JP2994072B2 - 移動案内装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、移動案内装置に関し、
さらに詳しくは、支持基台等の第１部材上に設定された
軌道に沿って試料搬送ステ―ジ等の第２部材を相対移動
させるための移動案内装置に関する。本発明は特に集積
回路などの半導体装置の製造に際して高速かつ高精度の
移動と停止を繰り返すステップアンドリピ―ト方式の縮
小投影露光装置における半導体ウエハ等の試料搬送装置
に好適な移動案内装置を提供するものである。

【０００２】

【従来技術の説明】ＬＳＩなどの半導体装置の製造に用
いられる縮小投影形露光装置では、半導体ウエハ上にマ
スクまたはレチクルパタ―ンを枡目状に規則正しく露光
し、前回の焼付パタ―ンに対する位置精度を高くするこ
とは勿論、その作業能率の向上のためにステップアンド
リピ―ト動作の高速化を図る必要がある。このためウエ
ハをＸＹ二次元座標平面内で移動させるウエハステ―ジ
の搬送系には、高速起動停止と高い停止位置精度とが要
求され、そのため従来からステ―ジの移動案内装置に種
々の工夫がなされている。

【０００３】従来のこの種移動案内装置の種々の例は、
例えば特開昭６１−６３０２８号公報に記載されてい
る。図３〜図１０は、それぞれ上記公報に記載された例
を示す。

【０００４】図４に示すものは、一般の工作機械などに
広く利用されているＶ溝スライドガイド１と平面スライ
ドガイド２との組合せで移動テ―ブル３の相対移動方向
を一次元方向に規制した例であり、各ガイド１，２の摺
動面は、金属面に油潤滑したり、ポリテトラフロルエチ
レン（商品名：テフロン）などの高分子材料やＰＴＦＥ
（商品名：ル―ロン，タ―カイト）などの高分子複合材
料の低摩擦係数仕上面にして円滑な摺動を果している。

【０００５】図５に示すものは、２本のガイド４ａおよ
び４ｂで金属面に油潤滑で摺動させることにより、ある
いはＰＴＦＥなど介して摺動させることにより、上下方
向の規制を行なうとともに、横方向の規制は、予圧をか
けた押付けロ―ラ６と摺動子７とでガイド８を挾み込
み、摺動子７とガイド８との接触面を金属同士で油潤滑
させて摺動させるかＰＴＦＥなどを介して摺動させるこ
とによって行なっている例である。

【０００６】図６に示すものは、一般にクロスロ―ラと
呼ばれるガイド方式の例で、Ｖレ―ル９とボ―ルベアリ
ング１０の組合せで構成されている。

【０００７】図７に示すものは、一般的な直動ベアリン
グ１１と棒状ガイド１２とを組合せた例である。

【０００８】図８に示すものは、図４の例に類似の方式
であって、Ｖ溝スライドガイド１と平面スライドガイド
２に転動体１３を組合せた例である。

【０００９】図９に示すものは、ガイド部に各々複数列
のエア―パッド１４を配設して、非接触方式のエア―ベ
アリングを構成したものであり、テ―ブル３をフロ―テ
イング状態とした例である。

【００１０】図１０に示すものは、精密工作機械などに
見られる一対の平行なＶ溝スライドガイド１，１を配置
した例で、基本的には図４のものと同様である。

【００１１】図３は上記公報で提案された装置を示す。
同図の装置においては、一対の平行な水平面ガイドレー
ル４ａ，４ｂを固定的に設け、そのレール面上に不図示
の保持器で整列されたロ―ラベアリング１３ａ，１３ｂ
を介してテ―ブル３を載せてテ―ブル３の自重を支持し
ている。すなわち、テ―ブル３の垂直方向の変位を規制
している。一方、水平方向は、すべり摩擦方式のガイド
８を押付けロ―ラ６と摺動子７で挟み込み、摺動面を油
潤滑させて摺動するか、ＰＴＦＥなどを介して摺動さ
せ、かつ押付けロ―ラ６の押付け力を制御することによ
って上記摺動の摩擦力を制御している。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
４および図５の従来例については、すべり支持で構成し
たガイドを用いたため、転動体を介した転がり支持のガ
イドや流体を介した静圧支持のガイドを用いた場合に比
べ、停止位置の誤差が大きくなるという欠点があった。

