JPH06226570A - 平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置 - Google Patents
平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動台の移動量を高精度で制御できるうえ
に、加工コストが低く給油も必要としない平行移動装置
を実現する。 【構成】 固定台２は図示上面に静圧軸受パッド６ａを
有し、移動台１は静圧軸受パッド６ａに対向し、かつこ
れに対して傾斜した静圧軸受パッド６ｂを有する。固定
台２と移動台１の間にはＸ方向に楔形の断面を有する駆
動板４が配設され、その両面はそれぞれ移動台１の静圧
軸受パッド６ｂと固定台２の静圧軸受パッド６ａに平行
であり、これらによって非接触で支持されている。アク
チュエータ５によって駆動板４を前記方向に移動させる
と、移動台１は固定台２に対して平行状態を保ちつつ接
近または離間する。
に、加工コストが低く給油も必要としない平行移動装置
を実現する。 【構成】 固定台２は図示上面に静圧軸受パッド６ａを
有し、移動台１は静圧軸受パッド６ａに対向し、かつこ
れに対して傾斜した静圧軸受パッド６ｂを有する。固定
台２と移動台１の間にはＸ方向に楔形の断面を有する駆
動板４が配設され、その両面はそれぞれ移動台１の静圧
軸受パッド６ｂと固定台２の静圧軸受パッド６ａに平行
であり、これらによって非接触で支持されている。アク
チュエータ５によって駆動板４を前記方向に移動させる
と、移動台１は固定台２に対して平行状態を保ちつつ接
近または離間する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種測定装置、精密工
作機械および半導体露光装置等の位置決め装置に用いら
れる平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ
移動装置に関するものである。
作機械および半導体露光装置等の位置決め装置に用いら
れる平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ
移動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種測定装置、精密工作機械および半導
体露光装置等においては、被測定物や被加工物あるいは
レンズ等の位置決めを高精度で行う必要があり、特に、
被測定物を載置する保持台に垂直な方向、あるいは、レ
ンズの光軸方向の位置決めは、微小な変位を高精度で制
御することが要求される。このために大きな変位を微小
な変位に変換できる平行移動装置が開発されている。
体露光装置等においては、被測定物や被加工物あるいは
レンズ等の位置決めを高精度で行う必要があり、特に、
被測定物を載置する保持台に垂直な方向、あるいは、レ
ンズの光軸方向の位置決めは、微小な変位を高精度で制
御することが要求される。このために大きな変位を微小
な変位に変換できる平行移動装置が開発されている。
【０００３】図５は、従来の平行移動装置の一例（特公
昭５７−３５７９９号公報参照）を示すもので、固定台
５２に設けられた３組の変位縮小機構５４ａ〜５４ｃに
よって移動台５１を上下動させる。各変位縮小機構５４
ａ〜５４ｃは、固定台５２と移動台５１の間に設けられ
た楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆと、これらと固定台５２
の間に設けられた第１の針状ころ列５６ａ〜５６ｃと、
移動台５１に固着された支持板５１ａ〜５１ｃと楔形駆
動部材５４ｄ〜５４ｆの間に設けられた第２の針状ころ
列５６ｄ〜５６ｆからなり、３組の変位縮小機構５４ａ
〜５４ｃの楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆは連結板５４ｇ
によって互に一体的に結合されており、固定台５２の一
端面に押圧されるマイクロメータヘッド５５の押し棒５
５ａによって固定台５２の表面に沿って移動される。す
なわち、マイクロメータヘッド５５が駆動されると、３
個の楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆが同時に等距離だけ水
平方向へ移動し、これによって、移動台５１は固定台５
２と平行状態を維持したまま上下に移動する。各楔形駆
動部材５４ｄ〜５４ｆの傾斜角度θ、その水平移動量δ
Ｘおよび移動台５１の垂直移動量δＺの間にはδＺ＝δ
Ｘ・ｔａｎ（θ）の関係が成立するため、楔形駆動部材
５４ｄ〜５４ｆの傾斜角度を小さく設定するほど、移動
台５１の垂直移動量を高精度で制御することが容易にな
る。
昭５７−３５７９９号公報参照）を示すもので、固定台
５２に設けられた３組の変位縮小機構５４ａ〜５４ｃに
よって移動台５１を上下動させる。各変位縮小機構５４
ａ〜５４ｃは、固定台５２と移動台５１の間に設けられ
た楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆと、これらと固定台５２
の間に設けられた第１の針状ころ列５６ａ〜５６ｃと、
移動台５１に固着された支持板５１ａ〜５１ｃと楔形駆
動部材５４ｄ〜５４ｆの間に設けられた第２の針状ころ
列５６ｄ〜５６ｆからなり、３組の変位縮小機構５４ａ
〜５４ｃの楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆは連結板５４ｇ
によって互に一体的に結合されており、固定台５２の一
端面に押圧されるマイクロメータヘッド５５の押し棒５
５ａによって固定台５２の表面に沿って移動される。す
なわち、マイクロメータヘッド５５が駆動されると、３
個の楔形駆動部材５４ｄ〜５４ｆが同時に等距離だけ水
平方向へ移動し、これによって、移動台５１は固定台５
２と平行状態を維持したまま上下に移動する。各楔形駆
動部材５４ｄ〜５４ｆの傾斜角度θ、その水平移動量δ
Ｘおよび移動台５１の垂直移動量δＺの間にはδＺ＝δ
Ｘ・ｔａｎ（θ）の関係が成立するため、楔形駆動部材
５４ｄ〜５４ｆの傾斜角度を小さく設定するほど、移動
台５１の垂直移動量を高精度で制御することが容易にな
る。
【０００４】また、露光装置においては、投影レンズの
倍率を補正するためにレンズ鏡筒に平行移動装置を組込
んだものが開発されている（特公昭６０−１７１１５７
号公報参照）。
倍率を補正するためにレンズ鏡筒に平行移動装置を組込
んだものが開発されている（特公昭６０−１７１１５７
号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、以下のような解決すべき課題がある。 （１）移動台が面積の小さい３個の楔形駆動部材によっ
て移動されるため、移動中にガタつきやローリング（転
動）が発生し、位置決め精度が低下する。
の技術によれば、以下のような解決すべき課題がある。 （１）移動台が面積の小さい３個の楔形駆動部材によっ
て移動されるため、移動中にガタつきやローリング（転
動）が発生し、位置決め精度が低下する。
【０００６】（２）移動台の移動量を高精度で制御する
には、針状ころ列等の真円度および円筒度、またその接
触面の平面度および平滑度が高いことが要求され、その
ために加工コストが極めて高い。
には、針状ころ列等の真円度および円筒度、またその接
