JPH0249528Y2 - - Google Patents
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- JPH0249528Y2 JPH0249528Y2 JP18767583U JP18767583U JPH0249528Y2 JP H0249528 Y2 JPH0249528 Y2 JP H0249528Y2 JP 18767583 U JP18767583 U JP 18767583U JP 18767583 U JP18767583 U JP 18767583U JP H0249528 Y2 JPH0249528 Y2 JP H0249528Y2
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術分野〕
本考案は、三次元測定機等、主として高精度測
定機の送り機構に用いられる送りねじに螺合され
たナツト部材に測定機本体(スライダ)側を連結
する、測定機の駆動連結構造に関する。
定機の送り機構に用いられる送りねじに螺合され
たナツト部材に測定機本体(スライダ)側を連結
する、測定機の駆動連結構造に関する。
測定機の送り機構に送りねじ軸を用いる場合
は、一般的に、第1図に示されるような基本的構
造を有している。即ち、この図に示されるよう
に、送りねじ軸1は駆動モータ2により回転され
るとともに、送りねじ軸1にはナツト部材3が螺
合され、このナツト部材3に測定機本体(スライ
ダ)4が連結され、測定機本体4は前記送りねじ
軸1の回転量に応じて送りねじ軸1と平行に配置
された案内レール5に案内される等しながら移動
されるようになつている。
は、一般的に、第1図に示されるような基本的構
造を有している。即ち、この図に示されるよう
に、送りねじ軸1は駆動モータ2により回転され
るとともに、送りねじ軸1にはナツト部材3が螺
合され、このナツト部材3に測定機本体(スライ
ダ)4が連結され、測定機本体4は前記送りねじ
軸1の回転量に応じて送りねじ軸1と平行に配置
された案内レール5に案内される等しながら移動
されるようになつている。
ところで、ナツト部材3と測定機本体4とが互
いに相対変位不能に一体的に結合されている場合
は、送りねじ軸1と案内レール5との両者間でそ
の平行度に誤差がある等の場合のように組立上の
精度誤差が含まれているときや、送りねじ軸1を
回転させた際に変動等(ヨーイング、ローリン
グ、ピツチング)が生じたときに、構成要素の特
に弱い部分に無理な力が加わりその構成要素が破
損してしまう恐れがある。
いに相対変位不能に一体的に結合されている場合
は、送りねじ軸1と案内レール5との両者間でそ
の平行度に誤差がある等の場合のように組立上の
精度誤差が含まれているときや、送りねじ軸1を
回転させた際に変動等(ヨーイング、ローリン
グ、ピツチング)が生じたときに、構成要素の特
に弱い部分に無理な力が加わりその構成要素が破
損してしまう恐れがある。
そこで、ナツト部材3と測定機本体4とを弾性
部材を介して互いに連結し、或いは、測定機本体
4に円筒部を設け、この円筒部に嵌合された球を
ナツト部材3に固定し、これにより、ナツト部材
3と測定機本体4との相対的変位を吸収する等し
た構造が知られている。しかしながら、このよう
な従来装置は、ナツト部材3と測定機本体4との
間の相対的変位(位置ずれ)を吸収することにの
み着目されて構成されているものであり、例えば
三次元測定機のように、高精度、且つ、場合によ
つては大型化された測定機に採用するときは、特
に、測定精度上の悪影響が問題となる。
部材を介して互いに連結し、或いは、測定機本体
4に円筒部を設け、この円筒部に嵌合された球を
ナツト部材3に固定し、これにより、ナツト部材
3と測定機本体4との相対的変位を吸収する等し
た構造が知られている。しかしながら、このよう
な従来装置は、ナツト部材3と測定機本体4との
間の相対的変位(位置ずれ)を吸収することにの
み着目されて構成されているものであり、例えば
三次元測定機のように、高精度、且つ、場合によ
つては大型化された測定機に採用するときは、特
に、測定精度上の悪影響が問題となる。
即ち、ナツト部材3と測定機本体4との間の相
対変位量を吸収できる許容量は大きいが、その反
面、例えば案内レール5との間の摺動抵抗変化等
により測定機本体4の送り量に誤差が容易に生じ
たりして、送り量の保証精度を維持することが困
