JP3402704B2 - 可動装置およびこれを用いたテーブル装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの製造
装置または検査装置あるいは、高精度な位置決めを必要
とする工作機械などに適用するのに好適な可動装置およ
びこれを用いたテーブル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩなどの半導体装置は内部構
造の微細化がより一層進み、その露光機などの製造装
置、また検査装置などに適用するテーブル装置には従来
にも増して高精度な動作が要求されてきている。

【０００３】一般的に、半導体装置の製造装置や検査装
置では、作業対象であるウエハやマスクなどを水平方向
に移動させるためのテーブル装置を有している。より微
細な構造を有する半導体装置を製造あるいは検査するに
は、このテーブル装置の走行時の真直度および位置決め
精度が高いことが必要である。

【０００４】さて、このような高精度のテーブル装置を
駆動するには、多くの場合駆動方向の剛性が高く、微小
な位置決めをするのが容易なボールネジあるいは滑りネ
ジが用いられる。この場合ボールネジをベースに回転可
能に支持し、このボールネジをモータで回転させ、ナッ
トを駆動方向に移動させ、ナットに接続されたテーブル
を移動させ位置決めする。

【０００５】ボールネジはバックラッシが極めて少ない
こと、ネジ軸回転時の摩擦が少ないこと、リード誤差を
容易に小さくできること、などから高精度の位置決めに
は非常に適しているが、ネジ軸が長くネジ軸自体の真直
度を高くするのが困難である。そのため、ネジ軸が回転
する際にネジ軸自体の曲がりなどによりナット部の位置
がネジ軸に垂直な面内で振れ回るといった現象を避ける
ことができない。したがって、ネジ軸が回転する際のナ
ットの振れ回りの影響がナットに接続されているテーブ
ルに伝達され、テーブル走行時の真直度を悪化させた
り、位置決め精度の悪化を引き起こしたり、テーブルの
振動源となったりする。特に、テーブルの案内方法が転
がり案内や滑り案内のような高剛性の案内手段でなく、
空気静圧軸受のような高精度ではあるが案内剛性の低い
案内方法を採用している場合にはナットの振れ回りの影
響が顕著となる。

【０００６】そこでナットの振れ回りを吸収するため、
ナットとテーブルとの間を板ばねなどの弾性体で接続
し、軸方向の剛性減少を極力抑えながらネジ軸に垂直な
１方向の剛性を大幅に減少させて、ナットの振れ回りが
テーブルに伝達しないようにすることが広く行われてい
る。

【０００７】しかし１組の弾性体では１方向のみの変位
を吸収できるだけで、ナットの振れ回りを十分に吸収す
ることはできない。また、２方向の変位を吸収するため
に２組の板ばねを用いることも考えられが、機構の大形
化、板ばね同士の接続が容易でない、軸方向剛性の低下
を防ぐことも容易でないなどの理由からあまり行われて
いない。

【０００８】またこれとは別に、２方向の変位を吸収す
る機構として、特開平４−１３６７０５号公報の図５に
示すような２組の弾性ヒンジ対１００および１０１を用
いたものも提案されているが軸方向長さの増大、取付け
時の軸心を合わせるのが容易でない、構造が複雑になる
などの理由により十分とは言えなかった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
テーブルをボールネジなどで駆動する場合には、ネジ軸
の振れ回りの影響をテーブルに伝達しないために、ナッ
トとテーブルの間に振れ回りを吸収する機構が必要であ
るが、従来行われているような１組の板ばねでは一方向
の変位しか吸収できず、２組の板ばねあるいは弾性ヒン
ジを用いようとしても機構が大型化、複雑化しさらに組
み立て調整が困難となるという問題点があった。

【００１０】そこで、本発明は、ボールネジ、滑りネジ
などでテーブルを駆動するテーブル装置において、ネジ
軸の振れ回りを２方向とも吸収することができ、さらに
その振れ回り吸収機構が大型化、複雑化することがな
く、さらに組み立て調整が容易な振れ回り吸収機構を用
いて、ネジ軸の振れ回りの影響を除去できる可動装置お
よびそれを用いたテーブル装置を提供することを目的と
する。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では以下の発明を提供する。請求項１に記載
の可動装置は、第１の本体およびこの第１の本体に対し
て所定方向に変位可能に弾性的に支持された第１の変位
部とから成る第１可動機構と、第２の本体およびこの第
２の本体に対して所定方向に変位可能に弾性的に支持さ
れた第２の変位部とから成る第２可動機構とを備え、前
記第１の変位部と前記第２の変位部との変位方向がほぼ
垂直となるように前記第１の本体と前記第２の本体とを
接続して構成したことを特徴としている。

