JPH0246336B2 - - Google Patents
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- JPH0246336B2 JPH0246336B2 JP58190754A JP19075483A JPH0246336B2 JP H0246336 B2 JPH0246336 B2 JP H0246336B2 JP 58190754 A JP58190754 A JP 58190754A JP 19075483 A JP19075483 A JP 19075483A JP H0246336 B2 JPH0246336 B2 JP H0246336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed screw
- nut
- frame
- linear motion
- needle roller
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、高精度送りを必要とする送りネジナ
ツトの支持構造に係り、特にネジのラジアル振れ
を直接テーブルに伝達させない高精度直動テーブ
ルに関する。
ツトの支持構造に係り、特にネジのラジアル振れ
を直接テーブルに伝達させない高精度直動テーブ
ルに関する。
パターン検査装置や露光装置等の半導体製造設
備においては高精度移動テーブルが必要不可欠で
あるが、近年LSIの微細化、高集積化に伴ない移
動テーブルに対する要求精度も一段と高まりつつ
ある。現在これらの移動テーブルに対する要求精
度はストローク200mm程度のテーブルにおいて直
進性、送り精度共にサブミクロンオーダの精度が
要求されている。
備においては高精度移動テーブルが必要不可欠で
あるが、近年LSIの微細化、高集積化に伴ない移
動テーブルに対する要求精度も一段と高まりつつ
ある。現在これらの移動テーブルに対する要求精
度はストローク200mm程度のテーブルにおいて直
進性、送り精度共にサブミクロンオーダの精度が
要求されている。
第１図は従来の一般的な構成を示した図であ
る。図において移動テーブル１はベース２上に固
定した直動案内３によつてガイドし、駆動モータ
４により送りネジ５を回転させ、移動テーブル１
に固定したナツト６に送りをかけることにより直
線移動させる。移動テーブル１は、直動案内３の
案内精度で移動することが望ましいが、第１図に
示した様にナツト６を移動テーブル１にソリツド
に自由度なく取付けた場合は、比較的入手が容易
な直動案内３の直進案内精度が長さ200mm程度で
１〜2μmであるのに対し、直径16mm、長さ300mm
程度の送りネジ５を精度よく製作してもラジアル
振れ40〜50μm程度以下にすることは困難であり、
従つて送りネジ５のラジアル振れが直接移動テー
ブル１に伝達され、本来の精度が出なかつたり、
直動案内３部や送りネジ５のナツト６との結合部
で摩擦抵抗が増加して円滑な動作が阻害されてし
まうという問題があつた。特に最近では案内精度
に優れる静圧直進空気案内が急増しているが、こ
の案内方式は、高精度直進案内が可能な反面剛性
が低い為、上述した従来技術の欠点は大きな問題
となつている。
る。図において移動テーブル１はベース２上に固
定した直動案内３によつてガイドし、駆動モータ
４により送りネジ５を回転させ、移動テーブル１
に固定したナツト６に送りをかけることにより直
線移動させる。移動テーブル１は、直動案内３の
案内精度で移動することが望ましいが、第１図に
示した様にナツト６を移動テーブル１にソリツド
に自由度なく取付けた場合は、比較的入手が容易
な直動案内３の直進案内精度が長さ200mm程度で
１〜2μmであるのに対し、直径16mm、長さ300mm
程度の送りネジ５を精度よく製作してもラジアル
振れ40〜50μm程度以下にすることは困難であり、
従つて送りネジ５のラジアル振れが直接移動テー
ブル１に伝達され、本来の精度が出なかつたり、
直動案内３部や送りネジ５のナツト６との結合部
で摩擦抵抗が増加して円滑な動作が阻害されてし
まうという問題があつた。特に最近では案内精度
に優れる静圧直進空気案内が急増しているが、こ
の案内方式は、高精度直進案内が可能な反面剛性
が低い為、上述した従来技術の欠点は大きな問題
となつている。
上記従来技術の問題点の解決策として以下に示
す２つの例がある。
す２つの例がある。
先ず第１の例を第２図に示す。この例はナツト
６を板バネ７で支持したもので、第２図は直動テ
ーブルのうちナツト６の支持部を部分的に示した
図である。ナツト６は移動テーブル１の端部に設
けたコの字形の溝部内に、一定の空隙を有する様
