JP2000240750A - カップリング及びこれを用いた移動テーブルユニット - Google Patents

カップリング及びこれを用いた移動テーブルユニット

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JP2000240750A
JP2000240750A JP11041864A JP4186499A JP2000240750A JP 2000240750 A JP2000240750 A JP 2000240750A JP 11041864 A JP11041864 A JP 11041864A JP 4186499 A JP4186499 A JP 4186499A JP 2000240750 A JP2000240750 A JP 2000240750A
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flange
joint
base
coupling
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JP11041864A
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English (en)
Inventor
Hideo Shinagawa
日出男 品川
Manabu Okada
学 岡田
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボールねじ軸を用いた移動テーブルのよう
に、直線運動部分に移動部材を連結する場合に、直線運
動の芯ずれを吸収し、移動部材にその芯ずれの影響を与
えないようにしたカップリングを提供することである。 【解決手段】 フランジ部材13とベース部材14の間
にジョイント部材15を介在し、上記各部材を共通の中
心線16上に配置して組合わせ、上記フランジ部材13
とジョイント部材15間に該両部材をX軸方向に相対的
にスライド自在にガイドするX軸方向ガイド部材33を
設け、上記ジョイント部材15とベース部材14との間
に該両部材をY軸方向に相対的にスライド自在にガイド
するY軸方向ガイド部材36を設けた構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ボールねじ等に
よる回転運動を直線運動に変換してこれを移動部材に連
結する部分に介在されるカップリング及びこれを用いた
移動テーブルユニットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ボールねじを用いた直線移動テー
ブルユニットとして、テーブル基盤上のテーブルガイド
部材にエアスライド式のテーブルを嵌合し、そのテーブ
ルガイド部材と平行にボールねじを取付け、該ボールね
じに螺合したナットを上記のテーブルに連結した構成が
知られている。この直線移動テーブルユニットは、上記
のボールねじをサーボモータにより回転駆動させること
により、テーブルを直線移動させるようになっている。
【0003】上記の直線移動テーブルユニットにおいて
は、その位置決め精度を出すために、組付け時において
ボールねじの軸線のずれが最小となるよう芯出しした上
で締付け固定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような構成によ
ると、ボールねじの両端部における芯出しは可能である
が、両端部から離れた中間部分では芯出しができないの
で、ボールねじに曲がりやミスアライメントによる芯ず
れがあると、その影響を受けてテーブルの移動の真直度
が低下し、位置決め精度が悪くなる。特に、テーブルの
軸受としてエアスライドを用いる場合は、軸受の剛性が
低いため、満足できる精度が得られない。
【0005】このような状況下で位置決め精度を上げよ
うとすると、部品の芯高を合わせるために高精度の加工
が要求され、その結果部品のコストが高くなり、場合に
よっては加工限界を超えた精度が必要となる。
【0006】このような問題は、直線移動テーブルユニ
ットに限らず、回転運動を直線運動に変換し、その直線
運動によってテーブル等の移動部材を移動させる場合に
一般に生じる問題である。
【0007】そこで、この発明は上記の直線運動部分と
テーブル等の移動部材との間に、直線運動の芯ずれを吸