【００１２】請求項２に記載の可動装置は、前記第１の
変位部の所定変位方向の剛性値と前記第２の変位部の所
定変位方向の剛性値とを異なるように構成したことを特
徴としている。

【００１３】請求項３に記載の可動装置は、前記第１お
よび第２の可動機構の少なくとも一方は、板状部材に溝
部を設けて外枠部と弾性変形可能な薄肉弾性部と該薄肉
弾性部により前記外枠部に対して所定方向に変位可能な
内周部とをそれぞれ形成して成ることを特徴としてい
る。

【００１４】請求項４に記載のテーブル装置は、駆動手
段により回転駆動されるネジ軸およびこのネジ軸に係合
して移動するナットとから成る駆動機構と、この駆動機
構により所定方向に移動可能に支持されたテーブルとか
ら構成されるテーブル装置において、第１の本体および
この第１の本体に対して所定方向に変位可能に弾性的に
支持された第１の変位部とから成る第１可動機構と、第
２の本体およびこの第２の本体に対して所定方向に変位
可能に弾性的に支持された第２の変位部とから成る第２
可動機構とを備え、前記ナットを前記第１の変位部に接
続すると共に前記テーブルを前記第２の変位部に接続
し、かつ前記第１の変位部と前記第２の変位部との変位
方向がほぼ垂直となるように前記第１の本体と前記第２
の本体とを接続して構成したことを特徴としている。

【００１５】

【作用】請求項１に記載の可動装置では、一方向に変位
可能な変位部を有している複数の可動機構を、それぞれ
の変位部の変位方向がほぼ直角になるよう２つ組合わせ
て可動装置を構成しているので、片方の変位部を固定し
た場合、もう一方の変位接続部に何らかの力が作用した
場合に、２つの可動機構の所定変位方向のみに変位部が
変位することが可能な２自由度の可動装置が実現する。

【００１６】また、この可動装置では２つの所定変位方
向について、それぞれ１つの可動機構を独立に有してい
るので、組立て調整時に各々の方向の初期位置を調整す
る場合に、２つの可動機構の接続位置を調整することに
より、容易に一方の変位部の初期位置を調整することが
できるので組立て調整が容易な可動装置とすることがで
きる。

【００１７】請求項２に記載の発明によれば、所定変位
方向で独立に剛性値を変化させているので、テーブル装
置などの機構の剛性が方向によって異なる時に有効であ
る。例えば、この可動装置に接続される機構の第１方向
の剛性が第２方向に比べて高いときには、第１可動機構
の変位方向の剛性は第２可動機構の変位方向に比べて高
い値に設定すれば容易に対応できる。

【００１８】請求項３に記載の発明によれば、可動機構
は１つの板状の部材に溝部を形成することにより１方向
の可動機構を実現できるので、可動機構を容易に製作す
ることができる。さらに２つの可動機構を同様に構成す
ることで、同一のものを複数作成して組立てれば良いた
め製作が容易となる。また２つの可動機構の構造がほぼ
同じであるので品質管理が容易で、性能が同一のものと
することができる。特に所定変位方向の剛性を同一にす
る場合には、第１の可動機構と第２の可動機構の外形な
どの各々の寸法を同一とすることで簡単に対応できる。

【００１９】さらに、それぞれの可動機構は本体、変位
部、弾性支持部などを全て一体で形成することができる
ので小形化が容易であり、特に可動機構の板厚方向に大
形化することがない。したがって、２つの可動機構を組
み合わせても厚さ方向（２つの所定変位方向に垂直な方
向）に大形化することのないコンパクトな可動装置とす
ることができる。

