JPH08252512A - 枚葉塗工装置 - Google Patents
枚葉塗工装置Info
- Publication number
- JPH08252512A JPH08252512A JP7059187A JP5918795A JPH08252512A JP H08252512 A JPH08252512 A JP H08252512A JP 7059187 A JP7059187 A JP 7059187A JP 5918795 A JP5918795 A JP 5918795A JP H08252512 A JPH08252512 A JP H08252512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- wafer coating
- linear slider
- wafer
- straightness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動速度を余り損なうことなく真直度を著し
く高めることができるリニアスライダを提供する。 【構成】 基台１上にコロ軸受３ｂを介してテーブル３
ｃを支承し、ボールネジ３ｇおよびボールネジナット３
ｅによりテーブル３ｃに駆動力を伝達する。
く高めることができるリニアスライダを提供する。 【構成】 基台１上にコロ軸受３ｂを介してテーブル３
ｃを支承し、ボールネジ３ｇおよびボールネジナット３
ｅによりテーブル３ｃに駆動力を伝達する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はリニアスライダを用い
て、カラーフィルタなどの被塗布基板に対する枚葉塗工
を行う枚葉塗工装置に関する。
て、カラーフィルタなどの被塗布基板に対する枚葉塗工
を行う枚葉塗工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からカラーフィルタ基板などに対す
る塗工を行うための枚葉塗工装置において、枚葉塗工用
ステージとして、リニアモーションガイドを用いて基台
上にテーブルを往復動可能に支承するとともに、ボール
ネジ機構を介してテーブルに駆動力を与えるようにした
構成のものが提案されている。ここで、リニアモーショ
ンガイドとは、多数のボールが自転可能に設けられてい
るとともに、予め設定された所定の経路内を移動（以
下、公転と称する）可能に設けられてなるものであり、
これらボールの自転および公転によりテーブルをスムー
ズに移動させることができると思われている。また、ボ
ールの自転および公転によりテーブルを案内するのであ
るから、テーブルを高速に移動させることができ、枚葉
塗工効率を高めることができる。
る塗工を行うための枚葉塗工装置において、枚葉塗工用
ステージとして、リニアモーションガイドを用いて基台
上にテーブルを往復動可能に支承するとともに、ボール
ネジ機構を介してテーブルに駆動力を与えるようにした
構成のものが提案されている。ここで、リニアモーショ
ンガイドとは、多数のボールが自転可能に設けられてい
るとともに、予め設定された所定の経路内を移動（以
下、公転と称する）可能に設けられてなるものであり、
これらボールの自転および公転によりテーブルをスムー
ズに移動させることができると思われている。また、ボ
ールの自転および公転によりテーブルを案内するのであ
るから、テーブルを高速に移動させることができ、枚葉
塗工効率を高めることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リニアモーシ
ョンガイドを用いた枚葉塗工用ステージを採用した場合
には、ピッチング、ヨーイングがかなり大きい関係上、
真直度（精度）を余り高めることができず、この結果、
塗膜組成物吐出用のノズルとテーブルとの距離がかなり
大きく変動するのであるから、塗膜の厚みを高精度に制
御することが不可能になってしまう。
ョンガイドを用いた枚葉塗工用ステージを採用した場合
には、ピッチング、ヨーイングがかなり大きい関係上、
真直度（精度）を余り高めることができず、この結果、
塗膜組成物吐出用のノズルとテーブルとの距離がかなり
大きく変動するのであるから、塗膜の厚みを高精度に制
御することが不可能になってしまう。
【０００４】具体的には、リニアモーションガイドを構
成する各ボールにはそれぞれバラツキがあるとともに、
これらボールを公転させるために移動経路とボールの直
径との間にも多少の余裕があるので、両者の相乗効果に
より、真直度の上限が±５μｍ程度になってしまう。こ
の結果、塗膜の厚みを５μｍ以下の精度で制御すること
が不可能になってしまう。
成する各ボールにはそれぞれバラツキがあるとともに、
これらボールを公転させるために移動経路とボールの直
径との間にも多少の余裕があるので、両者の相乗効果に
より、真直度の上限が±５μｍ程度になってしまう。こ
の結果、塗膜の厚みを５μｍ以下の精度で制御すること
が不可能になってしまう。
【０００５】なお、この不都合は、高い真直度が要求さ
れる用途に用いられるリニアスライダであれば、同様に
発生する。
れる用途に用いられるリニアスライダであれば、同様に
発生する。
【０００６】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、移動速度を余り損なうことなく、リニア