収し、移動部材にその芯ずれの影響を与えないようにす
るカップリングを提供すること、及びそのカップリング
を用いた移動テーブルユニットを提供することを課題と
する。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明に係るカップリングは、フランジ部材とベ
ース部材の間にジョイント部材を介在し、上記各部材を
共通の中心線上に配置して組合わせ、上記フランジ部材
とジョイント部材間に該両部材を上記中心線と直角方向
に相対的にスライド自在にガイドするガイド部材を設
け、上記ジョイント部材とベース部材との間に該両部材
を上記のガイド方向と直角方向に相対的にスライド自在
にガイドする他のガイド部材を設けてなる構成としたも
のである。
【0009】上記のベース部材とジョイント部材の中心
穴に所要の隙間をもって挿通したナットを上記のフラン
ジ部材に取付けた構成とすることができる。
【0010】また、この発明に係る移動テーブルユニッ
トは、テーブル基盤上にテーブルガイド部材を設けると
共に、これと平行のボールねじ軸を回転自在に設け、上
記テーブルガイド部材にテーブルをスライド自在に嵌合
し、該テーブルにブラケットを設け、上記カップリング
のナットをボールを介して上記ボールねじ軸に螺合する
と共に、上記のベース部材を上記ブラケットに取付けて
なる構成としたものである。
【0011】上記カップリングを上記の移動テーブルユ
ニットに組み込んで使用した場合、ボールねじ軸にX軸
方向及びY軸方向の芯ずれがあると、上記のナットと一
体にフランジ部材が移動し、X軸方向には一方のガイド
部材の部分で、またY軸方向には他方のガイド部材の部
分でガイドされ、それぞれの方向の芯ずれが吸収され
る。そのため、上記のテーブルの移動にボールねじ軸の
芯ずれの影響が及ばず、その移動の精度を高めることが
できる。
【0012】なお、上記のガイド部材の部分におけるバ
ックラッシュを防止するために、所要の予圧を付与する
構成をとることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、この
発明の実施形態を説明する。
【0014】図1から図5は第1実施形態、図6及び図
7は第2実施形態、図8から図11は第3実施形態のカ
ップリング及びこれを用いた移動テーブルユニットを示
す。
【0015】第1実施形態の移動テーブルユニットは、
図1に示すように、テーブル基盤1に断面四角形のテー
ブルガイド部材2を固定し、そのテーブルガイド部材2
と平行にボールねじ3を配置し、そのボールねじ3の両
端部を軸受4、4により回動自在に支持している。上記
のテーブルガイド部材2にエアスライド型のテーブル5
が直線方向に移動自在に嵌合されている。上記のボール
ねじ3の一端部には継手6を介してサーボモータ7が連
結される。
【0016】上記のテーブル5には、ボールねじ3を囲
む四角枠型のブラケット8が固定され、そのブラケット
8にカップリング9を介してナット11が取付けられ
る。ナット11はその内周面のねじ溝に多数のボール1
2(図4参照)を有し、そのボール12を介して上記の
ボールねじ3に螺合される。
【0017】上記のカップリング9は、図2に示すよう
に、フランジ部材13とベース部材14の間にジョイン
ト部材15を介在し、これらの各部材13、14、15
を共通の中心線16上に配置して組合わせた構成を基本
的な構成としている。また各部材13、14、15は上
記の中心線16上に中心をもつ中心穴17、18、19
が設けられる。
【0018】フランジ部材13はその上下両縁にジョイ
ント部材15側に屈曲した屈曲縁21、21を有し、ま
た中心穴17の周りの4ヵ所に取付け穴22が設けられ
る。さらに、各屈曲縁21の内側にガイド部材取付け部
23、23が設けられる(図3参照)。また、一方の屈
曲縁21には予圧ビス24(図3、図5参照)の螺入穴
25が左右2ヵ所に設けられる。
【0019】ベース部材14はその両側縁にジョイント
部材15側に屈曲した屈曲縁26、26が形成され、ま
た四隅部分に取付け穴27が設けられる。さらに、各屈
曲縁26の内側にガイド部材取付け部28が設けられ、
また一方の屈曲縁26には予圧ビス30(図4、図5参
照)の螺入穴32が上下2ヵ所に設けられる。
【0020】ジョイント部材15は、上下縁のフランジ
部材13側のコーナ部分に左右方向のL形断面のガイド