【００１３】また、摺動部を油潤滑している場合には、
潤滑部のメンテナンスを必要とし、固体潤滑した場合は
固体潤滑剤の摩耗が生じるという欠点を有していた。こ
の欠点は、図３の従来例においても同様に存している。

【００１４】さらに、上記従来例のうち、図３および図
４を除く各方式では、２本のガイドで移動方向および移
動方向以外のすべての特性を決めているため、例えばヨ
―イングのみを高精度にしたい場合でもすべてのガイド
を高精度に加工し組立ておよび調整する必要があり、所
望の精度が得られなかったり、またはコスト的に不利で
あった。

【００１５】本発明の目的は、上記従来形における問題
点に鑑み、比較的廉価で、かつ高い停止位置精度とヨー
イング精度を有する移動案内装置を提供することにあ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明では、第１部材に設定された軌道に沿って第２
部材を直線的に相対移動させるための移動案内装置であ
って、移動面に垂直な方向の第１及び第２部材の相対変
位を阻止するとともに、移動方向に関して第１及び第２
部材間で転動する第１転動体を有する第１ガイド手段
と、移動面内で移動方向に直角な方向の第１及び第２部
材の相対変位を阻止するとともに、移動方向に関して第
１及び第２部材間で転動する第２転動体とこの第２転動
体を転動面に対して押付ける押付ローラとを有する第２
ガイド手段とを備え、第２ガイド手段は一対の対向する
ガイド面を持った部材を含み、一方のガイド面に該第２
転動体を案内するとともに他方のガイド面に該押付ロー
ラが押付けられ、該押付ローラの押付力を可変にするこ
とでヨーイング方向の制御を可能としたことを特徴とし
ている。

【００１７】

【作用】本発明では、移動面に垂直な方向と移動面内で
移動方向に直角な方向、例えば上下方向と水平方向をそ
れぞれ転がり支持する互いに独立な２つのガイドを用い
て上記相対移動を案内させるようにしたため、ガイド部
の摩擦が小さくなり、高い位置決めを可能にすることが
できる。また、各方向のガイドが独立しているため、例
えばヨーイング精度を向上させるためには水平方向を支
持する側のガイドのみを高精度化すれば足り、高精度化
が容易となる。

【００１８】本発明では、さらに上記第２転動体への予
圧力を制御する手段を設けたため、移動面内で移動方向
に直角な方向、例えば水平方向の剛性やヨーイングの制
御を行なうことができ、姿勢精度の向上を達成すること
ができる。

【００１９】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。

【００２０】図１は本発明の一実施例に係る移動案内装
置の基本構成を示す正面図である。この装置は、第１部
材としての基台２０に設定された図面垂直方向の軌道に
沿って第２部材としての移動テ―ブル３を相対的に移動
案内する直線ガイドの例を示している。

【００２１】基台２０には一対の平行な水平面ガイドレ
ール４ａ，４ｂが固定的に設けられ、そのレ―ル面上に
は不図示の保持器で定間隔に整列させたロ―ラベアリン
グ（またはリニアロ―ラベアリング）１３ａ，１３ｂが
配設されている。このロ―ラベアリングの上に載るよう
にテ―ブル３の下部にはガイドシュ―２１ａ，２１ｂが
固定的に設けられており、これらによって第１ガイド手
段が構成されている。なお、水平面ガイドレール４ａ，
４ｂおよびガイドシュ―２１ａ，２１ｂの双方を図示の
ように突出させる必要はなく、これらの一方を例えば基
台２０の上面または移動テ―ブル３の下面と同一面とな
るように構成してもよい。

【００２２】第２ガイド手段を構成するのは、基台２０
に固設された垂直面ガイドレ―ル８、テ―ブル３の下部
に取付けられたスライドガイドシュ―ユニット２５およ
び押付けロ―ラユニット２７である。スライドガイドシ
ュ―ユニット２５は、スライドガイドシュ―７、このス
ライドガイドシュ―７に取りつけられてスライドガイド
シュ―ユニット２５の転動面を構成するロ―ラベアリン
グ２６、および複数個のロ―ラベアリングを移動方向に
２列整列させ、かつ２列のロ―ラベアリングをＶ型に保
持する保持器２８を備えている。