触面の平面度および平滑度が高いことが要求され、その
ために加工コストが極めて高い。
【０００７】（３）針状ころ列等の転がり案内の場合、
高負荷容量、高剛性ではあるが、０．１μｍ以下の位置
決め精度を必要とする場合は、転がり摩擦の影響を受け
て高精度化が難しい。
高負荷容量、高剛性ではあるが、０．１μｍ以下の位置
決め精度を必要とする場合は、転がり摩擦の影響を受け
て高精度化が難しい。
【０００８】（４）針状ころ列等の転動面への定期的給
油を必要とするが、半導体投影露光装置の投影レンズの
鏡筒はメンテナンスフリーおよび高いクリーン度が要求
されるため、このような装置には適用できない。
油を必要とするが、半導体投影露光装置の投影レンズの
鏡筒はメンテナンスフリーおよび高いクリーン度が要求
されるため、このような装置には適用できない。
【０００９】また、従来の露光装置のレンズ移動装置で
は、約１ｍｍ以下の駆動ストロークを必要とする場合、
原理的に不可能であったり、また、剛性が非常に弱くな
る等の欠点があった。
は、約１ｍｍ以下の駆動ストロークを必要とする場合、
原理的に不可能であったり、また、剛性が非常に弱くな
る等の欠点があった。
【００１０】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであり、移動台の移動量を
高精度で制御できるうえに、加工コストが低く、かつ、
メンテナンスが簡単でクリーン度が高い平行移動装置お
よびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置を提供する
ことを目的とするものである。
の課題に鑑みてなされたものであり、移動台の移動量を
高精度で制御できるうえに、加工コストが低く、かつ、
メンテナンスが簡単でクリーン度が高い平行移動装置お
よびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置を提供する
ことを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の平行移動装置は、第１の静圧軸受手段によ
って固定台に非接触で支持された第１の表面と、これに
対して傾斜した第２の表面を有する駆動板と、該駆動板
を前記固定台に沿って移動させる駆動手段と、第２の静
圧軸受手段によって前記駆動板の前記第２の表面に非接
触で支持された移動台と、該移動台を前記固定台に対し
て接近および離間自在に支持する支持手段と、前記移動
台を前記駆動板とともに前記固定台に向って付勢する付
勢手段を有し、前記固定台および前記移動台のそれぞれ
の前記駆動板に対向する側の表面が、前記駆動板の前記
第１および前記第２の表面とそれぞれ平行であることを
特徴とする。
めに本発明の平行移動装置は、第１の静圧軸受手段によ
って固定台に非接触で支持された第１の表面と、これに
対して傾斜した第２の表面を有する駆動板と、該駆動板
を前記固定台に沿って移動させる駆動手段と、第２の静
圧軸受手段によって前記駆動板の前記第２の表面に非接
触で支持された移動台と、該移動台を前記固定台に対し
て接近および離間自在に支持する支持手段と、前記移動
台を前記駆動板とともに前記固定台に向って付勢する付
勢手段を有し、前記固定台および前記移動台のそれぞれ
の前記駆動板に対向する側の表面が、前記駆動板の前記
第１および前記第２の表面とそれぞれ平行であることを
特徴とする。
【００１２】支持手段が、移動台の外周縁を非接触で支
持する第３の静圧軸受手段を有するとよい。
持する第３の静圧軸受手段を有するとよい。
【００１３】また、本発明の平行移動装置を用いた露光
装置のレンズ移動装置は、固定台が環状のレンズ固定体
であり、駆動板が環状のレンズ駆動体であり、移動台が
レンズの外周縁を保持するレンズ移動体であることを特
徴とする。
装置のレンズ移動装置は、固定台が環状のレンズ固定体
であり、駆動板が環状のレンズ駆動体であり、移動台が
レンズの外周縁を保持するレンズ移動体であることを特
徴とする。
【００１４】
【作用】上記平行移動装置によれば、駆動手段によって
駆動板を移動させることで、移動台を固定台に対して平
行状態を保ちつつ接近または離間させることができる。
駆動板の移動量と移動台の移動量の比は、駆動板の各表
面の傾斜角が小さい程小さくなる。移動台と固定台のそ
れぞれの駆動板に対向する側の表面がそれぞれ駆動板の
両面と平行であるため、静圧軸受手段による支持面積を
大きくすることができる。従って、移動台を移動させる
ときにガタついたり、傾いたりすることなく、その移動
量を高精度で制御できる。また、駆動板が静圧軸受手段
によって非接触で支持されているため、摩擦による精度
低下のおそれがないうえに、これらに対向する表面に高
い平面度や平滑度を必要とせず、従って加工コストが低
い。加えて、給油も必要としない。
駆動板を移動させることで、移動台を固定台に対して平
行状態を保ちつつ接近または離間させることができる。
駆動板の移動量と移動台の移動量の比は、駆動板の各表
面の傾斜角が小さい程小さくなる。移動台と固定台のそ
れぞれの駆動板に対向する側の表面がそれぞれ駆動板の
両面と平行であるため、静圧軸受手段による支持面積を
大きくすることができる。従って、移動台を移動させる
ときにガタついたり、傾いたりすることなく、その移動
量を高精度で制御できる。また、駆動板が静圧軸受手段
によって非接触で支持されているため、摩擦による精度
低下のおそれがないうえに、これらに対向する表面に高
い平面度や平滑度を必要とせず、従って加工コストが低
い。加えて、給油も必要としない。
【００１５】また、上記平行移動装置を用いた露光装置
のレンズ移動装置は、レンズを安定して支持し、これを
移動させるときも、局部的な応力を発生させるおそれが
ない。
のレンズ移動装置は、レンズを安定して支持し、これを
移動させるときも、局部的な応力を発生させるおそれが
ない。
【００１６】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１７】図１は、第１実施例を示す模式平面図であ
って、本実施例の平行移動装置Ｅ1は、被加工物や基板
等を載置する移動台１とこれを支持する固定台２を有
し、固定台２は、その互いに対向する一対の側縁にそれ
ぞれ近接して立設された一対の第１の固定ガイド２ａ，
２ｂと、他の互いに対向する一対の側縁にそれぞれ近接
して立設された一対の第２の固定ガイド２ｃ，２ｄと、
一方の第１の固定ガイド２ａに隣接して一体的に設けら
れたアクチュエータ支持板２ｅと、一方の第１の固定ガ
イド２ａの上端に一体的に設けられた一対の予圧バネ支
持板２ｆ，２ｇと、他方の第１の固定ガイド２ｂの上端
に一体的に設けられた１個の予圧バネ支持板２ｈを有す
る。
って、本実施例の平行移動装置Ｅ1は、被加工物や基板
等を載置する移動台１とこれを支持する固定台２を有
し、固定台２は、その互いに対向する一対の側縁にそれ
ぞれ近接して立設された一対の第１の固定ガイド２ａ，
２ｂと、他の互いに対向する一対の側縁にそれぞれ近接
して立設された一対の第２の固定ガイド２ｃ，２ｄと、
一方の第１の固定ガイド２ａに隣接して一体的に設けら
れたアクチュエータ支持板２ｅと、一方の第１の固定ガ
イド２ａの上端に一体的に設けられた一対の予圧バネ支
持板２ｆ，２ｇと、他方の第１の固定ガイド２ｂの上端