に配置し、ナツト６の一辺と移動テーブル１とを
図示の如き２ケ所を半円状に湾曲させた板バネ７
で結合し固定ネジ８により固定して送りネジ５の
ラジアル振れに対して自由度を持たせてある。本
実施例によれば、送りネジ５のラジアル振れに対
しては、板バネ７の上下左右方向への変形で逃げ
ており、変形量に応じて移動テーブル１に外力が
発生する。この外力は第１図の実施例に比較した
場合、かなり小さい力である為、案内剛性の大き
い直動テーブルに対しては有効であるが、静圧直
進空気案内の様な低剛性の案内を有する直動テー
ブルに対して十分な解決手段にならない。又、第
２図の例においては、ナツト６を送りネジ５の軸
心回りの回転方向に拘束してない為、送りネジ５
の送り方向に対して正確な位置決めができない欠
点がある。第３図はこの欠点を説明する為の図で
送りネジ５が第３図の矢印の方向に回転した場
合、送りネジ５とナツト６との摩擦抵抗に応じて
ナツト６が回転する。このナツト６の回転は送り
ネジ５の送り誤差を意味し、例えばナツト６がθ
（rad）だけ回転したとすると（ネジリード）×
（θ／2π）の送り誤差となる。又、このことは定
速性が重要である直動テーブルにおいては速度変
動を意味するものである。更にナツト６が送りネ
ジ５との摩擦抵抗により容易に回転するというこ
とは、送りネジ５の駆動を停止して移動テーブル
１の送りを止めても板バネ７の復元力によりナツ
ト６が減衰振動をしながら所定の停止位置に停止
する為位置決め時間が長くかかるという問題もあ
る。
６を板バネ７で支持したもので、第２図は直動テ
ーブルのうちナツト６の支持部を部分的に示した
図である。ナツト６は移動テーブル１の端部に設
けたコの字形の溝部内に、一定の空隙を有する様
に配置し、ナツト６の一辺と移動テーブル１とを
図示の如き２ケ所を半円状に湾曲させた板バネ７
で結合し固定ネジ８により固定して送りネジ５の
ラジアル振れに対して自由度を持たせてある。本
実施例によれば、送りネジ５のラジアル振れに対
しては、板バネ７の上下左右方向への変形で逃げ
ており、変形量に応じて移動テーブル１に外力が
発生する。この外力は第１図の実施例に比較した
場合、かなり小さい力である為、案内剛性の大き
い直動テーブルに対しては有効であるが、静圧直
進空気案内の様な低剛性の案内を有する直動テー
ブルに対して十分な解決手段にならない。又、第
２図の例においては、ナツト６を送りネジ５の軸
心回りの回転方向に拘束してない為、送りネジ５
の送り方向に対して正確な位置決めができない欠
点がある。第３図はこの欠点を説明する為の図で
送りネジ５が第３図の矢印の方向に回転した場
合、送りネジ５とナツト６との摩擦抵抗に応じて
ナツト６が回転する。このナツト６の回転は送り
ネジ５の送り誤差を意味し、例えばナツト６がθ
（rad）だけ回転したとすると（ネジリード）×
（θ／2π）の送り誤差となる。又、このことは定
速性が重要である直動テーブルにおいては速度変
動を意味するものである。更にナツト６が送りネ
ジ５との摩擦抵抗により容易に回転するというこ
とは、送りネジ５の駆動を停止して移動テーブル
１の送りを止めても板バネ７の復元力によりナツ
ト６が減衰振動をしながら所定の停止位置に停止
する為位置決め時間が長くかかるという問題もあ
る。
第４図〜第６図に従来技術の問題点を解決する
第２の公知例を示す。第４図は第６図のAA断面
を、第５図は第６図のBB断面を示したもので、
移動ステージ１に対してナツト６を転動体９，１
０を介して支持した構造をしている。ナツト６は
対向する２面の一方に円柱状突起部１１を有し、
他方に角柱状突起部１２を有する特殊な形状をし
ており、又移動ステージ１には円形穴１３及び角
形穴１４を穿つてあり、この穴部と前記突起部間
に転動体９，１０を介してナツト６と移動ステー
ジ１を支持しており、送りネジ５のラジアル振れ
に対して自由度のある構造となつている。第７図
は、この実施例における動作状況を説明する為の
図で、送りネジ５がｅだけ移動ステージ１に対し
て外側に振れた状態を示している。本方式によれ
ば、ナツト６は送りネジ５のラジアル振れに対し
て、円柱状突起部１１と転動体９との接触部付近
を中心として、ラジアル振れ方向に回転し、更に
転動体９，１０の転動により柱状突起部の軸心方
向に微小移動して、ラジアル振れを逃げでいる。
しかし本方式においても第７図で明らかな如く、
第１の実施例と同様な欠点を有する。即ち送りネ
ジ５のラジアル振れに対してナツト６が回転し、
送り誤差、あるいは速度変動が発生し、又、円柱
状突起部１１と転動体９及び円形穴１３の接触部
においては、ナツト６の回転に比例して転動体挿