部材取付け部29、29設けられる(図3参照)。ま
た、両側縁のベース部材14側のコーナ部分に上下方向
の断面L形のガイド部材取付け部31、31が設けられ
る(図4参照)。
【0021】上記のフランジ部材13とジョイント部材
15との間に上下一対のX軸方向ガイド部材33、33
が介在される。各X軸方向ガイド部材33は、直状の外
側部材33aと内側部材33b及びこれらの各部材33
a,33b間に介在されたクロスローラ33c(図3参
照)とにより構成されたクロスローラガイドが用いられ
る。上記の外側部材33aがフランジ部材13のガイド
部材取付け部23に配置され、ビス34によりフランジ
部材13に取付けられる。また、内側部材33bは、ジ
ョイント部材15のガイド部材取付け部29に配置さ
れ、ビス35により取付けられる。
【0022】また、上記のベース部材14とジョイント
部材15との間に左右一対のY軸方向ガイド部材36、
36が介在される。各Y軸方向ガイド部材36も、直状
の外側部材36aと内側部材36b及びこれらの各部材
36a,36b間に介在されたクロスローラ36c(図
4参照)とにより構成されたクロスローラガイドが用い
られる。上記の外側部材36aがベース部材14のガイ
ド部材取付け部28に配置され、ビス37によりベース
部材14に取付けられる。また、内側部材36bは、ジ
ョイント部材15のガイド部材取付け部31に配置さ
れ、ビス38により取付けられる。
【0023】上記のフランジ部材13、ベース部材1
4、ジョイント部材15の各中心穴17、18、19に
前記のナット11の円筒部39aが所要の隙間をもって
嵌合され、そのナット11のフランジ部39bをフラン
ジ部材13の外面に当て、ビス41を該フランジ部39
bから前記の取付け穴22に螺入して固定する。
【0024】以上述べたフランジ部材13、ベース部材
14、ジョイント部材15、X軸方向ガイド部材33及
びY軸方向ガイド部材36の組合わせを前記のカップリ
ング9と称する場合と、これに上記のナット11を含め
たものを前記のカップリング9と称する場合とがある。
【0025】上記のカップリング9は、そのベース部材
14の外側面を前記のブラケット8の一側面に当て、取
付け穴27から螺入したビス42により該ブラケット8
に固定される。
【0026】また、前記のボールねじ3は上記のナット
11に、その内部に充填された多数のボール12を介し
て螺入される。
【0027】第1実施形態の移動テーブルユニットは以
上のように構成され、図1に示したサーボモータ7を駆
動してボールねじ3を回転させると、ナット11が該ボ
ールねじ3の軸線方向に移動し、その移動がカップリン
グ9、ブラケット8を介してテーブル5に伝えられ、テ
ーブル5はテーブルガイド部材2に沿って移動する。
【0028】このとき、ボールねじ3に曲がり等による
芯ずれがあると、X軸方向にはナット11、フランジ部
材13が一体となってジョイント部材15に対してX軸
方向ガイド部材33の部分でスライドする(図4の矢印
X参照)。このスライドは、該ナット11の円筒部39
aと、ジョイント部材15、ベース部材14とのX軸方
向の各隙間の大きさの範囲内で行われる。言い換えれ
ば、X軸方向の隙間の大きさは、上記の芯ずれによるナ
ット11の振れ量を勘案して所定の大きさに設定され
る。
【0029】またY軸方向にはナット11、フランジ部
材13、ジョイント部材15が一体となってベース部材
14に対してY軸方向ガイド部材36の部分でスライド
する(図3の矢印Y参照)。この場合のスライドも、上
記と同様に、ナット11の円筒部39aとベース部材1
4とのY軸方向の隙間の大きさの範囲内で行われる。言
い換えれば、Y軸方向の隙間の大きさは、上記の芯ずれ
によるナット11の振れ量を勘案して所定の大きさに設
定される。
【0030】上記のようにして、X軸方向及びY軸方向
のボールねじ3の芯ずれが吸収され、その芯ずれの影響
をテーブル5の移動に及ぼすことがない。従って、テー
ブル5はテーブルガイド部材2の真直度で規定される真
直度をもって移動する。
【0031】上記の作用において、各X軸方向ガイド部
材33、Y軸方向ガイド部材36の各外側部材33a,
36aと内側部材33b,36bとの間に隙間がある
と、その隙間がボールねじ3とテーブル5の間のバック
ラッシュとなり、ボールねじ3の送り量を正確にテーブ