難である。別言すれば、従来は、ナツト部材3と
測定機本体4とを互いに三次元的方向の夫々につ
いての相対的位置ずれを許容するものであつたた
め、送り量をも高精度制御することが不可能とな
り、結果として、精密なねじ送りを行なうことが
できなかつた。
対変位量を吸収できる許容量は大きいが、その反
面、例えば案内レール5との間の摺動抵抗変化等
により測定機本体4の送り量に誤差が容易に生じ
たりして、送り量の保証精度を維持することが困
難である。別言すれば、従来は、ナツト部材3と
測定機本体4とを互いに三次元的方向の夫々につ
いての相対的位置ずれを許容するものであつたた
め、送り量をも高精度制御することが不可能とな
り、結果として、精密なねじ送りを行なうことが
できなかつた。
本考案の目的は、ナツト部材に対する測定機本
体の相対移動を許容して、組立ての際に含まれた
誤差や送りねじ軸の回転の際の変動の測定機本体
側への悪影響を吸収することができ、しかも、送
り量を正確なものとすることのできる測定機の駆
動連結構造を提供することにある。
体の相対移動を許容して、組立ての際に含まれた
誤差や送りねじ軸の回転の際の変動の測定機本体
側への悪影響を吸収することができ、しかも、送
り量を正確なものとすることのできる測定機の駆
動連結構造を提供することにある。
そのため本考案は、送りねじ軸に螺合されたナ
ツト部材に送り方向と直交する方向に向けて固定
された連結板をナツト部材に、送り方向の両側か
ら挟持して送り方向には相対変位不能で連結板の
面方向には相対変位可能に、係合する第1係合手
段と、ナツト部材および測定機本体側のいずれか
一方に固定されたアームを、ナツト部材および測
定機本体側のいずれか他方において、ナツト部材
の周方向の両側から所定の間隙を許容しながら挟
持してナツト部材を測定機本体側に相対回転不能
に係合する第2係合手段と、を夫々相互に干渉し
ないように格別に設け、送りねじ軸に螺合された
ナツト部材のヨーイング、ローリング、ピツチン
グ等の変動や組立ての際に含まれた誤差を前記連
結板により吸収させて(許容して)、前記目的を
達成しようとするものである。
ツト部材に送り方向と直交する方向に向けて固定
された連結板をナツト部材に、送り方向の両側か
ら挟持して送り方向には相対変位不能で連結板の
面方向には相対変位可能に、係合する第1係合手
段と、ナツト部材および測定機本体側のいずれか
一方に固定されたアームを、ナツト部材および測
定機本体側のいずれか他方において、ナツト部材
の周方向の両側から所定の間隙を許容しながら挟
持してナツト部材を測定機本体側に相対回転不能
に係合する第2係合手段と、を夫々相互に干渉し
ないように格別に設け、送りねじ軸に螺合された
ナツト部材のヨーイング、ローリング、ピツチン
グ等の変動や組立ての際に含まれた誤差を前記連
結板により吸収させて(許容して)、前記目的を
達成しようとするものである。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第2図には、本考案に係る測定機の駆動連結構
造が三次元測定機に適用された一実施例の全体構
成が示されている。図中、基台11の両側に立設
されたコラム12には移動レール13がX軸方向
に沿つて移動自在に支持され、この移動レール1
3には測定機本体としてのスライダ14がY軸方
向に沿つて移動自在に支持されている。移動レー
ル13には送りねじ軸15が回転可能且つ前記レ
ール13と平行に取付けられるとともに、送りね
じ軸15は駆動モータ16により回転角度が極め
て高精度に制御された状態で回転され得るように
なつている。また、スライダ14にはスピンドル
17がZ軸方向に沿つて移動可能に支持され、こ
れにより、スピンドル17は互いに直交するX,
Y,Z軸方向の夫々に三次元的に移動可能とされ
ている。
造が三次元測定機に適用された一実施例の全体構
成が示されている。図中、基台11の両側に立設
されたコラム12には移動レール13がX軸方向
に沿つて移動自在に支持され、この移動レール1
3には測定機本体としてのスライダ14がY軸方
向に沿つて移動自在に支持されている。移動レー
ル13には送りねじ軸15が回転可能且つ前記レ
ール13と平行に取付けられるとともに、送りね
じ軸15は駆動モータ16により回転角度が極め
て高精度に制御された状態で回転され得るように
なつている。また、スライダ14にはスピンドル
17がZ軸方向に沿つて移動可能に支持され、こ
れにより、スピンドル17は互いに直交するX,
