JPH0647135Y2

JPH0647135Y2 - エアスライド装置

Info

Publication number: JPH0647135Y2
Application number: JP1988135602U
Authority: JP
Inventors: 静山崎; 正昭鈴木
Original assignee: エヌティエヌ株式会社
Priority date: 1988-10-18
Filing date: 1988-10-18
Publication date: 1994-11-30
Anticipated expiration: 2003-10-18
Also published as: JPH0256915U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、静圧軸受を用いてテーブルを支持し、その
テーブルをガイド部材に対して非接触の状態で移動させ
るようにしたエアスライド装置に関するものである。

〔従来の技術〕

真直な四角柱状のガイド部材の外側にコの字形のテーブ
ルを嵌合し、そのテーブルの内面とガイド部材の案内面
間に軸受すきまを形成し、この軸受すきまに圧縮気体を
供給し、その気体潤滑膜によってテーブルを非接触の状
態に保持するエアスライド装置においては、軸受すきま
を全体にわたって均一に保持する必要があり、その軸受
すきまが不均一であると、すきまの広い方に圧縮気体が
流れ、エアスライド装置の性能および剛性が低下する。
このため、ガイド部材およびテーブルの平行度、直角
度、面精度等の部品精度を高める必要があり、製作が困
難であって、コストが高くなる問題がある。

その問題を解決するため、第５図に示すように、ガイド
部材30の外周の各案内面31と、コの字形のテーブル32の
内面間に圧縮気体の噴射用ノズルを有するパッド33を組
込み、そのパッド33とテーブル32との間に設けた球体34
でパッド33を支持したものが提案されている。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記エアスライド装置においては、パッド33のノズル
（図示省略）からガイド部材30の案内面31に向けて圧縮
気体を噴射することにより、案内面31との間に形成され
る気体潤滑膜によってパッド33を案内面31に対して非接
触の状態に保持することができる。そして、パッド33と
案内面31間の軸受すきまが不均一であると、軸受すきま
各部に圧力差が発生し、その圧力差により、軸受すきま
が均一となる方向にパッド33が自動調芯され、案内面31
に対して平行な状態に保持される。

このため、ガイド部材30およびテーブル32の平行度、直
角度等の部品精度を比較的ラフな精度とすることがで
き、製作の容易化およびコストの低下を図ることができ
る利点を有する。

しかしながら、上記エアスライド装置においては、パッ
ド33の組立て後において、そのパッド33の取付位置の調
整を行なうことができないため、ガイド部材30の案内面
31との間に形成される軸受すきまがスライド装置の剛性
が最も高い適正な寸法となるように、パッド33を精度よ
く組立てる必要がある。

また、上記のようなエアスライド装置においては、テー
ブル32を移動させるための移動装置をテーブル32の外側
に設ける必要があるため、スライド装置が大型化する不
都合もある。

そこで、この考案は上記の不都合を解消し、エアスライ
ド装置の剛性が最も高い適性な寸法に軸受すきまを調整
することができると共に、スライド装置の小型化を図る
ことを技術的課題としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するために、この考案においては、上
面および両側面を案内面とする直線ガイド部材の外側
に、上記上側案内面に対向する上板および両側案内面に
対向する一対の側板を有するコの字形テーブルを嵌合
し、そのコの字形テーブルの上板下面とガイド部材の上
側案内面の一方中央部に、鉄芯にコイルを巻付けた電磁
石を取付け、他方にその電磁石とでリニアモータを形成
する永久磁石を取付け、そのリニアモータの両側位置に
おいて、前記上側案内面と上板の下面間および両側案内
面と側板の内面間に、上側案内面および両側案内面に向
けて圧縮気体を噴射するノズルを有するパッドを組込
み、そのパッドのテーブル内面と対向する外面中央部に
球形凹部を形成し、前記テーブルには、各パッドの球形
凹部に向けて先端を球面とした調節ねじをねじ込み、前
記電磁石と永久磁石の磁気吸引力と前記ノズルから噴射
する圧縮流体の反発力とによって変形する前記テーブル
の復元弾性でパッドを案内面に向けて押圧した構成を採
用している。