【００２０】請求項４に記載のテーブル装置では、テー
ブルと駆動機構であるネジ軸とナットとの間に、請求項
１でも説明した可動装置を設置し、可動装置の一方の変
位部をテーブルに接続し、もう一方をナットに接続して
いるので、ネジ軸の振れ回りによりナット部にテーブル
の変位方向とは異なる方向の力が発生した場合に、ナッ
トに接続された可動装置の変位部がテーブルの駆動方向
とは垂直な方向に変位してナット部の振れ回りを吸収
し、テーブルにネジ軸の振れ回りの影響を伝達するのを
大幅に減少させることができる。

【００２１】したがって、テーブルが所定方向に変位す
る場合にネジ軸の振れ回りの影響が少なく、振れ回りの
影響を除去するための機構がコンパクトで組み立て調
整、製作が容易なテーブル装置が実現する。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明の可動装置の実施例を示す分解
斜視図である。この可動装置１は、第１の可動機構２と
第２の可動機構３の２つの部材により構成されている。

【００２３】第１の可動機構２の内部には、溝部８、１
０、１２、１４により４つの板ばね１６、１８、２０、
２２と接続部４が一体で形成されている。また接続部４
の内部にはネジ軸その他の機構が貫通できるように中穴
６が形成されている。接続部４は、平行板ばねを形成し
ている板ばね１６、１８、２０、２２によって可動機構
２の外周部２４に対して支持されている。板ばね１６、
１８、２０、２２は図中Ｘ方向２６には極めて剛性が低
いので、接続部４にＸ方向２６の力が作用すると、板ば
ね１６、１８、２０、２２それぞれがＸ方向２６にたわ
み、接続部４がＸ方向２６に平行移動する。板ばね１
６、１８、２０、２２はＸ方向２６に垂直な方向の剛性
は高いため、接続部４にＸ方向２６以外の力が作用して
も変位は微小であり、結局接続部４は第１の可動機構２
の外周部２４に対し、Ｘ方向２６のみに相対変位するこ
とが可能となっている。

【００２４】第２の可動機構３は、構造が第１の可動機
構とほぼ同じで、設置位置がＺ軸２８に関して約９０°
回転した構成となっている。第２の可動機構３の構造は
第１の可動機構２と同様に、内部に溝部９、１１、１
３、１５により４つの板ばね１７、１９、２１、２３と
接続部５が一体で形成されている。また接続部５の内部
にはネジ軸その他の機構が貫通できるように中穴７が形
成されている。接続部５は平行板ばねを形成している板
ばね１７、１９、２１、２３によって可動機構３の外周
部２５に対して支持されている。

【００２５】動作についても第１の可動機構２とほぼ同
様に、接続部５にＹ方向２７の力が作用すると、板ばね
１７、１９、２１、２３がそれぞれＹ方向２７にたわ
み、接続部５がＹ方向２７に平行移動する。結局第２の
可動機構３の接続部５は可動機構３の外周部２５に対し
てＹ方向２７のみに相対変位することが可能となってい
る。

【００２６】第１の可動機構２と第２の可動機構３はそ
の外周部２４、２５で接続される。このとき第１の可動
機構２の接続部４、板ばね１６、１８、２０、２２と第
２の可動機構３の接続部５、板ばね１７、１９、２１、
２３は互いに接触しないよう、第１の可動機構２の接続
面および第２の可動機構３の接続面とは異なる位置に端
面を有している。

【００２７】このように接続することにより、第１の可
動機構２の接続部４は第１の可動機構２の外周部２４に
対してＸ方向２６に変位することができ、この第１の可
動機構２の外周部２４に接続されている第２の可動機構
３の外周部２５に対して、第２の可動機構３の接続部５
がＹ方向２７に変位できるので、結局第１の可動機構２
の接続部４は第２の可動機構３の接続部５に対してＸ方
向２６、Ｙ方向２７ともに相対変位できるようになって
いる。

【００２８】したがって、例えば第２の可動機構３の接
続部５を固定した場合、第１の可動機構２の接続部４に
Ｘ方向２６あるいはＹ方向２７あるいはこれらを組み合
わせた方向の力を加えた場合に、第１の可動機構２の接
続部４はそれらの力方向に変位することができ、その他
の方向にはほとんど変位しないようになる。つまり、第
２の可動機構３の接続部５に対して、第１の可動機構２
の接続部４がＸ方向２６、Ｙ方向２７の２自由度の運動
が可能な可動装置となっている。