に一体的に設けられた１個の予圧バネ支持板２ｈを有す
る。
【００１８】図２の（ａ），（ｂ）に示すように、移動
台１と固定台２間には図１のＡ−Ａ線に沿った方向（以
下、「Ｘ方向」という。）に楔形の断面を有し、図１の
Ｂ−Ｂ線で示す方向（以下、「Ｙ方向」という。）には
厚さの変化しない駆動板４が配置され、駆動板４のＸ方
向の一端面には、アクチュエータ支持板２ｅに支持され
たリニアモータ等の駆動手段であるアクチュエータ５の
連結棒５ａが一体的に固着され、アクチュエータ５は連
結棒５ａを介して駆動板４をＸ方向に往復移動させる。
固定台２の図示上面および移動台１の図示下面にはそれ
ぞれ第１および第２の静圧軸受手段である静圧軸受パッ
ド６ａ，６ｂが設けられ、静圧軸受パッド６ａ，６ｂは
両者の間に駆動板４を非接触で往復移動自在に支持す
る。また、各予圧バネ支持板２ｆ〜２ｈに支持された付
勢手段である予圧バネ７ａ〜７ｃは、移動台１の図示上
面に当接され、移動台１を駆動板４とともに固定台２の
上面へ向けて付勢する。
台１と固定台２間には図１のＡ−Ａ線に沿った方向（以
下、「Ｘ方向」という。）に楔形の断面を有し、図１の
Ｂ−Ｂ線で示す方向（以下、「Ｙ方向」という。）には
厚さの変化しない駆動板４が配置され、駆動板４のＸ方
向の一端面には、アクチュエータ支持板２ｅに支持され
たリニアモータ等の駆動手段であるアクチュエータ５の
連結棒５ａが一体的に固着され、アクチュエータ５は連
結棒５ａを介して駆動板４をＸ方向に往復移動させる。
固定台２の図示上面および移動台１の図示下面にはそれ
ぞれ第１および第２の静圧軸受手段である静圧軸受パッ
ド６ａ，６ｂが設けられ、静圧軸受パッド６ａ，６ｂは
両者の間に駆動板４を非接触で往復移動自在に支持す
る。また、各予圧バネ支持板２ｆ〜２ｈに支持された付
勢手段である予圧バネ７ａ〜７ｃは、移動台１の図示上
面に当接され、移動台１を駆動板４とともに固定台２の
上面へ向けて付勢する。
【００１９】駆動板４の上面はＸ方向へ傾斜しており、
移動台１の下面もこれと平行に傾斜している。従って、
駆動板４がアクチュエータ５によってＸ方向へ移動され
ると、移動台１は固定台２と平行状態を保ちつつ、Ｘ方
向とＹ方向に垂直な方向（以下、「Ｚ方向」という。）
へ移動する。ここで、駆動板４のＸ方向の移動量δＸ
と、駆動板４と移動台１のそれぞれの傾斜面の傾斜角度
θと、移動台１のＺ方向の移動量δＺの間には、δＺ＝
δＸ・ｔａｎ（θ）の関係が成立する。一例として、δ
Ｘ＝１０ｍｍ、θ＝２．８６２４ｄｅｇであれば移動台
１の移動量δＺは０．５ｍｍであり、駆動板４の移動量
の０．０５倍に縮小される。
移動台１の下面もこれと平行に傾斜している。従って、
駆動板４がアクチュエータ５によってＸ方向へ移動され
ると、移動台１は固定台２と平行状態を保ちつつ、Ｘ方
向とＹ方向に垂直な方向（以下、「Ｚ方向」という。）
へ移動する。ここで、駆動板４のＸ方向の移動量δＸ
と、駆動板４と移動台１のそれぞれの傾斜面の傾斜角度
θと、移動台１のＺ方向の移動量δＺの間には、δＺ＝
δＸ・ｔａｎ（θ）の関係が成立する。一例として、δ
Ｘ＝１０ｍｍ、θ＝２．８６２４ｄｅｇであれば移動台
１の移動量δＺは０．５ｍｍであり、駆動板４の移動量
の０．０５倍に縮小される。
【００２０】また、移動台１のＸ方向の両側縁１ａ，１
ｂはそれぞれ第１の固定ガイド２ａ，２ｂに保持された
静圧軸受パッド６ｃ，６ｄによって非接触で支持され、
移動台１のＹ方向の両端縁１ｃ，１ｄもそれぞれ前記静
圧軸受パッド６ｃ，６ｄとともに第３の静圧軸受手段を
構成する第２の固定ガイド２ｃ，２ｄの静圧軸受パッド
６ｅ，６ｆの上半部分によって非接触で支持され、さら
に、駆動板４のＹ方向の両端縁４ａ，４ｂはそれぞれ第
２の固定ガイド２ｃ，２ｄの静圧軸受パッド６ｅ，６ｆ
の下半部分によって非接触で支持されている。なお、第
１の固定ガイド２ａ，２ｂは、これに保持された静圧軸
受パッド６ｃ，６ｄの図示下方にそれぞれ開口２ｉ，２
ｋを有し、駆動板４がアクチュエータ５によってＸ方向
に移動したとき、各開口２ｉ，２ｋを貫通して第１の固
定ガイド２ａ，２ｂの外側へ突出できるように構成され
る。
ｂはそれぞれ第１の固定ガイド２ａ，２ｂに保持された
静圧軸受パッド６ｃ，６ｄによって非接触で支持され、
移動台１のＹ方向の両端縁１ｃ，１ｄもそれぞれ前記静
圧軸受パッド６ｃ，６ｄとともに第３の静圧軸受手段を
構成する第２の固定ガイド２ｃ，２ｄの静圧軸受パッド
６ｅ，６ｆの上半部分によって非接触で支持され、さら
に、駆動板４のＹ方向の両端縁４ａ，４ｂはそれぞれ第
２の固定ガイド２ｃ，２ｄの静圧軸受パッド６ｅ，６ｆ
の下半部分によって非接触で支持されている。なお、第
１の固定ガイド２ａ，２ｂは、これに保持された静圧軸
受パッド６ｃ，６ｄの図示下方にそれぞれ開口２ｉ，２
ｋを有し、駆動板４がアクチュエータ５によってＸ方向
に移動したとき、各開口２ｉ，２ｋを貫通して第１の固
定ガイド２ａ，２ｂの外側へ突出できるように構成され
る。
【００２１】各静圧軸受パッド６ａ〜６ｆは公知の多孔
質静圧軸受パッドであり、それぞれ、その背面に空所６
ｇを有し、図示しない加圧空気供給源から内部配管６ｈ
を経て供給される加圧空気を細孔によって分散させて対
向面に噴出し、その静圧によって形成される流体潤滑膜
の作用により対向面を非接触で支持するものである。多
孔質静圧軸受パッドに替えて公知の自成絞り型あるいは
表面絞り型の静圧軸受を用いてもよい。
質静圧軸受パッドであり、それぞれ、その背面に空所６
ｇを有し、図示しない加圧空気供給源から内部配管６ｈ
を経て供給される加圧空気を細孔によって分散させて対
向面に噴出し、その静圧によって形成される流体潤滑膜
の作用により対向面を非接触で支持するものである。多
孔質静圧軸受パッドに替えて公知の自成絞り型あるいは
表面絞り型の静圧軸受を用いてもよい。
【００２２】本実施例は、駆動板が静圧軸受パッドによ
って非接触で支持されているため、固定台や移動台との
対向面を高精度で仕上げる必要がないうえに、駆動板の
両面が空気膜によって均一に支持され加工形状精度の平
均化がなされ、駆動板の移動中にピッチングやローリン
グのおそれがすくないために移動台の位置決め精度を大
幅に向上させることができる。
って非接触で支持されているため、固定台や移動台との
対向面を高精度で仕上げる必要がないうえに、駆動板の
両面が空気膜によって均一に支持され加工形状精度の平
均化がなされ、駆動板の移動中にピッチングやローリン
グのおそれがすくないために移動台の位置決め精度を大
幅に向上させることができる。
【００２３】また、移動台の外周縁も静圧軸受パッドに
よって非接触で支持されているため、移動台を板バネ等
によって固定ガイドに連結した場合に比べ支持力変動が
なく、移動台のＺ方向の移動量の許容値を例えば０．５
ｍｍ程度に大きくすることができるうえに外部の振動を
迅速に吸収するという利点もある。
よって非接触で支持されているため、移動台を板バネ等
によって固定ガイドに連結した場合に比べ支持力変動が
なく、移動台のＺ方向の移動量の許容値を例えば０．５
ｍｍ程度に大きくすることができるうえに外部の振動を
迅速に吸収するという利点もある。
【００２４】さらに、ころ軸受を用いた場合のように給
油を必要とせず、従ってメンテナンスが簡単であり、給
油による装置や雰囲気の汚染の心配もない。