入空間の間隔が狭まり、接触部分が変形し、ナツ
ト支持部の円滑な動作を阻害する。
第２の公知例を示す。第４図は第６図のAA断面
を、第５図は第６図のBB断面を示したもので、
移動ステージ１に対してナツト６を転動体９，１
０を介して支持した構造をしている。ナツト６は
対向する２面の一方に円柱状突起部１１を有し、
他方に角柱状突起部１２を有する特殊な形状をし
ており、又移動ステージ１には円形穴１３及び角
形穴１４を穿つてあり、この穴部と前記突起部間
に転動体９，１０を介してナツト６と移動ステー
ジ１を支持しており、送りネジ５のラジアル振れ
に対して自由度のある構造となつている。第７図
は、この実施例における動作状況を説明する為の
図で、送りネジ５がｅだけ移動ステージ１に対し
て外側に振れた状態を示している。本方式によれ
ば、ナツト６は送りネジ５のラジアル振れに対し
て、円柱状突起部１１と転動体９との接触部付近
を中心として、ラジアル振れ方向に回転し、更に
転動体９，１０の転動により柱状突起部の軸心方
向に微小移動して、ラジアル振れを逃げでいる。
しかし本方式においても第７図で明らかな如く、
第１の実施例と同様な欠点を有する。即ち送りネ
ジ５のラジアル振れに対してナツト６が回転し、
送り誤差、あるいは速度変動が発生し、又、円柱
状突起部１１と転動体９及び円形穴１３の接触部
においては、ナツト６の回転に比例して転動体挿
入空間の間隔が狭まり、接触部分が変形し、ナツ
ト支持部の円滑な動作を阻害する。
本発明の目的は、送りネジのラジアル振れをテ
ーブルに伝達せず、送り精度が良く、速度変動、
移動抵抗の変動がなく、停止時の減衰振動が少な
い高速位置決め可能な直動テーブルを提供するこ
とにある。
ーブルに伝達せず、送り精度が良く、速度変動、
移動抵抗の変動がなく、停止時の減衰振動が少な
い高速位置決め可能な直動テーブルを提供するこ
とにある。
本発明は、上記目的を達成するために、送りネ
ジに噛み合う角ナツトによりテーブルを直動させ
る直動テーブルにおいて、上記角ナツトの外側の
上記送りネジの軸心に対する左右の両面について
ニードルローラを挾んで密着支持し、上記角ナツ
トの送りネジの軸心方向と直角な前後両側につい
て挾むように軸心を水平方向に向けた少なくとも
３本のころがり軸受を設けた枠と、該枠の上端面
と上記テーブルの突起部の下端面との間にニード
ルローラを挾んで上記枠と上記テーブルとを上記
ニードルローラを介して密着させるばね張力付与
手段と、上記テーブルの突起部の送りネジの軸心
方向と直角な前後両側について挾むように軸心を
上下方向に向けて上記枠に設けた少なくとも２本
のころがり軸受とを備え、送りネジのナツトを、
送りネジのラジアル振れ方向にのみ自由度を有
し、送り方向及び送りネジの軸心回りの回転方向
に対して拘束するようにテーブルに支持したこと
を特徴とする直動テーブルである。
ジに噛み合う角ナツトによりテーブルを直動させ
る直動テーブルにおいて、上記角ナツトの外側の
上記送りネジの軸心に対する左右の両面について
ニードルローラを挾んで密着支持し、上記角ナツ
トの送りネジの軸心方向と直角な前後両側につい
て挾むように軸心を水平方向に向けた少なくとも
３本のころがり軸受を設けた枠と、該枠の上端面
と上記テーブルの突起部の下端面との間にニード
ルローラを挾んで上記枠と上記テーブルとを上記
ニードルローラを介して密着させるばね張力付与
手段と、上記テーブルの突起部の送りネジの軸心
方向と直角な前後両側について挾むように軸心を
上下方向に向けて上記枠に設けた少なくとも２本
のころがり軸受とを備え、送りネジのナツトを、
送りネジのラジアル振れ方向にのみ自由度を有
し、送り方向及び送りネジの軸心回りの回転方向
に対して拘束するようにテーブルに支持したこと
を特徴とする直動テーブルである。
以下、本発明の一実施例を第８図、第９図によ
り説明する。第８図は本実施例を説明する為の送
りネジの軸心方向に切断した断面図、第９図は第
８図におけるＣ矢視図である。送りネジ５と係合
した角形のナツト６は、第９図の如く枠１５に対
して対向する上下２面は一定の空間を有し、左右
２面はニードルローラ１６を狭んで密着させ、送
りネジ５の軸心に対して直角な前後２面は、枠１
５に取付けたころがり軸受１７，１８で狭持し、
送りネジ５の送り方向、左右のラジアル振れ方
向、軸心回りの回転方向に対して運動を拘束し、
上下方向の移動に対してのみ自由度を持たせてあ
る。ころがり軸受１７は枠１５に対して偏心軸１
９で取付けてありナツト６を枠１５に対してガタ
なく狭持できる様にしてある。次に枠１５は移動
テーブル１に対して上下方向には弾性体２０によ
りニードルローラ２１を密着狭持するように連結