【００２９】ここで可動機構の構造を詳細に説明する。
図２は図１に示した第１の可動機構を示す平面図であ
る。第１の可動機構２では、図に示すようにほぼ方形の
板材にワイヤカット放電加工などにより、裏面まで貫通
した溝部８、１０、１２、１４を形成している。これら
の溝部のうち溝部８、１０、１２によって板ばね２０、
２２が形成され、同様に溝部８、１０、１４によって板
ばね１６、１８が形成され、溝部１２、１４によって接
続部４が同時に形成されている。さらに接続部４の中央
部分にはネジ軸などが貫通できるように中穴６が形成さ
れている。４つの板ばね１６、１８、２０、２２は平行
板ばね機構を形成するように配置されており、接続部４
が外周部２４に対してＸ方向２６に平行移動可能なよう
に接続部４と外周部２４を接続している。

【００３０】このような構造とすることにより、外周部
２４を有する板材の内部に、必要な構成要素を全て配置
でき、さらに中穴にボールネジなどの機構を貫通させる
ことができるので可動機構を大形化させずコンパクトに
することが可能となっている。特に、厚さ方向（図２中
で紙面に垂直な方向）はこの方向に加わる力に対して十
分な剛性を確保できるだけの厚さがあればよく、その他
の機構を付加する必要がないのでコンパクト化が容易で
ある。

【００３１】なお、第２の可動機構３も構造はこの第１
の可動機構とほとんど同じであり、全く同様の製作方法
で容易に製作することができる。特に所定変位方向２
６、２７の剛性を同じにする場合には、第１の可動機構
２と第２の可動機構３の外形、中穴、板ばね部分の寸法
をまったく同一とすることが可能であり、単一の可動機
構にそれぞれに適した接続手段、たとえばネジ部、貫通
穴部を追加工するだけで２つの可動機構を実現すること
ができる。

【００３２】一方、可動装置１の２つの所定変位方向２
６、２７で変位の剛性を変化させる場合には、板ばね１
６、１８、２０、２２の厚さを第２の可動機構３の板ば
ね１７、１９、２１、２３と変化させたり、第１の可動
機構２と第２の可動機構３のＺ方向２８の厚さを変化さ
せる。このように構成することにより、所定変位方向２
６と２７で独立に剛性を変化させることができる。この
特徴はこの可動装置１に接続するテーブル装置などの機
構の剛性が方向によって異なる時に有効である。例え
ば、この可動装置に接続される機構の２６方向の剛性が
２７方向に比べて高いときには、可動装置１の２６方向
の剛性は２７方向に比べて高い値で良く、この方が板ば
ねの２８方向の剛性が高いため可動装置１の２８方向の
剛性を増加させ易い。

【００３３】さて、以上の実施例では可動機構の弾性支
持手段として板ばねを用いているが、同様の効果は弾性
支持手段として図３に示した弾性ヒンジを用いた平行リ
ンク機構を用いても得ることができる。

【００３４】図３は弾性ヒンジ平行リンクを用いた可動
機構を示す平面図である。図３に示した可動機構では、
溝部３３、３６、３７、３８によって弾性ヒンジ４０、
４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７およびリン
ク部５１、５２、５３、５４および接続部３１を形成し
ている。４つのリンク部５１、５２、５３、５４はそれ
ぞれ弾性ヒンジ４０と４１、４２と４３、４４と４５、
４６と４７によって接続部３１と外周部３０を接続して
おり、平行リンク機構を形成し、接続部３１をＸ方向５
５に平行移動可能としている。

【００３５】これにより、図２に示した可動機構と全く
同じ動作をすることができる。ただし、図２に示した可
動機構では薄肉の板ばねを用いているため、板ばねのね
じりにより紙面に垂直な方向の剛性が低下する虞れがあ
るが、図３に示した可動機構では、薄肉部分がヒンジの
部分だけであるので剛性低下が少ないという特徴も有し
ている。なおその他の特徴は図２に示した可動装置と同
じである。