油を必要とせず、従ってメンテナンスが簡単であり、給
油による装置や雰囲気の汚染の心配もない。
【００２５】図３は、第２実施例を示す一部破断平面図
であり、本実施例の露光装置のレンズ移動装置Ｅ2 は、
レンズ２３を保持するリング状のレンズ移動体２１と、
これを支持する環状のレンズ固定体２２を有し、レンズ
固定体２２は、その外周部分に立設された筒状固定ガイ
ド２２ａと、レンズ固定体２２の外周縁に一体的に設け
られたアクチュエータ支持板２２ｊを有する。
であり、本実施例の露光装置のレンズ移動装置Ｅ2 は、
レンズ２３を保持するリング状のレンズ移動体２１と、
これを支持する環状のレンズ固定体２２を有し、レンズ
固定体２２は、その外周部分に立設された筒状固定ガイ
ド２２ａと、レンズ固定体２２の外周縁に一体的に設け
られたアクチュエータ支持板２２ｊを有する。
【００２６】図４に示すように、レンズ移動体２１とレ
ンズ固定体２２の間には、図３のＣ−Ｃ線で示す方向
（以下、「Ｘ方向」という。）に楔形の断面を有し、こ
れと直角である方向（以下、「Ｙ方向」という。）には
厚さの変化しないリング状のレンズ駆動体２４が配置さ
れ、レンズ駆動体２４のＸ方向の一端には径方向外方へ
突出する連結部材２４ａが一体的に設けられ、連結部材
２４ａは、アクチュエータ支持板２２ｊに支持されたリ
ニアモータ等の駆動手段であるアクチュエータ２５の連
結棒２５ａに一体的に固着されている。またレンズ駆動
体２４のＸ方向の他端には径方向外方へ突出する案内部
材２４ｂが一体的に設けられ、同様にレンズ移動体２１
はレンズ駆動体２４の案内部材２４ｂに重なりあう位置
に回止めガイド２１ａを有する。
ンズ固定体２２の間には、図３のＣ−Ｃ線で示す方向
（以下、「Ｘ方向」という。）に楔形の断面を有し、こ
れと直角である方向（以下、「Ｙ方向」という。）には
厚さの変化しないリング状のレンズ駆動体２４が配置さ
れ、レンズ駆動体２４のＸ方向の一端には径方向外方へ
突出する連結部材２４ａが一体的に設けられ、連結部材
２４ａは、アクチュエータ支持板２２ｊに支持されたリ
ニアモータ等の駆動手段であるアクチュエータ２５の連
結棒２５ａに一体的に固着されている。またレンズ駆動
体２４のＸ方向の他端には径方向外方へ突出する案内部
材２４ｂが一体的に設けられ、同様にレンズ移動体２１
はレンズ駆動体２４の案内部材２４ｂに重なりあう位置
に回止めガイド２１ａを有する。
【００２７】筒状固定ガイド２２ａは、Ｘ方向の両端に
それぞれ径方向に貫通する開口２２ｉ，２２ｋを有し、
各開口２２ｉ，２２ｋには図示下端をレンズ固定体２２
に固着された一対の案内ブロック２２ｂ，２２ｃ，２２
ｄ，２２ｅがそれぞれ配置され、一方の開口２２ｉに設
けられた案内ブロック２２ｂ，２２ｃはレンズ駆動体２
４の連結部材２４ａの両側面に対向し、他方の開口２２
ｋに設けられた案内ブロック２２ｄ，２２ｅは、レンズ
駆動体２４の案内部材２４ｂとレンズ移動体２１の回止
めガイド２１ａのそれぞれの両側面に対向して配設され
ている。
それぞれ径方向に貫通する開口２２ｉ，２２ｋを有し、
各開口２２ｉ，２２ｋには図示下端をレンズ固定体２２
に固着された一対の案内ブロック２２ｂ，２２ｃ，２２
ｄ，２２ｅがそれぞれ配置され、一方の開口２２ｉに設
けられた案内ブロック２２ｂ，２２ｃはレンズ駆動体２
４の連結部材２４ａの両側面に対向し、他方の開口２２
ｋに設けられた案内ブロック２２ｄ，２２ｅは、レンズ
駆動体２４の案内部材２４ｂとレンズ移動体２１の回止
めガイド２１ａのそれぞれの両側面に対向して配設され
ている。
【００２８】また、筒状固定ガイド２２ａの図示上端に
は、その内周縁から径方向内方へ突出する環状の張出片
２２ｆが一体的に設けられ、張出片２２ｆは、レンズ移
動体２１の図示上端に設けられた段差２１ｂとの間に環
状の略密封空間である予圧室２７を形成し、筒状固定ガ
イド２２ａの張出片２２ｆの内周面とレンズ移動体２１
の外周面の間には絞り２７ａが形成され、筒状固定ガイ
ド２２ａの加圧空気供給手段である内部配管２７ｂから
予圧室２７に加圧空気を供給し、増大する空気圧によっ
てレンズ移動体２１の段差２１ｂを図示下方へ押圧する
ことにより、レンズ移動体２１をレンズ駆動体２４とと
もにレンズ固定体２２に向って付勢する。
は、その内周縁から径方向内方へ突出する環状の張出片
２２ｆが一体的に設けられ、張出片２２ｆは、レンズ移
動体２１の図示上端に設けられた段差２１ｂとの間に環
状の略密封空間である予圧室２７を形成し、筒状固定ガ
イド２２ａの張出片２２ｆの内周面とレンズ移動体２１
の外周面の間には絞り２７ａが形成され、筒状固定ガイ
ド２２ａの加圧空気供給手段である内部配管２７ｂから
予圧室２７に加圧空気を供給し、増大する空気圧によっ
てレンズ移動体２１の段差２１ｂを図示下方へ押圧する
ことにより、レンズ移動体２１をレンズ駆動体２４とと
もにレンズ固定体２２に向って付勢する。
【００２９】レンズ固定体２２の図示上面およびレンズ
移動体２１の図示下面にはそれぞれ環状の第１および第
２の静圧軸受手段である静圧軸受パッド２６ａ，２６ｂ
が設けられ、静圧軸受パッド２６ａ，２６ｂは両者の間
にレンズ駆動体２４を非接触で往復移動自在に支持す
る。レンズ駆動体２４の上面はＸ方向へ傾斜しており、
レンズ移動体２１の下面もこれに沿って同じ傾斜角度で
傾斜している。従って、レンズ駆動体２４がアクチュエ
ータ２５によってＸ方向へ移動されると、レンズ移動体
２１はレンズ固定体２２と平行状態を保ちつつ、Ｘ方向
とＹ方向に垂直な方向（以下、「Ｚ方向」という。）へ
移動する。ここで、レンズ駆動体２４のＸ方向の移動量
δＸと、レンズ駆動体２４とレンズ移動体２１のそれぞ
れの傾斜面の傾斜角度θと、レンズ移動体２１のＺ方向
の移動量δＺの間にはδＺ＝δＸ・ｔａｎ（θ）の関係
が成立する。
移動体２１の図示下面にはそれぞれ環状の第１および第
２の静圧軸受手段である静圧軸受パッド２６ａ，２６ｂ
が設けられ、静圧軸受パッド２６ａ，２６ｂは両者の間
にレンズ駆動体２４を非接触で往復移動自在に支持す
る。レンズ駆動体２４の上面はＸ方向へ傾斜しており、
レンズ移動体２１の下面もこれに沿って同じ傾斜角度で
傾斜している。従って、レンズ駆動体２４がアクチュエ
ータ２５によってＸ方向へ移動されると、レンズ移動体
２１はレンズ固定体２２と平行状態を保ちつつ、Ｘ方向
とＹ方向に垂直な方向（以下、「Ｚ方向」という。）へ
移動する。ここで、レンズ駆動体２４のＸ方向の移動量
δＸと、レンズ駆動体２４とレンズ移動体２１のそれぞ
れの傾斜面の傾斜角度θと、レンズ移動体２１のＺ方向
の移動量δＺの間にはδＺ＝δＸ・ｔａｎ（θ）の関係
が成立する。
【００３０】なお、筒状固定ガイド２２ａはその内周面
にレンズ移動体２１の外周面に対向する筒状の第３の静
圧軸受面である静圧軸受パッド２６ｃを有し、これによ
ってレンズ移動体２１を非接触で軸方向に往復移動自在
に支持し、また、案内ブロック２２ｂ〜２２ｅは、それ
ぞれ、レンズ駆動体２４の連結部材２４ａに対向する表
面およびレンズ駆動体２４の案内部材２４ｂとレンズ移
動体２１の回止めガイド２１ａに対向する表面に静圧軸
受パッド２６ｄ〜２６ｇを有し、これらによって連結部
材２４ａ、案内部材２４ｂおよび回止めガイド２１ａを
それぞれ非接触で支持する。
にレンズ移動体２１の外周面に対向する筒状の第３の静
圧軸受面である静圧軸受パッド２６ｃを有し、これによ