【００２３】ガイドレ―ル８は両側面がガイド面となっ
ており、テ―ブル３の移動方向と直交する方向の移動を
案内する垂直ガイド面を与えている。

【００２４】スライドガイドシュ―ユニット２５は、図
１では１つしか現われていないが、実際には手前と奥の
二個所に１つずつ、合計２つがテ―ブル３に固定されて
おり、その転動面をレ―ル８の図１において右側面のガ
イド面にロ―ラベアリング２６を介して転動させてい
る。なお、このスライドガイドシュ―ユニット２５は一
体に構成したものに複数の転動面を設けるようにしても
よい。いずれにしても、複数の転動面をガイド面に転動
するように構成するのが好ましい。

【００２５】押付けロ―ラユニット２８も、図１では１
つしか現われていないが、これも実際には図の手前と奥
の二個所に１つずつ、合計２つあり、スライドガイドシ
ュ―ユニット２５の対応位置にてそれぞれテ―ブル３に
取付けられている。なお、変形例として、２つのスライ
ドガイドシュ―ユニット２５の中間位置に対応する個所
に１つのみの押付けロ―ラユニット２７を配置した構成
にしてもよい。また、押付けロ―ラユニット２７を３個
以上設置するようにしてもよい。

【００２６】押付けロ―ラユニット２７は、そのロ―ラ
によってスライドガイドユニット２５との間にガイドレ
―ル８を挾みつけ、その押付力を調節あるいは制御する
ことで、スライドガイドシュ―ユニット２５とガイドレ
―ル８との間の転動体２６の弾性変形量を所望値に設定
ないし可変制御する。

【００２７】以上のように、図１の実施例では、基本構
成として上下方向の相対変位を阻止するガイドを平面と
転動体で構成してテ―ブルの重量を支持すると同時にロ
ーリングおよびピッチングを拘束し、かつ、横（水平）
方向の相対変位を阻止するガイドを上下方向のガイドと
直行した平面と転動体で構成するとともにこの転動体に
加える予圧を任意に設定ないし可変制御できるようにし
てある。

【００２８】このように、図１の移動案内装置において
は、上下方向および横方向の相対変位を阻止し、さらに
ローリングおよびピッチングを拘束することにより高い
停止位置精度が得られる。また、水平方向ガイドの水平
方向予圧力を任意に設定ないし可変制御できる機構を付
加したことにより、任意の水平方向剛性が得られる。さ
らに、この予圧力を２か所の間で変化して制御すること
によりヨーイングの制御が可能となる。

【００２９】本発明は露光装置のウエハ搬送系に好適で
あり、図２はその一例を示すものである。

【００３０】図２においては、図１の基本構成のものが
ＸおよびＹの互いに直行する二方向につき一基ずつ計二
基組み合わされている。ここで、第１の移動案内系は第
１部材としての基台３１と第２部材としてのＹステ―ジ
３２とに設けられたＹ方向ガイド機構、第２の移動案内
系は第１部材として前記Ｙステ―ジ３２を兼用し、これ
と第２部材としてのＸステ―ジ３３とに設けられたＸ方
向ガイド機構である。Ｘステ―ジ３３の上には、ＸＹ方
向に直角なＺ軸方向への微小変位とＺ軸まわりの微小回
動などが可能な試料台３４が設けられ、この試料台３４
上に搬入されたウエハ（図示せず）をＸステ―ジ３３と
Ｙステ―ジ３２とでＸＹ直交座標平面内の所望位置に移
動させるようにしてある。

【００３１】基台３１には一対の水平面ガイドレ―ル３
５ａ，３５ｂと一本の垂直面ガイドレ―ル３６とが互い
に平行に固設されており、水平面ガイドレ―ル上には、
それぞれリニアロ―ラベアリング３７ａ，３７ｂが配列
されている。

【００３２】Ｙステ―ジ３２の下面には、前記水平面ガ
イドレ―ル上のロ―ラベアリング３７ａ，３７ｂ上に載
るように一対のガイドシュ―３８ａ，３８ｂが固設され
ており、また垂直面ガイドレ―ル３６の一方の垂直ガイ
ド面に対してスライドガイドシュ―３９がリニアロ―ラ
ベアリング５１を介して接し、かつ他方の垂直ガイド面
に対して押付けロ―ラユニット４０が接するように、ス
ライドガイドシュ―ユニット３９と押付けロ―ラユニッ
ト４０とが対設されている。これらのスライドガイドシ
ュ―ユニットと押付けロ―ラユニットとは図２では１つ
ずつしか現われていないが図１で説明したのと同様に二
個所にそれぞれ設けられている。