【００３６】次に再び図１を参照して、本発明の可動装
置の組み立て調整法を説明する。可動装置１を組立てる
際に最も問題となるのは、第１の可動機構２の接続部４
と第２の可動機構３の接続部５の初期状態での位置であ
る。特にこの可動装置が他の２つの装置を接続するのに
用いられる場合、一般的には２つの接続部４、５の位置
は接続される装置の取付け位置によって決定されること
が多い。このとき接続される装置の取付け位置に誤差が
ある場合、第１の可動機構２と第２の可動機構３を固定
してしまっておくと、この可動装置１を接続する際に、
すでに各々の可動機構２、３に荷重が加わった状態にな
り好ましくない。

【００３７】そこで本発明の可動装置１では、各々の可
動機構２、３の所定変位方向と外周部２４、２５の取付
け面がほぼ平行となっているので、接続部４、５を接続
する装置に接続した後に、初期状態で可動装置１に荷重
がかからないように、第１の可動機構の外周部２４と第
２の可動機構の外周部２５をＸ方向２６あるいはＹ方向
２７に適宜平行移動させて固定することができる。

【００３８】これにより、可動装置１に接続される装置
の取付け位置が若干ずれていても、容易に初期状態で荷
重がかからないように可動装置１を組み立て調整するこ
とができる。

【００３９】次に、本発明のテーブル装置の一実施例を
図面を用いて詳細に説明する。図４は本発明のテーブル
装置の実施例を示す分解斜視図である。図４に示したテ
ーブル装置は、案内手段９１に案内されＸ方向９５に直
線運動可能なテーブル９０と、テーブル９０に固着され
テーブル９０を駆動する腕部７７と、支持部９３、モー
タなどの駆動部９２によって支持され回転するネジ軸７
３と、このネジ軸７３に組み合わされネジ軸７３の回転
運動をＸ方向９５の直線運動に変換するナット７４と、
このナット７４とテーブルの腕部７７を接続する可動装
置６１より構成される。

【００４０】なお、テーブル９０の案内手段９１は、転
がり接触を用いた案内手段や、Ｖ−フラットなどの摩擦
を利用した案内手段、あるいは静圧空気軸受けなどを用
いた非接触案内手段などが考えられるが、本発明はこの
案内手段の種類に限定されない。

【００４１】またネジ軸７３およびナット７４は、多く
の場合ボールネジなどの転がり接触を用いたものが用い
られるが、そのほか滑りネジ、静圧空気ネジやナット部
にローラネジを持つものでも本発明は有効である。

【００４２】さて、以下に可動装置６１の接続法を説明
する。可動装置６１の第１の可動機構６２の接続部６４
は接続位置７０、６８が、ナットの接続位置７５、７６
と一致するようにネジなどで固定される。このとき第１
の可動機構６２の接続部６４はＺ方向９６に変位可能な
姿勢で固定される。またナット７４は第１の可動機構６
２の接続部６４以外の部分には接触しないようになって
いる。

【００４３】可動装置６１の第２の可動機構６３の接続
部６５は接続位置６９、７１が、テーブルの腕部７７の
接続位置７８、７９と一致するように、図４中では第２
の可動機構６３の裏面でネジなどで固定される。このと
き第２の可動機構６３の接続部６５はＹ方向９７に変位
可能で、かつテーブルの腕部７７が第２の可動機構６３
の接続部６５以外とは接触しないように固定される。

【００４４】その後、第１の可動機構６２と第２の可動
機構６３を、各々の可動機構の内部で初期状態において
荷重がかからないような位置に合わせ、接続位置８０と
８１、８２と８３、８４と８５などで固定する。

【００４５】次に動作について説明する。モータなどの
駆動手段９２によってネジ軸７３を回転させると、ナッ
ト７４はＸ方向９５に変位するが、同時にネジ軸７３の
振れ回りによりＺ方向９６およびＹ方向９７の変位も発
生する。

【００４６】第１の可動機構の接続部６４はナット７４
に固定されているが、Ｚ方向９６については第１の可動
機構６２に対して相対変位可能となっているため、結局
第１の可動機構６２にはＸ方向９５とＹ方向９７の変位
しか伝達されない。

【００４７】第２の可動機構６３は第１の可動機構６２
と接続されているが、第２の可動機構の接続部６５は第
２の可動機構６３とＹ方向９７には相対変位可能である
ので、結局第２の可動機構の接続部６５にはＸ方向９５
の変位しか伝達されない。