ってレンズ移動体２１を非接触で軸方向に往復移動自在
に支持し、また、案内ブロック２２ｂ〜２２ｅは、それ
ぞれ、レンズ駆動体２４の連結部材２４ａに対向する表
面およびレンズ駆動体２４の案内部材２４ｂとレンズ移
動体２１の回止めガイド２１ａに対向する表面に静圧軸
受パッド２６ｄ〜２６ｇを有し、これらによって連結部
材２４ａ、案内部材２４ｂおよび回止めガイド２１ａを
それぞれ非接触で支持する。
【００３１】なお、静圧軸受パッド２６ａ〜２６ｇのそ
れぞれの構成については、第１実施例の静圧軸受パッド
と同様であるので説明は省略する。
れぞれの構成については、第１実施例の静圧軸受パッド
と同様であるので説明は省略する。
【００３２】本実施例は、レンズの位置を光軸方向に高
精度で制御できるうえに、レンズを安定して支持し、こ
れを移動させるときにローリングやピッチングのおそれ
もない。また、給油を必要としないため、クリーン度が
高い。
精度で制御できるうえに、レンズを安定して支持し、こ
れを移動させるときにローリングやピッチングのおそれ
もない。また、給油を必要としないため、クリーン度が
高い。
【００３３】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００３４】本発明の平行移動装置は、移動台の移動量
を高精度で制御できる。その結果、移動台の位置決め精
度を大幅に向上できる。加えて、加工コストを低く、か
つメンテナンスが簡単でクリーン度が高い。
を高精度で制御できる。その結果、移動台の位置決め精
度を大幅に向上できる。加えて、加工コストを低く、か
つメンテナンスが簡単でクリーン度が高い。
【００３５】また、本発明の平行移動装置を用いた露光
装置のレンズ移動装置は、レンズの位置を高精度で制御
できるうえに、加工コストが低く、さらに、レンズを安
定して支持し、局部的な応力を発生させることなく、従
って、レンズ変形に伴ってレンズの屈折率を変化させる
ことなくレンズを移動できる。加えて、クリーン度が高
いためにレンズを汚染するおそれもない。
装置のレンズ移動装置は、レンズの位置を高精度で制御
できるうえに、加工コストが低く、さらに、レンズを安
定して支持し、局部的な応力を発生させることなく、従
って、レンズ変形に伴ってレンズの屈折率を変化させる
ことなくレンズを移動できる。加えて、クリーン度が高
いためにレンズを汚染するおそれもない。
【図１】第１実施例を示す模式平面図である。
【図２】図１の装置の断面を示すもので、（ａ）は図１
のＡ−Ａ線に沿ってとった断面図、（ｂ）は同図のＢ−
Ｂ線に沿ってとった断面図である。
のＡ−Ａ線に沿ってとった断面図、（ｂ）は同図のＢ−
Ｂ線に沿ってとった断面図である。
【図３】第２実施例を一部破断して示す一部破断平面図
である。
である。
【図４】図３のＣ−Ｃ線に沿ってとった断面図である。
【図５】従来例を示す斜視図である。
１ 移動台 ２ 固定台 ２ａ〜２ｄ 固定ガイド ４ 駆動板 ５，２５ アクチュエータ ６ａ〜６ｆ 静圧軸受パッド ７ａ〜７ｃ 予圧バネ ２１ レンズ移動体 ２１ａ 回止めガイド ２２ レンズ固定体 ２２ａ 筒状固定ガイド ２３ レンズ ２４ レンズ駆動体 ２６ａ〜２６ｇ 静圧軸受パッド ２７ 予圧室 ２７ａ 絞り ２７ｂ 内部配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｂ 27/32 Ｆ 8102−2Ｋ 27/34 9017−2Ｋ Ｇ０３Ｆ 7/207 Ｈ 7316−2Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ｆ 8418−4Ｍ 7352−4Ｍ Ｈ０１Ｌ 21/30 ３１１ Ｎ
Claims (4)
- 【請求項１】 第１の静圧軸受手段によって固定台に非
接触で支持された第１の表面と、これに対して傾斜した
第２の表面を有する駆動板と、該駆動板を前記固定台に
沿って移動させる駆動手段と、第２の静圧軸受手段によ
って前記駆動板の前記第２の表面に非接触で支持された
移動台と、該移動台を前記固定台に対して接近および離
間自在に支持する支持手段と、前記移動台を前記駆動板
とともに前記固定台に向って付勢する付勢手段を有し、
前記固定台および前記移動台のそれぞれの前記駆動板に
対向する側の表面が、前記駆動板の前記第１および前記
第２の表面とそれぞれ平行であることを特徴とする平行
移動装置。 - 【請求項２】 支持手段が、移動台の外周縁を非接触で
支持する第３の静圧軸受手段を有することを特徴とする
請求項１記載の平行移動装置。 - 【請求項３】 付勢手段が、固定台と移動台の間に設け
られた略密封空間と、これに加圧空気を供給する加圧空
気供給手段を有することを特徴とする請求項１または２
記載の平行移動装置。 - 【請求項４】 固定台が環状のレンズ固定体であり、駆
動板が環状のレンズ駆動体であり、移動台がレンズの外
周縁を保持するレンズ移動体であることを特徴とする請
求項１ないし３いずれか１項記載の平行移動装置を用い
た露光装置のレンズ移動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3742193A JP2881363B2 (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 平行移動装置およびレンズ移動装置 |
| US06/188,016 US5376988A (en) | 1993-02-02 | 1994-01-28 | Parallel-moving apparatus and lens moving device in an exposing apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3742193A JP2881363B2 (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 平行移動装置およびレンズ移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226570A true JPH06226570A (ja) | 1994-08-16 |
| JP2881363B2 JP2881363B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=12497063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3742193A Expired - Lifetime JP2881363B2 (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 平行移動装置およびレンズ移動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5376988A (ja) |
| JP (1) | JP2881363B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5822133A (en) * | 1995-08-07 | 1998-10-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical structure and device manufacturing method using the same |