ル4に伝えることができない。
【0032】このため、X軸方向には予圧ビス24を締
め込むと(図3、図5参照)、外側部材33aがビス3
4の螺合隙間の範囲内で微小量移動し、前記の隙間がゼ
ロ又はマイナスとなり所要の予圧が付与される。Y軸方
向についても、予圧ビス30を締め込むと(図4、図5
参照)、前記と同様に外側部材36aがビス37の螺合
隙間の範囲内で微小量移動し、前記の隙間がゼロ又はマ
イナスとなり所要の予圧が付与される。
【0033】次に、図6及び図7に示した第2実施形態
のカップリング9’は、前記の第1実施形態のカップリ
ング9を利用し、そのカップリング9に第2ジョイント
部材43を介して第2フランジ部材44を中心線16上
に配置して組合わせたものである。ただし、この場合の
カップリング9のフランジ部材13’は、図6に示すよ
うに、前記のフランジ部材13の両側部に張出し部45
を設けると共に、その張出し部45に上下2ヵ所の螺入
穴46を設けた構成である。
【0034】上記の第2ジョイント部材43と第2フラ
ンジ部材44は、フランジ部材13の中心穴17と同一
径の中心穴47、48が設けられる。
【0035】第2ジョイント部材43は、その両側面に
それぞれ軸受ボール49、49を挟んでジョイント軸受
部材51、51が配置され、各ジョイント軸受部材51
がビス52により前記のベース部材13’の螺入穴46
に固定される。上記の両側の軸受ボール49、49は前
記の中心線16と直交するX軸方向の軸X1 上に配置さ
れ、この軸X1 は第2ジョイント部材43の揺動軸を規
定する。
【0036】また、第2フランジ部材44は、その上下
両面にそれぞれ軸受ボール53、53を挟んでフランジ
軸受部材54、54が配置され、各フランジ軸受部材5
4がビス50により前記の第2ジョイント部材43に固
定される。上記の上下の軸受ボール53は前記の中心線
16と直交するY軸方向の軸Y1 上に配置され、この軸
Y1 は第2フランジ部材44の揺動軸を規定する。
【0037】ナット11はその円筒部39aが第2フラ
ンジ部材44と第2ジョイント部材43及びカップリン
グ9に挿通され、そのフランジ部39bが第2フランジ
部材44にビス50’により取付けられる。
【0038】上記のナット11を除いたもの、又はその
ナット11を含むものが、第2実施形態のカップリング
9’を構成し、第1実施形態の場合と同様に、テーブル
5のブラケット8にベース部材14をビス42により固
定し、さらに、そのナット11にボールねじ3を螺入し
て移動テーブルユニットとして使用に供される(図1参
照)。
【0039】この場合、ボールねじ3が中心線16に対
して芯ずれがあると、第1実施形態の場合と同様にカッ
プリング9の部分でX軸方向及びY軸方向の芯ずれを吸
収し、また、第2ジョイント部材43はX1 軸まわりの
角度ずれを、第2フランジ部材44はY1 軸まわりの角
度ずれを吸収する。
【0040】X軸方向及びY軸方向の芯ずれを吸収する
際は、ナット11と第2フランジ部材44と第2ジョイ
ント部材43は一体となってスライドするので、そのス
ライドを妨げないように、ナット11の円筒部39a
と、ベース部材14、ジョイント部材15及びフランジ
部材13の各穴18、19、17の内周面との間に所定
に隙間を設ける必要がある。
【0041】また、上記のナット11がこれと一体の第
2フランジ部材44と共にY1 軸まわりで角度ずれを吸
収する作用を妨げないように、ナット11の円筒部39
aと第2ジョイント部材43の穴47の内周面のとの間
に所定に隙間を設ける必要がある。
【0042】なお、上記の角度ずれを吸収するための揺
動軸を規定する軸受として、上記の実施形態では軸受ボ
ール49、53を用いているが、これ以外に球面滑り軸
受、ピボット軸受等の軸受を用いることができる。
【0043】次に、図8から図11に示した第3実施形
態は、X軸方向、Y軸方向の芯ずれを吸収すること、及
びX1 軸、Y1 軸まわりの角度ずれを吸収するようにし
た点では上記の第2実施形態と同様であり、またX軸方
向、Y軸方向の芯ずれを吸収する構造は第1実施形態と
同じであるが、X1 軸、Y1 軸まわりの角度ずれを吸収
する構造は相違している。
【0044】即ち、図8に示したカップリング9は、第
1実施形態のもの(図2参照)と同じである。従って、
第1実施形態と同じ符号を付して示すに留めその説明を