【００４８】つまり、ナット７４のＸ方向９５、Ｙ方向
９７、Ｚ方向９６の変位のうち、テーブルの腕部７７に
伝達される変位はＸ方向９５のみで、そのほかの変位は
可動装置６１の内部で吸収されることになり、テーブル
９０にはネジ軸７３の振れ回りの影響は伝達されない。

【００４９】したがって、テーブル９０はネジ軸７３の
振れ回りの影響を受けないので、真直度の高い高精度な
変位をすることができ、さらに先に可動装置の説明部分
で記載したように、振れ回りを吸収する機構が大形化せ
ず特にネジ軸方向にコンパクトであり、製作、組み立て
調整が容易なテーブル装置が実現する。

【００５０】なお、以上の説明では第１および第２の可
動機構は、基本的に１枚の板状部材に溝等を形成するこ
とにより、弾性支持部（薄肉部あるいは板バネ部または
弾性ヒンジ平行リンク等）を形成して構成しているが、
本発明はこのような構成に限定されることはない。例え
ば板バネ部材と、他の板状部材とを一体加工せず、別体
として各々加工し、その後に組立て形成するような構成
でも同様の動作を期待できる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型で振れ回りの吸収機能を備えた可動装置が提供でき
る。そしてこの可動装置を用いることでボールネジ、滑
りネジなどでテーブルを駆動するテーブル装置におい
て、ネジ軸の振れ回りを２方向とも吸収することがで
き、さらにその振れ回り吸収機構が大型化、複雑化する
ことがなく、また組立て調整が容易で、ネジ軸の振れ回
りの影響を大幅に除去できるテーブル装置が実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の可動装置の実施例を示す分解斜視
図。

【図２】 図１に示した可動装置の第１の可動機構を示
す平面図。

【図３】 弾性ヒンジ平行リンクを用いた可動機構を示
す平面図。

【図４】 本発明のテーブル装置の実施例を示す分解斜
視図。

【図５】 従来例を示す斜視図。

【符号の説明】

１、６１ 可動装置 ２、６２ 第１の可動機構 ３、６３ 第２の可動機構 ２４、２５、３０ 外周部（本体） ８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５ 溝部 １６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３ 板
ばね ４、５、３１ 接続部（変位部） ９０ テーブル ７３ ネジ軸 ７４ ナット ９２ 駆動手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G23B 5/00 B23Q 5/44 G01R 31/26 H01L 21/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の本体およびこの第１の本体に対し
   て所定方向に変位可能に弾性的に支持された第１の変位
   部とから成る第１可動機構と、第２の本体およびこの第
   ２の本体に対して所定方向に変位可能に弾性的に支持さ
   れた第２の変位部とから成る第２可動機構とを備え、前
   記第１の変位部と前記第２の変位部との変位方向がほぼ
   垂直となるように前記第１の本体と前記第２の本体とを
   接続して構成したことを特徴とする可動装置。
2. 【請求項２】 前記第１の変位部の所定変位方向の剛性
   値と前記第２の変位部の所定変位方向の剛性値とを異な
   るように構成したことを特徴とする請求項１記載の可動
   装置。
3. 【請求項３】 前記第１および第２の可動機構の少なく
   とも一方は、板状部材に溝部を設けて外枠部と弾性変形
   可能な薄肉弾性部と該薄肉弾性部により前記外枠部に対
   して所定方向に変位可能な内周部とをそれぞれ形成して
   成ることを特徴とする請求項１記載の可動装置。
4. 【請求項４】 駆動手段により回転駆動されるネジ軸お
   よびこのネジ軸に係合して移動するナットとから成る駆
   動機構と、この駆動機構により所定方向に移動可能に支
   持されたテーブルとから構成されるテーブル装置におい
   て、第１の本体およびこの第１の本体に対して所定方向
   に変位可能に弾性的に支持された第１の変位部とから成
   る第１可動機構と、第２の本体およびこの第２の本体に
   対して所定方向に変位可能に弾性的に支持された第２の
   変位部とから成る第２可動機構とを備え、前記ナットを
   前記第１の変位部に接続すると共に前記テーブルを前記
   第２の変位部に接続し、かつ前記第１の変位部と前記第
   ２の変位部との変位方向がほぼ垂直となるように前記第
   １の本体と前記第２の本体とを接続して構成したことを
   特徴とするテーブル装置。