Y,Z軸方向の夫々に三次元的に移動可能とされ
ている。
第3図には、前記スライダ14の内部構造が示
されている。図中、送りねじ軸15には、一端側
にフランジ部21Aを有するナツト部材21が螺
合され、このナツト部材21には、略中央部にナ
ツト部材21が挿通される挿通孔24Aを有する
連結板24が嵌合されている。この連結板24は
送り方向と直交する方向に向けられてフランジ部
21Aに固定されるとともに、両側面は夫々高精
度研磨されて極めて平滑な状態に仕上げられてい
る。
されている。図中、送りねじ軸15には、一端側
にフランジ部21Aを有するナツト部材21が螺
合され、このナツト部材21には、略中央部にナ
ツト部材21が挿通される挿通孔24Aを有する
連結板24が嵌合されている。この連結板24は
送り方向と直交する方向に向けられてフランジ部
21Aに固定されるとともに、両側面は夫々高精
度研磨されて極めて平滑な状態に仕上げられてい
る。
連結板24の一部は挟持板22より更にナツト
部材21の径方向外側へと所定長だけ延在され、
この延在部分は本体結合ブラケツト31に形成さ
れた凹部32内に遊挿入されている。また、前記
本体結合ブラケツト31は前記測定機本体として
のスライダ14側に結合されている。
部材21の径方向外側へと所定長だけ延在され、
この延在部分は本体結合ブラケツト31に形成さ
れた凹部32内に遊挿入されている。また、前記
本体結合ブラケツト31は前記測定機本体として
のスライダ14側に結合されている。
凹部32の送り方向両側の壁体を構成する2つ
の凸部33および34には夫々調整ねじ35,3
6が同一軸線上を互いに向い合つた状態で嵌入保
持されている。調整ねじ35,36の先端には
夫々硬質ボール37,38が固定され、これら硬
質ボール37,38は滑り案内板41,42のテ
ーパ陥部41A,42A内に陥入されている。
の凸部33および34には夫々調整ねじ35,3
6が同一軸線上を互いに向い合つた状態で嵌入保
持されている。調整ねじ35,36の先端には
夫々硬質ボール37,38が固定され、これら硬
質ボール37,38は滑り案内板41,42のテ
ーパ陥部41A,42A内に陥入されている。
両滑り案内板41,42は、連結板24と同様
に、送り方向と直交する方向に向けて配置され、
両滑り案内板41,42間には硬質ボール43を
介して連結板24が挟持されている。硬質ボール
43は連結板24の径方向に異なる位置にて複数
配置され、且つ、図示しないリテーナにより保持
されている。また、硬質ボール43に接する滑り
案内板41,42の側面は高精度研磨されて極め
て平滑に仕上げられている。
に、送り方向と直交する方向に向けて配置され、
両滑り案内板41,42間には硬質ボール43を
介して連結板24が挟持されている。硬質ボール
43は連結板24の径方向に異なる位置にて複数
配置され、且つ、図示しないリテーナにより保持
されている。また、硬質ボール43に接する滑り
案内板41,42の側面は高精度研磨されて極め
て平滑に仕上げられている。
ここにおいて、凹部33,34、調整ねじ3
5,36、硬質ボール37,38,43、および
両滑り案内板41,42により、連結板24をナ
ツト部材21に、送り方向の両側から挟持して送
り方向には剛接触して相対変位不能である連結板
24の面方向には硬質ボール43を介して転がり
点接触して相対変位可能に係合する第1係合手段
46が構成されている。
5,36、硬質ボール37,38,43、および
両滑り案内板41,42により、連結板24をナ
ツト部材21に、送り方向の両側から挟持して送
り方向には剛接触して相対変位不能である連結板
24の面方向には硬質ボール43を介して転がり
点接触して相対変位可能に係合する第1係合手段
46が構成されている。
前記フランジ部21Aの外側面にはアーム51
が径方向外側にに向つて突設固定されている。こ
のアーム51の先端側は、第4図に示されるよう
に、前記本体結合ブラケツト31に形成された廻
り止め用凹部52内に遊挿入されている。廻り止
め用凹部52の両側壁を構成する廻り止め用凸部
53には、夫々調整ねじ54がアーム51に向つ
てナツト部材21の周方向(軸線方向)に沿つて
挿入されている。
が径方向外側にに向つて突設固定されている。こ
のアーム51の先端側は、第4図に示されるよう
に、前記本体結合ブラケツト31に形成された廻
り止め用凹部52内に遊挿入されている。廻り止