〔作用〕

上記のように構成すれば、調整ねじを回転して軸方向に
移動させることにより、パッドがガイド部材の案内面に
対して移動し、上記案内面との間に形成された軸受すき
まを調整することができる。

また、パッドのノズルから上記軸受すきまに圧縮気体を
供給することにより、その気体潤滑膜によって、パッド
を案内面に対して非接触の状態に保持することができ
る。このとき、パッドは、調整ねじの先端の球面で支持
されているため、自動調芯作用を有し、パッドが案内面
に対して傾きがあると、軸受すきま各部の圧力差によ
り、パッドは案内面と平行する状態に戻り、エアスライ
ド装置の性能の低下を抑制することができる。

上記のような圧縮気体の供給時に、リニアモータの電磁
石のコイルに通電すると、テーブルに推力が付与され、
テーブルをガイド部材に対して非接触の状態で移動させ
ることができる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を第１図乃至第４図に基づいて
説明する。

第１図および第２図に示すように、真直なガイド部材１
は四角柱状をなし、その上側および両側が案内面２、３
とされている。また、上側案内面２の幅方向中央部に
は、ガイド部材１の長さ方向に長い溝４が設けられてい
る。

上記ガイド部材１に沿ってスライド自在に設けられたテ
ーブル５は、上記上側案内面２と対向する上板６および
両側案内面３に対向する一対の側板７、７を有し、その
上板６の下面と上側案内面２との間には、溝４の両側方
に、複数のパッド８が組込まれている。

また、一対の側板７の各内面と両側案内面３との間にも
複数のパッド８が組込まれている。各パッド８のテーブ
ル５内面と対向する外面の中央部には、第３図に示すよ
うに、球形の凹部９が形成され、一方、テーブル５に
は、各パッド８の上記凹部９と対向する位置にねじ孔10
が設けられている。そのねじ孔10にねじ係合した調節ね
じ11の先端には球面12が設けられ、その球面12が凹部９
と当接している。

また、各パッド８にはノズル13が設けられ、そのノズル
先端に設けた自成絞り14は、パッド８の内面に形成した
浅い凹部15に連通している。上記ノズル13は、図示省略
した圧縮流体の供給源と連通し、そのノズル13に圧縮流
体を供給すると、この圧縮流体は、自成絞り14及び凹部
15から案内面に向けて流出する。

前記ガイド部材１の溝４とテーブル５の上板６下面間に
は、テーブル５に推力を付与するリニアモータ16が組込
まれている。リニアモータ16は、鉄芯17にコイル18を巻
付けた電磁石19と、永久磁石20から成り、電磁石19を溝
４の底面に取付け、永久磁石20を上板６の下面に取付け
ているが、上記とは逆に、電磁石19を上板６の下面に、
永久磁石20を溝４の底面に取付けてもよい。

上記の構成から成るエアスライド装置において、各パッ
ド８のノズル13に圧縮気体を供給すると、この圧縮気体
は、各パッド８とガイド部材１の上側案内面２間および
両側案内面３間に形成された軸受すきま21に流出し、そ
の軸受すきま21に形成された気体潤滑膜によって各パッ
ド８は、対応する案内面２、３に対して非接触に保持さ
れる。このとき、軸受すきま21が設定された寸法より大
きい場合は、スライド装置の剛性が低くなり、逆に小さ
い場合は、自励振動が生じるため、軸受すきま21は、設
定された寸法になるように予め調整しておく。その調整
に際しては、調節ねじ11を回転して上記テーブル５の上
板６と側板７を弾性変形させながら調節ねじ11を軸方向
に移動させる。

上記のように、ノズル13に圧縮気体を供給する状態にお
いて、リニアモータ16の電磁石19のコイル18に通電する
と、テーブル５に推力が付与されるため、テーブル５が
ガイド部材１に対して非接触の状態で移動させることが
できる。