モーションガイドを用いる場合よりも著しく高い真直度
を達成できるリニアスライダを用いた高性能な枚葉塗工
装置を提供することを目的としている。
たものであり、移動速度を余り損なうことなく、リニア
モーションガイドを用いる場合よりも著しく高い真直度
を達成できるリニアスライダを用いた高性能な枚葉塗工
装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の枚葉塗工装置
は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度を有
するリニアスライダとして、基台上にテーブルがコロ軸
受を介して所定方向に往復動自在に支承されているとと
もに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝達されてなる
ものを採用している。
は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度を有
するリニアスライダとして、基台上にテーブルがコロ軸
受を介して所定方向に往復動自在に支承されているとと
もに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝達されてなる
ものを採用している。
【０００８】請求項２の枚葉塗工装置は、リニアスライ
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。請求項３の枚葉塗工
装置は、リニアスライダとして、コロ軸受としてＶ字状
に配置されたものを採用している。請求項４の枚葉塗工
装置は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度
を有するリニアスライダとして、基台上にテーブルがＶ
字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在に支承さ
れているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝
達されてなるものを採用している。
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。請求項３の枚葉塗工
装置は、リニアスライダとして、コロ軸受としてＶ字状
に配置されたものを採用している。請求項４の枚葉塗工
装置は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度
を有するリニアスライダとして、基台上にテーブルがＶ
字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在に支承さ
れているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝
達されてなるものを採用している。
【０００９】請求項５の枚葉塗工装置は、リニアスライ
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。
【００１０】
【作用】請求項１の枚葉塗工装置であれば、基台上にテ
ーブルがコロ軸受を介して所定方向に往復動自在に支承
されているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が
伝達されてなるリニアスライダを採用しているのである
から、かなり高い移動速度を確保することができるとと
もに、リニアモーションガイドを使用する場合と比較し
て高い真直度を達成することができる。この結果、枚葉
塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗工を
達成することができる。
ーブルがコロ軸受を介して所定方向に往復動自在に支承
されているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が
伝達されてなるリニアスライダを採用しているのである
から、かなり高い移動速度を確保することができるとと
もに、リニアモーションガイドを使用する場合と比較し
て高い真直度を達成することができる。この結果、枚葉
塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗工を
達成することができる。
【００１１】請求項２の枚葉塗工装置であれば、テーブ
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドさせることができる。
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドさせることができる。
【００１２】請求項３の枚葉塗工装置であれば、コロ軸
受としてＶ字状に配置されたものを採用しているので、
移動方向と直角方向の振れが規制され、テーブルのヨー
イングを大幅に低減でき、真直度を一層高めることがで
きる。請求項４の枚葉塗工装置であれば、基台上にテー
ブルがＶ字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在
に支承されているとともに、ボールネジ機構を介して駆
動力が伝達されてなるリニアスライダを採用しているの