め用凹部52の両側壁を構成する廻り止め用凸部
53には、夫々調整ねじ54がアーム51に向つ
てナツト部材21の周方向(軸線方向)に沿つて
挿入されている。
2つの調整ねじ54の先端には小球状の硬質チ
ツプ55が固定され、即ち、アーム51はナツト
部材21の径方向の両側から硬質チツプ55によ
り点接触された状態で、所定の間隙を許容しなが
ら且つ前記間隙が調整可能とされながら、挟持さ
れている。ここにおいて、両廻り止め用凸部5
3,調整ねじ54、および硬質チツプ55によ
り、アーム51をスライダ14側においてナツト
部材21の周方向の両側から所定の間隙を許容し
ながら挟持してナツト部材21をスライダ14側
に相対回転(送りねじ軸15を中心とする回転)
不能に係合する第2係合手段58が構成されてい
る。なお、両硬質チツプ55間に狭まれたアーム
51は、ナツト部材21の回転方向以外の方向、
例えば、送り方向や径方向にはスライダ14側に
対して相対移動可能とされている。
ツプ55が固定され、即ち、アーム51はナツト
部材21の径方向の両側から硬質チツプ55によ
り点接触された状態で、所定の間隙を許容しなが
ら且つ前記間隙が調整可能とされながら、挟持さ
れている。ここにおいて、両廻り止め用凸部5
3,調整ねじ54、および硬質チツプ55によ
り、アーム51をスライダ14側においてナツト
部材21の周方向の両側から所定の間隙を許容し
ながら挟持してナツト部材21をスライダ14側
に相対回転(送りねじ軸15を中心とする回転)
不能に係合する第2係合手段58が構成されてい
る。なお、両硬質チツプ55間に狭まれたアーム
51は、ナツト部材21の回転方向以外の方向、
例えば、送り方向や径方向にはスライダ14側に
対して相対移動可能とされている。
次に、本実施例の作用につき説明する。
送りねじ軸15を駆動モータ16により高精度
制御しながら回転させると、移動レール13によ
りスライダ14等を介して廻り止めされた状態に
あるナツト部材21が送りねじ軸15の軸線方
向、即ち、送り方向に沿つて移動される。このと
き、連結板24は、第1係合手段46において、
ナツト部材21および本体結合ブラケツト31側
と送り方向については相対移動不能とされてお
り、ナツト部材21の送り量は極めて高精度に本
体結合ブラケツト31側へと伝達されることとな
る。
制御しながら回転させると、移動レール13によ
りスライダ14等を介して廻り止めされた状態に
あるナツト部材21が送りねじ軸15の軸線方
向、即ち、送り方向に沿つて移動される。このと
き、連結板24は、第1係合手段46において、
ナツト部材21および本体結合ブラケツト31側
と送り方向については相対移動不能とされてお
り、ナツト部材21の送り量は極めて高精度に本
体結合ブラケツト31側へと伝達されることとな
る。
ナツト部材21に、ヨーイング、ローリング、
ピツチング等の変動が生ずると、連結板24が硬
質ボール43を介して連結板24の面方向に沿つ
て相対移動され、本体結合ブラケツト31側と前
記面方向に沿つて相対移動可能とされている。従
つて、ナツト部材21に前述のような変動が生じ
ても、この変動は、連結板24がその面方向に沿
つて自由移動してしまうことにより吸収され、本
体結合ブラケツト31側へとは伝達されない。
ピツチング等の変動が生ずると、連結板24が硬
質ボール43を介して連結板24の面方向に沿つ
て相対移動され、本体結合ブラケツト31側と前
記面方向に沿つて相対移動可能とされている。従
つて、ナツト部材21に前述のような変動が生じ
ても、この変動は、連結板24がその面方向に沿
つて自由移動してしまうことにより吸収され、本
体結合ブラケツト31側へとは伝達されない。
また、ナツト部材21は本体結合ブラケツト3
1と第2係合手段58においても互いに係合され
ているが、第2係合手段58を構成するアーム5
1は、その両側より挟持される調整ねじ54によ
り回転方向には相対変位が高精度に規制される
が、連結板24の面方向等の、前記回転方向以外
の方向についてはアーム51の本体結合ブラケツ
ト31に対する相対変位が許容されるものである
ため、第2係合手段58においてもまた、ナツト
部材21のヨーイング、ローリング、ピツチング
等の変動がナツト部材21から本体結合ブラケツ
ト31へと伝達されることがない。
1と第2係合手段58においても互いに係合され
ているが、第2係合手段58を構成するアーム5
1は、その両側より挟持される調整ねじ54によ