省略する。相違する点は以下の通りである。
【0045】上記のカップリング9を構成するフランジ
部材13の外面に沿ってフランジ側取付け板55が設け
られる。フランジ側取付け板55は、フランジ部材13
の中心穴17と同芯同一径の中心穴59を有し、その中
心穴59の周りに取付け穴61が設けられる。
【0046】フランジ部材13とフランジ側取付け板5
5は、これらの中心穴17、59の両側において半径方
向の弾力性のあるフランジ側ジョイントリブ62、62
により一体化される。各フランジ側ジョイントリブ62
は、中心線16と直交しY軸と平行なY1 軸上にあり、
そのY1 軸を揺動中心として弾性変形し、フランジ側取
付け板55とフランジ部材13を相対的に揺動変形させ
る。
【0047】上記のフランジ側ジョイントリブ62は、
フランジ部材13とフランジ側取付け板55を金属製の
フランジ側単一部材により形成し、その両側面に深いフ
ランジ側スリット63、63を設けて、そのフランジ側
スリット63、63の底面間を切り残すことにより形成
される。材料がプラスチックの場合は、このような形状
に一体成形される。いずれの場合も、該リブ63の幅を
一定以下に小さく形成すると所定の弾性を生じる。
【0048】また、上記のカップリング9を構成するベ
ース部材14の外面に沿ってベース側取付け板56が設
けられる。ベース側取付け板56は、ベース部材14の
中心穴18と同芯同一径の中心穴64を有し、その中心
穴64の周りに取付け穴66(図9参照)が設けられ
る。
【0049】ベース部材13とベース側取付け板56
は、これらの中心穴18、64の両側において半径方向
の弾力性のあるベース側ジョイントリブ65、65によ
り一体化される。各ベース側ジョイントリブ65は、中
心線16と直交しX軸と平行なX1 軸上にあり、そのX
1 軸を揺動中心として弾性変形し、ベース取付け板56
とベース部材14を相対的に揺動変形させる。
【0050】上記のベース側ジョイントリブ65も前記
のフランジ側ジョイントリブ62と同様に、ベース側ス
リット67、67を設けることにより、或いは一体成形
により形成される。
【0051】上記のカップリング9の中心穴17、1
8、19、及びフランジ側取付け板55の中心穴59、
ベース側取付け板56の中心穴64に前記のナット11
の円筒部39aが所要の隙間をもって嵌合され、そのナ
ット11のフランジ部39bをフランジ側取付け板55
の外面に当て、ビス41を該フランジ部39bから前記
の取付け穴61に螺入して固定する。
【0052】なお、上記の説明ではX1 軸とY1 軸は直
交しており、従ってベース側ジョイントリブ65とフラ
ンジ側ジョイントリブ62とは直交する構成となってい
るが、各リブ65、62の弾性の大きさによっては、両
者は必ずしも直交する構成をとる必要がなく、その弾性
の大きさに応じて直交からずれた構成、即ち略直交する
構成であってもよい。
【0053】以上述べたカップリング9に各ジョイント
リブ62、65により結合されたフランジ側取付け板5
5とベース側取付け板56との組合わせたものが第3実
施形態のカップリング9''であり、更に上記のナット1
1を含めたものをカップリング9''と称する場合があ
る。
【0054】上記のカップリング9''は、そのベース側
取付け板56の外側面を前記のブラケット8の一側面に
当て、ベース部材14の貫通穴27から螺入したビス4
2により該ブラケット8に固定される。(図1参照)。
【0055】また、前記のボールねじ3は、上記のナッ
ト11にその内部に充填された多数のボール12を介し
て螺入される。
【0056】ボールねじ3に曲がり等による芯ずれがあ
ると、X軸方向にはナット11、フランジ側取付け板5
5、フランジ部材13が一体となってジョイント部材1
5に対してX軸方向ガイド部材33の部分でスライドし
(図10矢印X)、またY軸方向にはナット11、フラ
ンジ側取付け板55、フランジ部材13、ジョイント部
材15が一体となってベース部材14に対してY軸方向
ガイド部材36の部分でスライドする(図9矢印Y)。
【0057】更に、Y1 軸周りの角度ずれがあると、フ
ランジ側取付け板55に対してカップリング9とベース
側取付け部材56とが一体となってフランジ側ジョイン
トリブ62、62を中心として揺動変形してこれを吸収
する。また、X1 軸周りの角度ずれがあると、ベース側