| JP2003172858A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Nikon Corp | 光学部品保持装置及び露光装置 |
| JP2003207016A (ja) * | 2001-12-31 | 2003-07-25 | Delta Electoronics Inc | 変速機構 |
| JP2004311459A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
| JP2007061925A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Nano Control:Kk | 位置決めステージ及び回転ステージ |
| JP2008016510A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Nuflare Technology Inc | 半導体回路パターン形成装置 |
| JP2009128897A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Chicony Electronics Co Ltd | 形状記憶合金部材を有する作動装置 |
| JP2013202679A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ駆動装置およびレーザ加工装置 |
| CN105922021A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-09-07 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种具有双轴调节功能的工作台机构 |
| JP2019191423A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | キヤノン株式会社 | 保持装置および光学装置 |
| JP2020016708A (ja) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | キヤノン株式会社 | 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 |
| JP2022505506A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-01-14 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 調節可能スペーサ（ｔｕｎａｂｌｅ ｓｐａｃｅｒ）によりリソグラフィ装置の第１素子をリソグラフィ装置の第２素子に向けて調整する方法 |
| CN117307609A (zh) * | 2023-12-01 | 2023-12-29 | 江苏领臣精密机械有限公司 | 一种具有调平及锁紧功能的静压导轨组件 |
Families Citing this family (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3226704B2 (ja) * | 1994-03-15 | 2001-11-05 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
| JPH08229759A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-10 | Canon Inc | 位置決め装置並びにデバイス製造装置及び方法 |
| US5991005A (en) * | 1996-04-11 | 1999-11-23 | Nikon Corporation | Stage apparatus and exposure apparatus having the same |
| SG64937A1 (en) * | 1996-06-21 | 2000-08-22 | Advanced Systems Automation | Wedge device for linear force amplification in a press |
| SG65615A1 (en) * | 1996-07-25 | 1999-06-22 | Advanced Systems Automation Pt | Bga moulding assembly for encapsulating bga substrates of varying thickness |
| KR100522886B1 (ko) | 1997-07-22 | 2005-10-19 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 가스베어링을 구비한 지지장치 |
| DE19954441A1 (de) | 1999-08-13 | 2001-02-15 | Thyssenkrupp Ind Ag | Vorrichtung zur Betätigung eines Stößels in einer Hub- oder Spannvorrichtung, insbesondere zum Falzen von Blechen im Automobilbau |
| EP1202827B1 (de) * | 1999-08-13 | 2002-09-18 | ThyssenKrupp Technologies AG | Vorrichtung zur betätigung eines stössels in einer hub- oder spannvorrichtung, insbesondere zum falzen von blechen im automobilbau |
| TW509823B (en) | 2000-04-17 | 2002-11-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
| JP2003532136A (ja) * | 2000-04-25 | 2003-10-28 | エーエスエムエル ユーエス，インコーポレイテッド | 光学システムにおいてレンズを精密に配置および整列する装置、システム、および方法 |
| DE10039712A1 (de) * | 2000-08-14 | 2002-02-28 | Zeiss Carl | Vorrichtung zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente zueinander |
| DE10139586C2 (de) * | 2001-08-11 | 2003-11-27 | Erich Thallner | Plattenförmiges Justierelement |
| KR101332497B1 (ko) * | 2005-01-26 | 2013-11-26 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학 조립체를 포함하는 마이크로-리소그래피의 투사 노광기 |