【００３３】Ｙステ―ジ３２の移動は、基台３１側に設
けられたモ―タ４１と送りねじ４２、およびＹステ―ジ
側に設けられて前記送りねじ４２と螺合する送りナット
（不図示）などからなる駆動・伝達機構により行なわれ
る。

【００３４】Ｙステ―ジ３２の上面には、その下面のガ
イドシュ―３８ａ，３８ｂと直交する方向に一対の水平
面ガイドレ―ル４３ａ，４３ｂおよび一本の垂直面ガイ
ドレ―ル４４が互いに平行に固設されている。水平面ガ
イドレ―ル４３ａ，４３ｂのガイド面上には同様にリニ
アロ―ラベアリング４５ａ，４５ｂが配列されている。

【００３５】Ｘステ―ジ３３の下面には、Ｙステ―ジ上
の水平面ガイドレ―ル上のロ―ラベアリング４５ａ，４
５ｂ上に載るように一対のガイドシュ―４６ａ，４６ｂ
が固設されており、また垂直面ガイドレ―ル４４の一方
の垂直ガイド面に対してスライドガイドシュ―４７がリ
ニアロ―ラベアリング５２を介して接し、かつ他方の垂
直ガイド面に対して押付けロ―ラユニット４８が接する
ように、スライドガイドシュ―４７と押付けロ―ラユニ
ット４８とが対設され、この場合もこれらスライドガイ
ドシュ―４７と押付けロ―ラユニット４８は前記Ｙステ
―ジ下面のものと同様に二個所にそれぞれ設けられてい
る。

【００３６】Ｘステ―ジ３３の移動は、Ｙステ―ジ３２
側に設けられたモ―タ４９と送りねじ５０、およびＸス
テ―ジ側に設けられ前記送りねじ５０と螺合する送りナ
ット（不図示）などからなる駆動・伝達機構により行な
われる。

【００３７】このような構成のウエハ搬送システムで
は、モ―タ４１と４９とにステッピングモ―タなどを用
いて所定の繰返しタイミングで所定量の運動量を与える
ようにすることで、基台３１に対してＹステ―ジ３２を
Ｙ軸方向に、Ｘステ―ジ３３をＸ軸方向にそれぞれ移動
させることができる。

【００３８】本発明は、従来のウエハ搬送系などの試料
移送装置に単独で適用することにより、その停止位置精
度およびヨーイング精度の向上を図ることができる。し
かし、本発明は、上述のＸステージおよびＹステージと
して以下のようなテーブル移動機構を組み合わせて適用
することにより、そのピッチングやローリングの精度の
向上を図ったり、停止位置精度やヨーイング精度をさら
に高くすることができる。

【００３９】図１１は、上記テーブル移動機構の一例の
縦断面図の形態を、図１２はそのＡ−Ａ断面の形態を示
している。これらの図において、１０１は平行移動テー
ブル、１０２は一組みのガイドで、平行移動テーブル１
０１の下面は潤滑層を介してガイド１０２によりＸ方向
に移動自在に指示されている。また１０３はボールナッ
トあるいは送りナットで、ボールネジあるいは送りネジ
１０４と螺合する。１０５は一組の軸受けハウジング
で、ボールネジあるいは送りネジ１０４の両端部をそれ
ぞれ保持する軸受けを収納する一方、それ自体は基盤１
０６に固設される。

【００４０】次に、１０７はそれぞれ板ばねで、両者で
平行板ばねを構成する。これらの板ばね１０７は、移動
テーブル１０１およびそこに載置される装置を含めた付
加が、鉛直（Ｚ方向）に付加された場合でも、座屈する
ことがない様に長さ、板圧、板幅、平行に設置する枚数
を決定するものとし、殊にネジり剛性を高めるために板
圧（Ｚ方向）に比べて充分幅（Ｙ方向）を広くしておく
のが良い。なお、ばね形状は種々変形可能である。

【００４１】１０９は、各板ばね１０７を略平行に保っ
た状態で水平（Ｘ方向）に把持するとともに、これらを
平行移動テーブル１の下面に固設するための第１固定具
である。この第１固定具１０９とナット１０３の間に粘
弾性ゴム１０８が挟み込まれている。また１１０は各板
ばね１０７の他端を把持し、これらをナット１０３の側
部に固設するための第２固定具１１１に結合されてい
る。なお、ボールネジあるいは送りネジ１０４の一端
は、手動もしくは電動機で回転駆動される回転軸１２に
連結あるいは一体化されている。

