り支持されている。また、図示右側の第2のY軸方向リ
ニアモータ7Y2の図示上端は支持板8Y21 により支持さ
れ、図示下端は支持板8Y22 により支持されている。
のようにして行われる。
一組の第2のX軸方向リニアモータ7X1,7X2と一組の
第2のY軸方向リニアモータ7Y1,7Y2とを使用する。
は、X軸方向リニアモータ4X とY軸方向リニアモータ
4Y とを使用する。
より可動ステージ2をX軸方向およびY軸方向に移動さ
せるときには、X軸方向リニアモータ4XとY軸方向リ
ニアモータ4Y とは使用せずに、一組の第2のX軸方向
リニアモータ7X1,7X2と一組の第2のY軸方向リニア
モータ7Y1,7Y2とを使用して、予め定めた速度指令曲
線に従って目標位置近傍まで可動ステージ2を移動す
る。その後の位置決め時には、X軸方向リニアモータ4
X とY軸方向リニアモータ4Y とを使用することによ
り、定盤1を振動させることなく高速高精度の位置決め
が可能となる。
まった場合には、X軸方向リニアモータ4X とY軸方向
リニアモータ4Y と一組の第2のX軸方向リニアモータ
7X1,7X2と一組の第2のY軸方向リニアモータ7Y1,
7Y2とを同時に使用することにより、定盤1の振動を止
めることができる。
X軸方向リニアモータ4X と一組の第2のX軸方向リニ
アモータ7X1,7X2とは、X軸方向レーザ測長器51X
とX軸方向ミラー52X とからなるX軸方向レーザ測長
系によって計測された可動ステージ2のX軸方向の位置
情報に基づいて駆動される。また、Y軸方向リニアモー
タ4Y と一組の第2のY軸方向リニアモータ7Y1,7Y2
とは、Y軸方向レーザ測長器51Y とY軸方向ミラー5
2YとからなるY軸方向レーザ測長系によって計測され
た可動ステージ2のY軸方向の位置情報に基づいて駆動
される。
の実施例を示す上面図であり、図9は、図1のD−D線
に沿う拡大断面図である。
で、図6に示した移動ステージ装置と異なる。
1X およびY軸方向駆動コイル41 Y の代わりに、X軸
方向梁101X およびY軸方向梁101Y がそれぞれ設
けられている。
端にそれぞれ一つずつ取付けられた一組のX軸方向リニ
アモータ4X1,4X2と、X軸方向梁101X の図示左右
端にそれぞれ一つずつ取付けられた一組のY軸方向リニ
アモータ4Y1,4Y2とを有する。図8には詳しく示して
いないが、各X軸方向リニアモータ4X1,4X2は、X軸
方向駆動コイルの図示左端および右端と定盤1との間に
各支持板がそれぞれ設けられることにより、定盤1にそ
れぞれ支持されている。各Y軸方向リニアモータ4Y1,
4Y2についても同様である。
のようにして行われる。
一組の第2のX軸方向リニアモータ7X1,7X2と一組の
第2のY軸方向リニアモータ7Y1,7Y2とを使用する。
は、一組のX軸方向リニアモータ4X1,X2と一組のY軸
方向リニアモータ4Y1,4Y2とを使用する。
より可動ステージ2をX軸方向およびY軸方向に移動さ
せるときには、一組のX軸方向リニアモータ4X1,X2と
一組のY軸方向リニアモータ4Y1,4Y2とは使用せず、
一組の第2のX軸方向リニアモータ7X1,7X2と一組の
第2のY軸方向リニアモータ7Y1,7Y2とを使用して、
予め定めた速度指令曲線に従って目標位置近傍まで可動
ステージ2を移動する。その後の位置決め時には、一組
のX軸方向リニアモータ4X1,X2と一組のY軸方向リニ
アモータ4Y1,4Y2とを用いることにより、定盤1を振
動させることなく高速高精度の位置決めが可能となる。
まった場合には、一組のX軸方向リニアモータ4X1,X2
と一組のY軸方向リニアモータ4Y1,4Y2と一組の第2
のX軸方向リニアモータ7X1,7X2と一組の第2のY軸
方向リニアモータ7Y1,7Y2とを同時に使用することに
より、定盤1の振動を止めることができる。
一組のX軸方向リニアモータ4X1, X2と一組の第2のX
軸方向リニアモータ7X1,7X2とは、X軸方向レーザ測
長器51X とX軸方向ミラー52X とからなるX軸方向
レーザ測長系によって計測された可動ステージ2のX軸
方向の位置情報に基づいて駆動される。また、一組のY
軸方向リニアモータ4Y1,4Y2と一組の第2のY軸方向
リニアモータ7Y1,7 Y2とは、Y軸方向レーザ測長器5