| US8094299B2 (en) * | 2008-07-24 | 2012-01-10 | Beckman Coulter, Inc. | Transducer module |
| EP2527058B1 (de) * | 2011-05-26 | 2014-07-16 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Werkzeugmaschine in Form einer Presse zum Bearbeiten von Werkstücken, insbesondere von Blechen |
| CN103551864B (zh) * | 2013-11-04 | 2015-09-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种高刚度高分辨率精密升降装置 |
| EP3025803B1 (de) * | 2014-11-26 | 2018-05-30 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Antriebsvorrichtung für eine Werkzeugmaschine sowie Werkzeugmaschine mit einer derartigen Antriebsvorrichtung |
| CN104607908A (zh) * | 2015-01-30 | 2015-05-13 | 安徽江淮汽车股份有限公司 | 作用力平衡机构 |
| CN105855905A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-17 | 马新足 | 一种结构稳固的浮动式工作台装置 |
| CN106041552B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-06-26 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种可双轴调节的加工工作台结构 |
| CN106002317A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种机械加工用的工作台装置 |
| CN105834764A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-10 | 马新足 | 一种浮动式机械加工工作台装置 |
| CN106002319B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-06-26 | 浦江特捷锁业有限公司 | 一种用于工业加工的浮动式工作台结构 |
| CN106078247B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-06-22 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种方便调整间隙的工作台结构 |
| CN106002332A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种可调节的浮动式工作台机构 |
| CN105881038A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-24 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种可双轴调节的浮动式工作台装置 |
| CN106002320B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-07-03 | 浦江特捷锁业有限公司 | 一种可双轴调节的工作台装置 |
| CN106041545B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-04-20 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种可双轴调节的加工工作台装置 |
| CN106002318B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-07-24 | 安溪县都源达包装材料有限公司 | 一种具有双轴调节功能的工作台设备 |
| CN105834762B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-03-30 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种位置可调的浮动式工作台设备 |
| CN106002334A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种新型浮动式工作台结构 |
| CN106002337A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种方便调节间隙的浮动式工作台装置 |
| CN106002315A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种易操作的浮动式工作台结构 |
| CN106002336B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-07-10 | 安溪县都源达包装材料有限公司 | 一种防断电的浮动式工作台机构 |
| CN105834761B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-03-30 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种运行顺畅的浮动式工作台结构 |
| CN105817909A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-03 | 马新足 | 一种加工装置的工作台结构 |
| CN105817907A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-03 | 马新足 | 一种浮动式工作台装置 |
| CN106002335B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-07-17 | 安溪县都源达包装材料有限公司 | 一种可双轴调节的浮动式工作台结构 |
| CN105881039B (zh) * | 2016-06-07 | 2018-04-20 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种防超程的浮动式工作台结构 |
| CN106002333A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种精度高的浮动式工作台设备 |
| CN106002331A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 马新足 | 一种智能控制的浮动式工作台装置 |