【００４２】以上の構成で、ボールネジあるいは送りネ
ジ１０４を回転させると、ナット１０３はネジ１０４に
送られて水平方向に移動し、平行移動テーブル１０１は
板ばね１０７に牽引あるいは押圧されて移動する。その
際、回転運動から直線運動に変換される時に生じるピッ
チングは、平行板ばね１０７で吸収されることになる。
また第１固定具１０９とナット１０３の間には粘弾性ゴ
ム１０８が挟み込まれているため、板ばね１０７でナッ
ト１０３の変位を吸収する際に、粘弾性ゴム１０８にせ
ん断力が働く。ここで、粘弾性ゴム１０８の内部摩擦と
粘性抵抗により、ナットの振動の減衰効果が得られ、平
行移動テーブル１０１はナット１０３からの振動を受け
ることなく位置決めされる。以上の例はピッチング特性
の改善を図った例である。

【００４３】図１３はヨーイング特性を改善したテーブ
ル移動機構例を示す。図１４は図１３のＡ−Ａ断面を示
す。また前例と同一番号は実質的に同一機能の部材であ
る。これらの図において、１０３はボールナットまたは
送りナットで、Ｙ方向の両側面に平行板ばね取付部を備
える。１０７は上述と同様の板ばねで、２枚づつ２組の
平行板ばねを構成する。各組の板ばね１０７の間には不
図示のスペーサが挟み込まれている。

【００４４】次に、１１３はナット１０３が入る円形開
口部を有する板ばね固定ブロックでこの板ばね固定ブロ
ック１１３とナット１０３の隙間には円周状に粘弾性ゴ
ム１０８が挟み込まれている。このブロック１１３は平
行移動テーブル１０１の下面に固設される一方、各平行
板ばね１０７は水平面に垂直なＸＺ面内で伸びる様に両
側面に固定される。

【００４５】以上の構成で、ボールネジまたは送りネジ
１０４を回転すると、両平行板ばね１０７、１０７に押
しまたは引かれて平行移動テーブル１は前後に移動す
る。この場合、平行板ばねによってヨーイングは吸収さ
れ、この際に、粘弾性ゴム１０８によって振動の減衰効
果が得られ、平行移動テーブル１０１はナット１０３か
らの振動を受けることなく位置決めされる。

【００４６】図１５、図１６に示すテーブル移動機構
は、ピッチングとヨーイングの両特性を改善した例であ
る。図中、前例と実質同一機能の部材には同一番号を付
した。

【００４７】これらの図において、１１５は中継ブロッ
クで、上下（Ｚ方向）左右（Ｙ方向）の面には平行に保
持された板ばね１０７がそれぞれ固定される一方、中央
にはボールネジまたはネジ１０４が自由に通過できる円
形開口を備える。１１６は平行板ばね取付ブロックで、
中央にはナット１０３が入り込むように円形開口を備
え、この平行板ばね取付ブロック１１６とナット１０３
との隙間に粘弾性ゴム１０８が挟まれておりこのブロッ
クは平行移動テーブル１０１の下面に固設されている。

【００４８】そして水平面（ＸＹ面）内に伸びて、送り
ネジ１０４を上下（Ｚ方向）から挟む形の平行板ばね１
０７，１０７の一端は取付ブロック１１６の上下の面に
固定され、他端は前述の様に中継ブロック１１５の上下
の面に固定される。

【００４９】また、水平面に垂直な面（ＡＸＺ面）内に
伸び、送りネジ１０４を左右（Ｙ方向）から挟む形の平
行板ばね１０７，１０７の一端はナット１０３の左右の
面に固定され、他端は中継ブロック１１５の左右の面に
固定される。

【００５０】そして、これら粘弾性ゴム１０８を挟み込
んだ複合平行板ばねの作用は、ボールネジあるいは送り
ネジ１０４とナット１０３の振れ回りの水平方向成分を
左右の平行板ばねで、垂直方向成分を上下の平行板ばね
で吸収し、粘弾性ゴムでこの振動を減衰させ、軸方向の
送り力のみを平行移動テーブル１０１に伝えることであ
る。