であるから、コロ軸受を採用した場合の真直度以上の真
直度を達成することができる。この結果、高精度の枚葉
塗工を達成することができる。
受としてＶ字状に配置されたものを採用しているので、
移動方向と直角方向の振れが規制され、テーブルのヨー
イングを大幅に低減でき、真直度を一層高めることがで
きる。請求項４の枚葉塗工装置であれば、基台上にテー
ブルがＶ字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在
に支承されているとともに、ボールネジ機構を介して駆
動力が伝達されてなるリニアスライダを採用しているの
であるから、コロ軸受を採用した場合の真直度以上の真
直度を達成することができる。この結果、高精度の枚葉
塗工を達成することができる。
【００１３】請求項５の枚葉塗工装置であれば、テーブ
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドすることができる。
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドすることができる。
【００１４】以上の請求項１〜５の枚葉塗工装置であれ
ば、基板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することがで
きるとともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度
に制御することができ、ひいては高品質のカラーフィル
タなどを得ることができる。
ば、基板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することがで
きるとともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度
に制御することができ、ひいては高品質のカラーフィル
タなどを得ることができる。
【００１５】
【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例のリニ
アスライダが適用されるスリットダイコータより構成さ
れる枚葉塗工装置を示す斜視図である。このスリットダ
イコータより構成される枚葉塗工装置は、鋳物などから
なる基台１の上面所定位置にスリットダイ２を設けてい
るとともに、リニアスライダ３を設けている。
明を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例のリニ
アスライダが適用されるスリットダイコータより構成さ
れる枚葉塗工装置を示す斜視図である。このスリットダ
イコータより構成される枚葉塗工装置は、鋳物などから
なる基台１の上面所定位置にスリットダイ２を設けてい
るとともに、リニアスライダ３を設けている。
【００１６】上記スリットダイ２は、Ｚ軸ステージ２ａ
によって上下位置が制御され、基台１の上面との間の距
離、即ち、後述するテーブル３ｃとの間の距離が制御さ
れる。上記リニアスライダ３は、図２に要部を拡大して
示すように、基台１の上面に形成した１対のＶ字溝３ａ
と、このＶ字溝３ａに収容されたＶ字状のコロ軸受３ｂ
と、このコロ軸受３ｂにより支承される脚部３ｄを有す
るテーブル３ｃと、テーブル３ｃの下面所定位置に設け
たボールネジナット３ｅと、このボールネジナット３ｅ
と螺合しているとともに、駆動用モータ３ｆにより回転
されるボールネジ３ｇとを有している。なお、上記ボー
ルネジナット３ｅは、テーブル３ｃに連結されたボール
ネジナット支承部３ｅ１に対して、部分的にのみ存在す
る連結部３ｅ２を介して連結されており、しかも、この
連結部３ｅ２に弾性を持たせることにより、ボールネジ
ナット３ｅの弾性支持を達成している。また、上記テー
ブル３ｃは、その上面に吸着盤３ｈを有しており、吸着
盤３ｈにより、枚葉塗工用基板の一例としてのガラス基
板４を吸着保持する。
によって上下位置が制御され、基台１の上面との間の距
離、即ち、後述するテーブル３ｃとの間の距離が制御さ
れる。上記リニアスライダ３は、図２に要部を拡大して
示すように、基台１の上面に形成した１対のＶ字溝３ａ
と、このＶ字溝３ａに収容されたＶ字状のコロ軸受３ｂ
と、このコロ軸受３ｂにより支承される脚部３ｄを有す
るテーブル３ｃと、テーブル３ｃの下面所定位置に設け
たボールネジナット３ｅと、このボールネジナット３ｅ
と螺合しているとともに、駆動用モータ３ｆにより回転
されるボールネジ３ｇとを有している。なお、上記ボー
ルネジナット３ｅは、テーブル３ｃに連結されたボール
ネジナット支承部３ｅ１に対して、部分的にのみ存在す
る連結部３ｅ２を介して連結されており、しかも、この
連結部３ｅ２に弾性を持たせることにより、ボールネジ
ナット３ｅの弾性支持を達成している。また、上記テー
ブル３ｃは、その上面に吸着盤３ｈを有しており、吸着
盤３ｈにより、枚葉塗工用基板の一例としてのガラス基
板４を吸着保持する。
【００１７】さらに、上記コロ軸受３ｂは、Ｖ字状に形
成されたリテーナ３ｂ１と、リテーナ３ｂ１の各面にそ
れぞれ自転自在に支持された複数個のコロ３ｂ２とから
構成されている。したがって、Ｚ軸ステージ２ａによっ
てスリットダイ２の上下位置を設定し、吸着盤３ｈによ
りガラス基板４を吸着保持した状態において駆動用モー