| CN106392675A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-02-15 | 天津百利机械装备研究院有限公司 | 一种重型卧式加工机床的滑枕结构 |
| CN107738117A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-02-27 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 自锁夹具 |
| CN111736289B (zh) * | 2019-03-25 | 2022-06-17 | 信泰光学(深圳)有限公司 | 光学模块 |
| DE102021134583A1 (de) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Leica Camera Aktiengesellschaft | Justiervorrichtung zum justieren der verkippung einer optik und optisches system |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735799A (en) * | 1980-08-14 | 1982-02-26 | Tokyo Shibaura Electric Co | Freeze vent device |
| US4588288A (en) * | 1983-07-01 | 1986-05-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Static pressure bearing and transport device utilizing the same |
| JPS60171157A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | 株式会社アイジー技術研究所 | サンドイッチ板製造装置 |
| US5228358A (en) * | 1990-02-21 | 1993-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Motion guiding device |
-
1993
- 1993-02-02 JP JP3742193A patent/JP2881363B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-01-28 US US06/188,016 patent/US5376988A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5822133A (en) * | 1995-08-07 | 1998-10-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical structure and device manufacturing method using the same |
| JP2003172858A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Nikon Corp | 光学部品保持装置及び露光装置 |
| JP2003207016A (ja) * | 2001-12-31 | 2003-07-25 | Delta Electoronics Inc | 変速機構 |
| JP2004311459A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
| JP2007061925A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Nano Control:Kk | 位置決めステージ及び回転ステージ |
| JP2008016510A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Nuflare Technology Inc | 半導体回路パターン形成装置 |
| JP2009128897A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Chicony Electronics Co Ltd | 形状記憶合金部材を有する作動装置 |
| JP4625108B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2011-02-02 | チコニー エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 形状記憶合金部材を有する作動装置 |
| JP2013202679A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ駆動装置およびレーザ加工装置 |
| CN105922021A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-09-07 | 石狮市固定科锁具有限公司 | 一种具有双轴调节功能的工作台机构 |
| JP2019191423A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | キヤノン株式会社 | 保持装置および光学装置 |
| JP2020016708A (ja) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | キヤノン株式会社 | 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 |
| KR20200011018A (ko) * | 2018-07-23 | 2020-01-31 | 캐논 가부시끼가이샤 | 광학 장치, 투영 광학계, 노광 장치 및 물품의 제조 방법 |
| CN110750034A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-04 | 佳能株式会社 | 光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法 |
| JP2022505506A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-01-14 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 調節可能スペーサ（ｔｕｎａｂｌｅ ｓｐａｃｅｒ）によりリソグラフィ装置の第１素子をリソグラフィ装置の第２素子に向けて調整する方法 |
| CN117307609A (zh) * | 2023-12-01 | 2023-12-29 | 江苏领臣精密机械有限公司 | 一种具有调平及锁紧功能的静压导轨组件 |
| CN117307609B (zh) * | 2023-12-01 | 2024-01-30 | 江苏领臣精密机械有限公司 | 一种具有调平及锁紧功能的静压导轨组件 |
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|---|---|
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