【００５１】なお、上記の例は一方向移動テーブルで示
したが、これらテーブルを２層に重ね、送りネジの方向
が直交する様に構成すればＸ−Ｙ移動テーブルとなる。
Ｘ−Ｙ移動テーブルにおいては、下側に載置されたテー
ブルを移動すると、上側に載置されたテーブルの送りネ
ジおよびナットを加振する力を発生するが、上記実施例
によれば、この振動についても減衰されるため、Ｘ−Ｙ
移動テーブルにおいても、高速・高精度な位置決めが可
能となる。

【００５２】上記実施例で述べた粘弾性ゴムの他に、ナ
ットと、板ばね固定ブロックとのすき間を、液体が表面
張力でつりあう様な間隔にして、粘性オイルを用いるこ
とも可能である。さらに、平行板ばねを磁性体で構成し
て、粘弾性ゴムの代わりに、磁性流体を用いることもで
きる。これら粘性流体を用いることにより、平行板ばね
を組立て後に、粘性流体を注入することにより、組立て
が容易になるメリットを有する。

【００５３】また、伝達機構を回転運動を直進運動に変
換する送りネジとして述べたが、この部分はリニアモー
タ、エアシリンダ、油圧シリンダ、ソレノイド等の駆動
機構と伝達機構が１つになった直進送り機構でもかまわ
ない。

【００５４】従来のテーブル移動機構は、送りネジの回
転時の振れ回りを吸収させるために、例えば特開昭５９
−１４５５２７号公報に精密試料移動装置として開示さ
れているように、平行板ばねを介して送りネジのナット
と移動テーブル（移動台または試料台）を結合していた
ので、送りネジのナットが振動した際の振動減衰が悪い
という不都合があった。このため、従来例では、（１）
高速位置決めを行なうと、送りネジのふれまわりにより
ナットが振動し、この振動が移動テーブルに伝達して位
置決め時間、位置決め精度を悪化させる（２）移動テー
ブルに外力が加わった場合に送りネジとナットが振動
し、この振動が移動テーブルに伝達して位置決め時間や
位置決め精度を悪化させる等の欠点があった。

【００５５】しかしながら上述のテーブル移動機構にお
いては送りネジのナットの移動方向以外の変位を吸収す
る平行板ばねを設けるとともに、その振動を減衰する制
振材料をその板ばね固定ブロックとナットの間に挟み込
むようにしたので、送りネジの振れ回りから生じる平行
移動テーブルの位置ずれやヨーイングまたはピッチング
もしくは両者の特性を改善でき、位置決め精度と位置決
め時間の向上をはかることができる。さらに、この平行
移動テーブルに加振力が加わった場合にも、変位の少な
い装置とすることができる。

【００５６】

【発明の変形例】上述の実施例においては、水平方向の
変位を規制するためのローラベアリング２６としてリニ
アローラベアリングをＶ型に配列したものを用いた例を
説明したが、図１７に示すように、上下方向規制用のロ
ーラベアリング１３ａ，１３ｂと同様なフラットタイプ
のリニアローラベアリング２９をベアリング３０で支持
するようにしてもよい。

【００５７】また、垂直方向の移動を阻止するための水
平ガイド面は、図１または図２のように同一平面上にあ
る必要はなく、図１８に示すように段違いでも良い。こ
の場合、部品としての基台６０とステージ６１を共通化
することができる。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
転がり支持された平面で構成されている第１ガイド手段
と、この第１ガイド手段に直行した平面で構成されてい
る転がり支持された第２ガイド手段とで案内させること
により、製造コストを上げずに、高い位置決め精度と、
高いヨーイング精度を有する移動案内装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る移動案内装置の基本構
成を示す正面図である。