取付け板56に対してカップリング9とフランジ側取付
け部材55とが一体となってベース側ジョイントリブ6
5、65を中心として揺動変形してこれを吸収する。
【0058】その他、ナット11の円筒部39aと、各
穴17、18、19、64との間の隙間の大きさ、及び
各X軸方向ガイド部材33、Y軸方向ガイド部材36の
予圧ビス24、30による予圧を付与については、第2
実施形態と同様である。
【0059】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るカップリ
ングは、ボールねじ軸を用いた移動テーブルのように、
直線運動部分に移動部材を連結した構成を採用する場合
に、直線運動のX軸方向、Y軸方向の芯ずれ、又は角度
ずれを吸収し、移動部材にこれらのずれの影響を与えな
いようにすることができ、移動部材の精度を高めること
ができる。
【0060】また、直線ガイド部材に所要の予圧を付与
することにより、カップリングのバックラッシュが無く
なるので、直線運動の移動量を確実に移動部材に伝える
ことができる。
【0061】更に、上記のカップリングを用いた移動テ
ーブルは、ボールねじの芯ずれの影響がテーブルに及ば
ないので、テーブルスライド部の本来の精度を引き出す
ことができる。またボールねじの送り量を確実にテーブ
ルに伝えることができるので、ロストモーションを極め
て小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の移動テーブルユニットの平面図
【図2】同上のカップリングの分解斜視図
【図3】図1のIII −III 線の拡大平面図
【図4】図3のIV−IV線の断面図
【図5】図3のV−V線の断面図
【図6】第2実施形態のカップリングの分解斜視図
【図7】同上の移動テーブルの一部縦断正面図
【図8】第3実施形態のカップリングの分解斜視図
【図9】同上の移動テーブルの一部縦断正面図
【図10】図9のX−X線の断面図
【図11】図9のXI−XI線の断面図
【符号の説明】
1 テーブル基盤 2 テーブルガイド部材 3 ボールねじ 4 軸受 5 テーブル 6 継手 7 サーボモータ 8 ブラケット 9 カップリング 11 ナット 12 ボール 13、13’ フランジ部材 14 ベース部材 15 ジョイント部材 16 中心線 17、18、19 中心穴 21 屈曲縁 22 取付け穴 23 ガイド部材取付け部 24 予圧ビス 25 螺入穴 26 屈曲縁 27 取付け穴 28 ガイド部材取付け部 29 ガイド部材取付け部 30 予圧ビス 31 ガイド部材取付け部 32 螺入穴 33 X軸方向ガイド部材 33a 外側部材 33b 内側部材 33c クロスローラ 34 ビス 35 ビス 36 Y軸方向ガイド部材 36a 外側部材 36b 内側部材 36c クロスローラ 37 ビス 38 ビス 39a 円筒部 39b フランジ部 41 ビス 43 第2ジョイント部材 44 第2フランジ部材 45 張出し部 46 螺入穴 47、48 中心穴 49 軸受ボール 50、50’ ビス 51 ジョイント軸受部材 52 ビス 53 軸受ボール 54 フランジ軸受部材 55 フランジ側取付け板 56 ベース側取付け板 57 貫通穴 58 貫通穴 59 中心穴 61 取付け穴 62 フランジ側ジョイントリブ 63 フランジ側スリット 64 中心穴 65 ベース側ジョイントリブ 66 取付け穴 67 ベース側スリット

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フランジ部材とベース部材の間にジョイ
    ント部材を介在し、上記各部材を共通の中心線上に配置
    して組合わせ、上記フランジ部材とジョイント部材間に
    該両部材を上記中心線と直角方向に相対的にスライド自
    在にガイドするガイド部材を設け、上記ジョイント部材
    とベース部材との間に該両部材を上記のガイド方向と直
    角方向に相対的にスライド自在にガイドする他のガイド
    部材を設けてなるカップリング。
  2. 【請求項2】 上記のベース部材とジョイント部材の中
    心穴に所要の隙間をもって挿通したナットを上記のフラ
    ンジ部材に取付けてなる請求項1に記載のカップリン
    グ。
  3. 【請求項3】 上記の各ガイド部材が、上記のジョイン
    ト部材に取付けられる内側部材とこれに対向して上記フ