し、送りネジ５の送り方向に対しては、枠１５は
取付けたころがり軸受２２，２３により移動テー
ブル１の突起部２４を狭持するように連結して、
送りネジ５の送り方向、上下のラジアル振れ方
向、軸心回りの回転方向の運動を拘束し、左右方
向の移動に対してのみ自由度を持たせてある。こ
ろがり軸受２２は、ころがり軸受１７と同様枠１
５に対して偏心軸２５で取付けてあり移動テーブ
ル１の突起部２４を枠１５にガタなく狭持可能と
してある。以上述べたナツト支持構造の直動テー
ブルをラジアル振れを有する送りネジ５で駆動し
た場合、上下の振れに対しては、ナツト６と枠１
５間で、左右の振れに対しては枠１５と移動テー
ブル１間で逃げることができ、しかも送り方向、
軸心回りの回転方向に対しては自由度を拘束して
ある為、正確に移動テーブル１を送ることができ
る。
り説明する。第８図は本実施例を説明する為の送
りネジの軸心方向に切断した断面図、第９図は第
８図におけるＣ矢視図である。送りネジ５と係合
した角形のナツト６は、第９図の如く枠１５に対
して対向する上下２面は一定の空間を有し、左右
２面はニードルローラ１６を狭んで密着させ、送
りネジ５の軸心に対して直角な前後２面は、枠１
５に取付けたころがり軸受１７，１８で狭持し、
送りネジ５の送り方向、左右のラジアル振れ方
向、軸心回りの回転方向に対して運動を拘束し、
上下方向の移動に対してのみ自由度を持たせてあ
る。ころがり軸受１７は枠１５に対して偏心軸１
９で取付けてありナツト６を枠１５に対してガタ
なく狭持できる様にしてある。次に枠１５は移動
テーブル１に対して上下方向には弾性体２０によ
りニードルローラ２１を密着狭持するように連結
し、送りネジ５の送り方向に対しては、枠１５は
取付けたころがり軸受２２，２３により移動テー
ブル１の突起部２４を狭持するように連結して、
送りネジ５の送り方向、上下のラジアル振れ方
向、軸心回りの回転方向の運動を拘束し、左右方
向の移動に対してのみ自由度を持たせてある。こ
ろがり軸受２２は、ころがり軸受１７と同様枠１
５に対して偏心軸２５で取付けてあり移動テーブ
ル１の突起部２４を枠１５にガタなく狭持可能と
してある。以上述べたナツト支持構造の直動テー
ブルをラジアル振れを有する送りネジ５で駆動し
た場合、上下の振れに対しては、ナツト６と枠１
５間で、左右の振れに対しては枠１５と移動テー
ブル１間で逃げることができ、しかも送り方向、
軸心回りの回転方向に対しては自由度を拘束して
ある為、正確に移動テーブル１を送ることができ
る。
以上の説明では、ナツト６と枠１５及び枠１５
と移動テーブル１とはころがり案内により結合し
た例を示したが、すべり案内によつて結合しても
同様の動作は可能である。
と移動テーブル１とはころがり案内により結合し
た例を示したが、すべり案内によつて結合しても
同様の動作は可能である。
以上述べた如く、本発明によれば送りネジのナ
ツトを送りネジのラジアル振れ方向にのみ自由度
を有し、送り方向及び送りネジの軸心回りの回転
方向に対して拘束する様にテーブルに支持した
為、送りネジのラジアル振れをテーブルに伝達せ
ず、送り精度が良く、速度変動、移動抵抗の変動
がなく高速位置決めが可能な直動テーブルを提供
できる様になつた。特に今後急増が予想される案
内剛性の低い静圧直進空気案内方式の直動テーブ
ルに対しては、この方式が持つ優れた案内精度を
損わない有効な手段となり、これからの直動テー
ブルに必要不可欠な基本技術となる。
ツトを送りネジのラジアル振れ方向にのみ自由度
を有し、送り方向及び送りネジの軸心回りの回転
方向に対して拘束する様にテーブルに支持した
為、送りネジのラジアル振れをテーブルに伝達せ
ず、送り精度が良く、速度変動、移動抵抗の変動
がなく高速位置決めが可能な直動テーブルを提供
できる様になつた。特に今後急増が予想される案
内剛性の低い静圧直進空気案内方式の直動テーブ
ルに対しては、この方式が持つ優れた案内精度を
損わない有効な手段となり、これからの直動テー
ブルに必要不可欠な基本技術となる。
第１図乃至第７図は従来の実施例及び問題点を
説明する為の図、第８図、第９図は本発明による
実施例を説明する為の図で、第８図は送りネジの
軸心方向に切断した断面図、第９図は第８図にお
けるＣ矢視図である。 １……移動テーブル、２……ベース、３……直
動案内、４……駆動モータ、５……送りネジ、６
……ナツト、７……板バネ、８……固定ネジ、
９，１０……転動体、１１……円柱状突起部、１
２……角柱状突起部、１３……円形穴、１４……
角形穴、１５……枠、１６，２１……ニードルロ
ーラ、１７，１８，２２，２３……ころがり軸
受、１９，２５……偏心軸、２０……弾性体、２