この考案においては、調節ねじ11の先端の球面12をパッ
ド８の球形凹部９の内面に当接してパッド８を支持する
構成であるため、パッド８が傾くと、軸受すきま21の各
部において生じる圧力差により、パッド８は案内面２、
３と平行する状態に自動調芯される。このため、ガイド
部材１とテーブル５間における平行度、直角度、平面度
などの加工精度が悪い場合でも、エアスライド装置の性
能の低下がない。したがって、精度の高い加工が要求さ
れず、ガイド部材１およびテーブル５の加工が容易であ
る。

第２図に示すように、ガイド部材１とテーブル５との間
にリニアモータ16を組込むと、そのリニアモータ16の電
磁石19と永久磁石20の相互間に作用する磁気吸引力とそ
のリニアモータ16の両側に設けられたパッド８のノズル
13から流出する圧縮流体の反発力とがバランスする状態
において、テーブル５は浮上停止する。このとき、上記
磁気吸引力と反発力は、上板６に上反りを与えるように
作用し、上記上板６が変形すると、一対の側板７は外方
向に変形する。その変形による復元力は、ガイド部材１
の両側案内面３に対向するパッド８を上記両側案内面３
に強く押し付ける。このため、案内面の平面度が悪い場
合、あるいはガイド部材の両側案内面の平行度が不均一
な場合でも、パッドは案内面の変化に追従して動いて案
内面との間に形成される軸受すきまが一定に保持される
ことになり、常に正常な空気軸受性能を発揮する。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案においては、テーブルにねじ係
合した調節ねじの先端をパッドの外面に係合した凹部に
当接させたので、調節ねじの回転による軸方向の移動に
よってパッドとガイド部材の案内面間の軸受すきまを常
に適正な状態に調整することができる。

また、調節ねじの先端を球面とし、パッドの凹部を球形
としたことによって、パッドをガイド部材の案内面と平
行する状態に自動調芯することができると共に、テーブ
ルの変形による復元弾性によってパッドを案内面に向け
て押圧するようにしたので、案内面の平面度が悪い場
合、あるいはガイド部材の両側の案内面の平行度が不均
一である場合でも、パッドは案内面の変化に追従して動
いて案内面との間に形成される軸受すきまが一定に維持
されることになり、常に正常な軸受性能を発揮させるこ
とができ、ガイド部材およびテーブルの加工を容易とす
ることができる。

さらに、ガイド部材とテーブルとの間に、テーブルに推
力を付与するリニアモータを組込んだので、スライド装
置の小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係るエアスライド装置の一実施例を
示す平面図、第２図は第１図のII-II線に沿った断面
図、第３図は同上の一部拡大図、第４図は同上パッドの
側面図、第５図は従来のスライド側面図を示す縦断正面
図である。１……ガイド部材、２……上側案内面、３……両側案内面、５……テーブル、６……上板、７……側板、８……パッド、９……球形凹部、 11……調節ねじ、13……ノズル、 16……リニアモータ、17……鉄芯、 18……コイル、19……電磁石、 20……永久磁石。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】上面および両側面を案内面とする直線ガイ
ド部材の外側に、上記上側案内面に対向する上板および
両側案内面に対向する一対の側板を有するコの字形のテ
ーブルを嵌合し、そのテーブルの上板下面とガイド部材
の上側案内面の一方中央部に、鉄芯にコイルを巻付けた
電磁石を取付け、他方にその電磁石とでリニアモータを
形成する永久磁石を取付け、そのリニアモータの両側位
置において、前記上側案内面と上板の下面間および両側
案内面と側板の内面間に、上側案内面および両側案内面
に向けて圧縮気体を噴射するノズルを有するパッドを組
込み、そのパッドのテーブル内面と対向する外面中央部
に球形凹部を形成し、前記テーブルには、各パッドの球
形凹部に向けて先端を球面とした調節ねじをねじ込み、
前記電磁石と永久磁石の磁気吸引力と前記ノズルから噴
射する圧縮流体の反発力とにより変形する前記テーブル
の復元弾性でパッドを案内面に向けて押圧したことを特
徴とするスライド装置。