    ランジ部材及びベース部材に取付けられた外側部材を有
    し、上記外側部材を上記内側部材に対して締付け、所要
    の予圧を付与してなる請求項1又は2に記載のカップリ
    ング。
  4. 【請求項4】 上記のフランジ部材に第2ジョイント部
    材を介して第2フランジ部材を該フランジ部材の中心線
    上に配置して組合わせ、上記第2ジョイント部材を上記
    中心線と直角方向の揺動軸をもって上記フランジ部材に
    取付け、上記第2フランジ部材を上記揺動軸と直角の他
    の揺動軸をもって上記第2ジョイント部材に取付けてな
    る請求項1又は3に記載のカップリング。
  5. 【請求項5】 上記のベース部材、ジョイント部材、フ
    ランジ部材及び第2ジョイント部材の中心穴に所要の隙
    間をもって挿通したナットを上記第2フランジ部材に取
    付けてなる請求項4に記載のカップリング。
  6. 【請求項6】 上記第2ジョイント部材の上記の揺動軸
    を、該第2ジョイント部材の両側に配置した一対のジョ
    イント軸受部材と、各ジョイント軸受部材と該第2ジョ
    イント部材との間の同一直線上に介在した軸受とにより
    規定し、上記第2フランジ部材の上記の揺動軸を、該第
    2フランジ部材の両側に配置した一対のフランジ軸受部
    材と、各フランジ軸受部材と該第2フランジ部材との間
    の同一直線上に介在した軸受とにより規定し、上記フラ
    ンジ部材と第2ジョイント部材を上記のジョイント軸受
    部材を介して結合し、該第2ジョイント部材と第2フラ
    ンジ部材を上記のフランジ軸受部材を介して結合してな
    る請求項4又は5に記載のカップリング。
  7. 【請求項7】 上記フランジ部材の外面に沿って上記中
    心線上にフランジ側取付け板を配置し、上記ベース部材
    の外面に沿って上記中心線上にベース側取付け板を配置
    し、上記フランジ部材とフランジ側取付け板との間を上
    記中心線と直角方向の弾力性あるフランジ側ジョイント
    リブにより一体に結合し、上記ベース部材とベース側取
    付け板との間を上記フランジ側ジョイントリブと直角方
    向の弾力性あるベース側ジョイントリブにより一体に結
    合してなる請求項1又は3に記載のカップリング。
  8. 【請求項8】 上記のフランジ部材とフランジ側取付け
    板をフランジ側単一部材により形成し、上記中心線と直
    交する面内で該フランジ側単一部材の両側面にフランジ
    側スリットを形成し、該両フランジ側スリットの底面間
    で上記のフランジ側ジョイントリブを形成し、上記のベ
    ース部材とベース側取付け板をベース側単一部材により
    形成し、上記各フランジ側スリットと直角又は略直角の
    位置で該ベース側単一部材の両側面にベース側スリット
    を形成し、その両ベース側スリットの底面間で上記のベ
    ース側ジョイントリブを形成してなる請求項7に記載の
    カップリング。
  9. 【請求項9】 上記のベース側取付け板、ベース部材、
    ジョイント部材及びフランジ部材の各中心穴に所要の隙
    間をもって挿通したナットを上記のフランジ側取付け板
    に取付けてなる請求項8に記載のカップリング。
  10. 【請求項10】 上記の各ガイド部材が、上記のジョイ
    ント部材に取付けられる内側部材とこれに対向して上記
    フランジ部材及びベース部材に取付けられた外側部材を
    有し、上記外側部材を上記内側部材に対して締付け、所
    要の予圧を付与してなる請求項8又は9に記載のカップ
    リング。
  11. 【請求項11】 テーブル基盤上にテーブルガイド部材
    を設けると共に、これと平行のボールねじ軸を回転自在
    に設け、上記テーブルガイド部材にテーブルをスライド
    自在に嵌合し、該テーブルにブラケットを設け、請求項
    2、3 5、6、9及び10に記載載のナットをボール
    を介して上記ボールねじ軸に螺合すると共に、上記のベ
    ース部材を上記ブラケットに取付けてなる移動テーブル
    ユニット。
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