1Y とY軸方向ミラー52Y とからなるY軸方向レーザ
測長系によって計測された可動ステージ2のY軸方向の
位置情報に基づいて駆動される。
平行な面内を移動するものであったが、たとえば、シン
クロトロン放射光を光源とするX線露光装置(特開平2
−100311号公報)に用いられている、可動ステー
ジが床と垂直な面内を移動するものであってもよい。
ある。
を、定盤と独立した支持手段により支持することによ
り、大推力を必要とする速度制御を前記駆動手段を用い
て行えるため、可動ステージの加減速を急にしてもその
反力を前記支持手段で受けることができるので、位置決
めの高速化および高精度化を図れる。しかも、大推力に
よる反力を受ける前記支持手段を高剛性とすることによ
り、該支持手段は前記反力によってほとんど揺れないた
め、エネルギーの無駄をなくすことができる。また、大
推力を必要としない位置決め制御には、定盤上に設けら
れた別の駆動手段のみを用いて可動ステージに推力を与
えることにより、定盤を振動させることなく高速高精度
の位置決めが可能となる。何らかの原因で可動ステージ
が振動したときには、駆動手段と別の駆動手段との両方
を用いて可動ステージに推力を与えることにより、可動
ステージの振動を効果的に止めることができる。
ージに直進推力を与えるリニアモータの固定部を、定盤
およびダンパ手段とは独立した支持手段によって支持
し、さらに、定盤と可動ステージとの間、および案内部
材と可動ステージとの間を流体静圧軸受によって支持案
内し、かつ、リニアモータの加減速反力を支持部材で受
けるようにすることで、可動ステージの位置決めの高速
化および高精度化が図れるとともに、エネルギーの無駄
が生じない優れた移動ステージ装置を提供することがで
きる。
す上面図である。
明する図である。
す上面図である。
す上面図である。
す上面図である。
示す上面図である。
を説明する図である。
8Y12,8Y21,8Y22 支持板311,312 案内板 31X1,31X2 X軸方向案内板 31Y1,31Y2 Y軸方向案内板 3211〜3213,3221〜3223,3231,3233,3
241,3242,3251,3252 流体静圧軸受 41 駆動コイル 41X X軸方向駆動コイル 41Y Y軸方向駆動コイル 42 ヨーク 42X X軸方向ヨーク 42Y Y軸方向ヨーク 431,432,43X1,43X2,43Y1,43Y2 永
久磁石 51 レーザ測長器 51X X軸方向レーザ測長器 51Y Y軸方向レーザ測長器 52 ミラー 52X X軸方向ミラー 52Y Y軸方向ミラー 71 第2の駆動コイル 72 第2のヨーク 731,732 第2の永久磁石 81 モータ 831,832 摺動案内溝 841〜844 プーリ 85 ワイヤ 86 クランパ 881〜884 支持ダンパ 96X1,96X2,96Y1,96Y2 足 101X X軸方向梁 101Y Y軸方向梁
Claims (4)
- 【請求項1】 ダンパ手段を介して支持された定盤と、
該定盤上を移動する可動ステージと、該可動ステージに
推力を与えて直進移動させるためのリニアモータと、前
記可動ステージを前記定盤の面に平行な所定方向に案内
するための案内部材と、前記可動ステージを該案内部材
に案内する第1の流体静圧軸受と、前記可動ステージを
前記定盤の面に対して支持案内する第2の流体静圧軸受
とを備え、前記リニアモータの固定部を前記定盤及び前
記ダンパ手段とは独立した支持手段で支持して、前記可
動ステージの移動方向に関する前記リニアモータの加減
速の反力を該支持手段で受けるようにしたことを特徴と
する移動ステージ装置。 - 【請求項2】 前記リニアモータは駆動コイルと永久磁
石とを備え、前記リニアモータの固定部は該駆動コイル
を有する請求項1記載の移動ステージ装置。 - 【請求項3】 前記可動ステージに位置制御用の推力を
与えるため、前記リニアモータとは別に設けられた駆動
手段を有する請求項1記載の移動ステージ装置。 - 【請求項4】 前記移動方向に関する前記可動ステージ
の位置を計測するレーザ干渉計を有し、該レーザ干渉計
のミラーが前記可動ステージ上に搭載されている請求項
1記載の移動ステージ装置。
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