り回転方向には相対変位が高精度に規制される
が、連結板24の面方向等の、前記回転方向以外
の方向についてはアーム51の本体結合ブラケツ
ト31に対する相対変位が許容されるものである
ため、第2係合手段58においてもまた、ナツト
部材21のヨーイング、ローリング、ピツチング
等の変動がナツト部材21から本体結合ブラケツ
ト31へと伝達されることがない。
また、吸収される変動の大きさ(許容量)や送
り量の正確さは、調整ねじ35,36により調整
され、適用される測定機全体に要求される精度に
対応させることとなる。
り量の正確さは、調整ねじ35,36により調整
され、適用される測定機全体に要求される精度に
対応させることとなる。
また、送りねじ軸15の回転の際に生ずる変動
が吸収されるのと同様に、組立ての際に含まれる
こととなつた誤差、例えば、レール13と送りね
じ軸15との両者間における平行度の誤差等も吸
収される。
が吸収されるのと同様に、組立ての際に含まれる
こととなつた誤差、例えば、レール13と送りね
じ軸15との両者間における平行度の誤差等も吸
収される。
このような本実施例によれば、ナツト部材21
にヨーイング、ローリング、ピツチング等の種々
の変動が生じても、また、組立て中に誤差が含ま
れることとなつていても、本体結合ブラケツト3
1(スライダ14側)側に前記変動や誤差は伝達
されないが、送り量自体は極めて高精度に伝達さ
れるという効果がある。
にヨーイング、ローリング、ピツチング等の種々
の変動が生じても、また、組立て中に誤差が含ま
れることとなつていても、本体結合ブラケツト3
1(スライダ14側)側に前記変動や誤差は伝達
されないが、送り量自体は極めて高精度に伝達さ
れるという効果がある。
しかも、ナツト部材21に生じた変動等の吸収
量、即ち、変動等の許容量や或いは送り量の正確
さは、調整ねじ36および調整ねじ54の夫々に
より調整可能とされており、従つて、適用される
三次元測定機の精度に応じて、最も適正な許容量
や送り量の正確さを容易に且つ迅速に選択するこ
とができるという効果がある。
量、即ち、変動等の許容量や或いは送り量の正確
さは、調整ねじ36および調整ねじ54の夫々に
より調整可能とされており、従つて、適用される
三次元測定機の精度に応じて、最も適正な許容量
や送り量の正確さを容易に且つ迅速に選択するこ
とができるという効果がある。
また、連結板24は硬質ボール25,35に点
接触しており、摩擦力が極小とされているため、
連結板24の動きが迅速となり、ナツト部材21
側に生じた変動等が極めて迅速に吸収されるとい
う効果がある。
接触しており、摩擦力が極小とされているため、
連結板24の動きが迅速となり、ナツト部材21
側に生じた変動等が極めて迅速に吸収されるとい
う効果がある。
また、滑り案内板41,42を設けたので、こ
の点からも連結板24の動きが迅速となり、か
つ、連結板24の姿勢も安定する。
の点からも連結板24の動きが迅速となり、か
つ、連結板24の姿勢も安定する。
なお、実施にあたり、アーム51はナツト部材
21側に取付けられるものとしたが、これとは逆
に、本体結合ブラケツト31側に取付けられてい
てもよい。また、第2係合手段58は、アーム5
1を回転方向両側から硬質チツプ55により挟持
する前述の構成に限らず、ナツト部材21に対す
る本体結合ブラケツト31の連結板24の面方向
等の動きを許容しながら且つ廻り止めを行なえ得
る構造であればよい。
21側に取付けられるものとしたが、これとは逆
に、本体結合ブラケツト31側に取付けられてい
てもよい。また、第2係合手段58は、アーム5
1を回転方向両側から硬質チツプ55により挟持
する前述の構成に限らず、ナツト部材21に対す
る本体結合ブラケツト31の連結板24の面方向
等の動きを許容しながら且つ廻り止めを行なえ得
る構造であればよい。
また、調整ねじ36,44は必ずしも必要では
ないが、これらがあれば変動等の許容量や送り量
の正確さが適宜調整できて便宜である。
ないが、これらがあれば変動等の許容量や送り量
の正確さが適宜調整できて便宜である。
上述のように本考案によれば、ナツト部材に対
する測定機本体の相対移動を許容して、組立ての
際に含まれた誤差や送りねじの回転の際のナツト
部材に生じた変動が測定機本体側に伝達されるこ
とがなく、しかも、送り量を正確なものとするこ
とのできる測定機の連結駆動構造を提供できる。
する測定機本体の相対移動を許容して、組立ての