【図２】ウエハ搬送系に適用した本発明の応用例を示す
斜視図である。

【図３】第８の従来例を示す正面図である。

【図４】第１の従来例を示す正面図である。

【図５】第２の従来例を示す正面図である。

【図６】第３の従来例を示す正面図である。

【図７】第４の従来例を示す正面図である。

【図８】第５の従来例を示す正面図である。

【図９】第６の従来例を示す正面図である。

【図１０】第７の従来例を示す正面図である。

【図１１】図２のウエハ搬送系におけるＸステージおよ
びＹステージとして用いられるテーブル移動機構の一実
施例を示す縦断面図である。

【図１２】図１１のＡ−Ａ断面図である。

【図１３】テーブル移動機構の第２実施例を示す縦断面
図である。

【図１４】図１３のＡ−Ａ断面図である。

【図１５】テーブル移動機構の第３実施例を示す斜視図
である。

【図１６】図１５の要部を示す平面図である。

【図１７】図１の実施例の変形例を示す正面図である。

【図１８】図１の実施例の別の変形例を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

３，６１，１０１ 移動テーブル（移動ステージ） ４ａ，４ｂ，３５ａ，３５ｂ，４３ａ，４３ｂ 水平面
ガイドレ―ル ７，３９，４７ スライドガイドシュ― ８，３６，４４ 垂直面ガイドレ―ル １３ａ，１３ｂ，３７ａ，３７ｂ，４５ａ，４５ｂ リ
ニアロ―ラベアリング ２０，６１ 基台 ２１ａ，２１ｂ，３８ａ，３８ｂ，４６ａ，４６ｂ ガ
イドシュ― ２５ スライドガイドシュ―ユニット ２６，５１，５２ リニアロ―ラベアリング ２７，４０，４８ 押付けロ―ラユニット ３２ Ｙステ―ジ ３３ Ｘステ―ジ １０１ 平行移動テーブル １０２ ガイド １０３ 送りナット １０４ 送りねじ １０５ 軸受ハウジング １０６ 基盤（基板） １０７ 板ばね １０８ 粘弾性ゴム １０９，１１０ 板ばね固定具 １１１，１１４ ナットハウジング １１２ 回転軸 １１３ 板ばね固定ブロック １１５ 中継ブロック １１６ 取付ブロック

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−63028（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−22241（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−145527（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−211550（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−46045（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−68389（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−61674（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−135038（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭48−43810（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23Q 1/00 - 1/76 H01L 21/02 - 21/027

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１部材に設定された軌道に沿って第２
   部材を直線的に相対移動させるための移動案内装置であ
   って、 移動面に垂直な方向の第１及び第２部材の相対変位を阻
   止するとともに、移動方向に関して第１及び第２部材間
   で転動する第１転動体を有する第１ガイド手段と、 移動面内で移動方向に直角な方向の第１及び第２部材の
   相対変位を阻止するとともに、移動方向に関して第１及
   び第２部材間で転動する第２転動体とこの第２転動体を
   転動面に対して押付ける押付ローラとを有する第２ガイ
   ド手段とを備え、第２ガイド手段は一対の対向するガイ
   ド面を持った部材を含み、一方のガイド面に該第２転動
   体を案内するとともに他方のガイド面に該押付ローラが
   押し付けられ、該押付ローラの押付力を可変にすること
   でヨーイング方向の制御を可能としたことを特徴とする
   移動案内装置。
2. 【請求項２】 前記第１および第２転動体の少なくとも
   一方が、前記軌道に沿って整列されたローラベアリング
   からなる請求項１記載の移動案内装置。
3. 【請求項３】 前記第１および第２転動体の少なくとも
   一方が、前記軌道に沿って整列されたボールベアリング
   からなる請求項１記載の移動案内装置。
4. 【請求項４】 前記第１ガイド手段のガイド面が平面で
   構成され、これと直交する平面で前記第２ガイド手段の
   ガイド面が構成されている請求項１〜３のいずれか１つ
   に記載の移動案内装置。
5. 【請求項５】 物体を載置して移動させるための移動テ
   ーブルと、前記移動テーブルの移動を規制する案内機構
   と、前記移動テーブルを移動させるための力を発生する
   駆動機構と、駆動力を前記移動テーブルに伝達するため
   の伝達機構とを有する試料移送装置の、前記案内機構と
   して用いられた請求項１〜４のいずれか１つに記載の移
   動案内装置。
6. 【請求項６】 前記試料移送装置が、前記移動テーブル
   と前記伝達機構とを複数枚の平行板ばねを介して連結
   し、前記伝達機構と平行板ばねまたは平行板ばね固定具
   との間に制振材料を挟み込んだものである請求項５記載
   の移動案内装置。
7. 【請求項７】 前記制振材料が、粘弾性ゴム、オイルま
   たは高分子樹脂である請求項５記載の移動案内装置。
8. 【請求項８】 前記平行板ばねが磁性体であり、前記制
   振材料が磁性流体である請求項５記載の移動案内装置。
9. 【請求項９】 前記伝達機構が、回転運動を直進運動に
   変換する構造を有する請求項５記載の移動案内装置。
10. 【請求項１０】 前記伝達機構が、前記駆動機構と一体
    となった直進送り機構である請求項５記載の移動案内装
    置。