４……突起部。
説明する為の図、第８図、第９図は本発明による
実施例を説明する為の図で、第８図は送りネジの
軸心方向に切断した断面図、第９図は第８図にお
けるＣ矢視図である。 １……移動テーブル、２……ベース、３……直
動案内、４……駆動モータ、５……送りネジ、６
……ナツト、７……板バネ、８……固定ネジ、
９，１０……転動体、１１……円柱状突起部、１
２……角柱状突起部、１３……円形穴、１４……
角形穴、１５……枠、１６，２１……ニードルロ
ーラ、１７，１８，２２，２３……ころがり軸
受、１９，２５……偏心軸、２０……弾性体、２
４……突起部。
Claims (1)
- １ 送りネジに噛み合う角ナツトによりテーブル
を直動させる直動テーブルにおいて、上記角ナツ
トの外側の上記送りネジの軸心に対する左右の両
面についてニードルローラを挾んで密着支持し、
上記角ナツトの送りネジの軸心方向と直角な前後
両側について挾むように軸心を水平方向に向けた
少なくとも３本のころがり軸受を設けた枠と、該
枠の上端面と上記テーブルの突起部の下端面との
間にニードルローラを挾んで上記枠と上記テーブ
ルとを上記ニードルローラを介して密着させるば
ね張力付与手段と、上記テーブルの突起部の送り
ネジの軸心方向と直角な前後両側について挾むよ
うに軸心を上下方向に向けて上記枠に設けた少な
くとも２本のころがり軸受とを備え、送りネジの
ナツトを、送りネジのラジアル振れ方向にのみ自
由度を有し、送り方向及び送りネジの軸心回りの
回転方向に対して拘束するようにテーブルに支持
したことを特徴とする直動テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19075483A JPS6085848A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 直動テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19075483A JPS6085848A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 直動テ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085848A JPS6085848A (ja) | 1985-05-15 |
| JPH0246336B2 true JPH0246336B2 (ja) | 1990-10-15 |
Family
ID=16263174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19075483A Granted JPS6085848A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 直動テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6085848A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03112838U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2696121B1 (fr) * | 1992-09-29 | 1995-08-25 | Louis Mathian | Massicot de decoupe d'onglets. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5176681A (ja) * | 1974-11-25 | 1976-07-02 | Bendix Corp | |
| JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP19075483A patent/JPS6085848A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5176681A (ja) * | 1974-11-25 | 1976-07-02 | Bendix Corp | |
| JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03112838U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6085848A (ja) | 1985-05-15 |
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