際に含まれた誤差や送りねじの回転の際のナツト
部材に生じた変動が測定機本体側に伝達されるこ
とがなく、しかも、送り量を正確なものとするこ
とのできる測定機の連結駆動構造を提供できる。
第1図は従来の測定機の駆動連結構造の概略構
成を示す平面図、第2図は本考案に係る測定機の
駆動構造の一実施例が適用される三次元測定機の
全体構成を示す斜視図、第3図は前記実施例を拡
大して示す一部を切欠いた正面図、第4図は第3
図の−線に従う矢視断面図である。 15……送りねじ軸、16……駆動モータ、2
1……ナツト部材、22……挟持板、23……ス
ペーサ、24……連結板、37,38,43……
硬質ボール、41,42……滑り案内板、46…
…第1係合手段、31……本体結合ブラケツト、
32……凹部、33………凸部、36……調整ね
じ、51……アーム、52……廻り止め用凹部、
53……廻り止め用凸部、54……調整ねじ、5
5……硬質チツプ、58……第2係合手段。
成を示す平面図、第2図は本考案に係る測定機の
駆動構造の一実施例が適用される三次元測定機の
全体構成を示す斜視図、第3図は前記実施例を拡
大して示す一部を切欠いた正面図、第4図は第3
図の−線に従う矢視断面図である。 15……送りねじ軸、16……駆動モータ、2
1……ナツト部材、22……挟持板、23……ス
ペーサ、24……連結板、37,38,43……
硬質ボール、41,42……滑り案内板、46…
…第1係合手段、31……本体結合ブラケツト、
32……凹部、33………凸部、36……調整ね
じ、51……アーム、52……廻り止め用凹部、
53……廻り止め用凸部、54……調整ねじ、5
5……硬質チツプ、58……第2係合手段。
Claims (1)
- 送りねじ軸に螺合されたナツト部材に測定機本
体側を連結する測定機の駆動連結構造であつて、
前記ナツト部材に送り方向と直交する方向に向け
て固定された連結板を、測定機本体側に、送り方
向の両側から挟持して送り方向には相対変位不能
で且つ連結板の面方向には相対変位可能に、係合
する第1係合手段と、ナツト部材および測定機本
体側のいずれか一方に固定されたアームを、ナツ
ト部材および測定本体側のいずれか他方におい
て、ナツト部材の周方向の両側から所定の間隙を
許容しながら挟持してナツト部材を測定機本体側
に相対回転不能に係合する第2係合手段と、を含
んで構成されていることを特徴とする測定機の駆
動連結構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18767583U JPS6093906U (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 測定機の駆動連結構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18767583U JPS6093906U (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 測定機の駆動連結構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093906U JPS6093906U (ja) | 1985-06-26 |
| JPH0249528Y2 true JPH0249528Y2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=30405055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18767583U Granted JPS6093906U (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 測定機の駆動連結構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093906U (ja) |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP18767583U patent/JPS6093906U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6093906U (ja) | 1985-06-26 |
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