タ３ｆを動作させれば、ボールネジ３ｇとボールネジナ
ット３ｅとが螺合しているので、テーブル３ｃを所定速
度で移動させることができる。この場合において、脚部
３ｄとＶ字溝３ａとの間にはコロ軸受３ｂが介在してい
るのであるから、テーブル３ｃのスムーズかつかなり高
速での移動を達成することができる。また、テーブル３
ｃには、コロ軸受３ｂを構成する各コロ３ｂ２の直径の
バラツキに起因してピッチング、ヨーイングが発生し、
真直度が低下することになるが、各コロ３ｂ２は自転す
るだけであり、リニアモーションガイドのように自転の
みならず公転を伴なうのではないから、真直度を±１μ
ｍもしくはサブミクロンにまで高めることができる。
成されたリテーナ３ｂ１と、リテーナ３ｂ１の各面にそ
れぞれ自転自在に支持された複数個のコロ３ｂ２とから
構成されている。したがって、Ｚ軸ステージ２ａによっ
てスリットダイ２の上下位置を設定し、吸着盤３ｈによ
りガラス基板４を吸着保持した状態において駆動用モー
タ３ｆを動作させれば、ボールネジ３ｇとボールネジナ
ット３ｅとが螺合しているので、テーブル３ｃを所定速
度で移動させることができる。この場合において、脚部
３ｄとＶ字溝３ａとの間にはコロ軸受３ｂが介在してい
るのであるから、テーブル３ｃのスムーズかつかなり高
速での移動を達成することができる。また、テーブル３
ｃには、コロ軸受３ｂを構成する各コロ３ｂ２の直径の
バラツキに起因してピッチング、ヨーイングが発生し、
真直度が低下することになるが、各コロ３ｂ２は自転す
るだけであり、リニアモーションガイドのように自転の
みならず公転を伴なうのではないから、真直度を±１μ
ｍもしくはサブミクロンにまで高めることができる。
【００１８】この結果、吸着盤３ｈの上面とスリットダ
イ２との間隔のバラツキを±１μｍもしくはサブミクロ
ン以下に押えることができる。したがって、ガラス基板
４の端部がスリットダイ２の直下に位置した時点でスリ
ットダイ２を通して塗液、即ち塗膜組成物の吐出を開始
することにより、ガラス基板４の表面に膜厚のバラツキ
が少ない塗膜を形成することができる。
イ２との間隔のバラツキを±１μｍもしくはサブミクロ
ン以下に押えることができる。したがって、ガラス基板
４の端部がスリットダイ２の直下に位置した時点でスリ
ットダイ２を通して塗液、即ち塗膜組成物の吐出を開始
することにより、ガラス基板４の表面に膜厚のバラツキ
が少ない塗膜を形成することができる。
【００１９】特に、塗膜組成物として粘度が低いものを
採用した場合｛例えば、従来は１００ｃｐ（センチポイ
ズ）以上の粘度のカラーフィルタ用塗膜組成物を採用し
ていたのに対し、１００ｃｐ以下、好ましくは３０〜５
０ｃｐの粘度のニュートリアン流体をカラーフィルタ用
塗膜組成物として採用する場合｝には、必然的にスリッ
トダイ２とガラス基板４との間隔を小さく（従来の１／
２以下であり、例えば、５０μｍ程度）しなければなら
ず、この結果、この間隔の精度も高めなければならない
（例えば、３μｍ以下にしなければならない）。このよ
うに厳しい要求に対しては、従来のリニアモーションガ
イドを用いたリニアスライダでは到底対処できないが、
この実施例のリニアスライダであれば簡単に対処するこ
とができる。
採用した場合｛例えば、従来は１００ｃｐ（センチポイ
ズ）以上の粘度のカラーフィルタ用塗膜組成物を採用し
ていたのに対し、１００ｃｐ以下、好ましくは３０〜５
０ｃｐの粘度のニュートリアン流体をカラーフィルタ用
塗膜組成物として採用する場合｝には、必然的にスリッ
トダイ２とガラス基板４との間隔を小さく（従来の１／
２以下であり、例えば、５０μｍ程度）しなければなら
ず、この結果、この間隔の精度も高めなければならない
（例えば、３μｍ以下にしなければならない）。このよ
うに厳しい要求に対しては、従来のリニアモーションガ
イドを用いたリニアスライダでは到底対処できないが、
この実施例のリニアスライダであれば簡単に対処するこ
とができる。
【００２０】また、この実施例のスリットダイコータを
用いてガラス基板４に枚葉塗工を行う場合には、生産性
を高めるために、テーブル３ｃの移動速度を高めなけれ
ばならない。この点に関しても、この実施例ではかなり
高い移動速度（１０ｍ／分以上）を達成することがで
き、滑り軸受を採用した場合の１〜２ｍ／分と比較して
移動速度を著しく高めることができる。また、上記移動
速度は、リニアモーションガイドを採用した場合の移動
速度よりも多少は遅いのであるが、リニアモーションガ
イドを採用した場合には到底達成し得なかった精度を達
成できるのであるから、多少の移動速度の遅さは問題に
はならない。
用いてガラス基板４に枚葉塗工を行う場合には、生産性
を高めるために、テーブル３ｃの移動速度を高めなけれ
ばならない。この点に関しても、この実施例ではかなり
高い移動速度（１０ｍ／分以上）を達成することがで
き、滑り軸受を採用した場合の１〜２ｍ／分と比較して
移動速度を著しく高めることができる。また、上記移動
速度は、リニアモーションガイドを採用した場合の移動
速度よりも多少は遅いのであるが、リニアモーションガ
イドを採用した場合には到底達成し得なかった精度を達
成できるのであるから、多少の移動速度の遅さは問題に
はならない。
【００２１】さらに、ガラス基板４に枚葉塗工を行う場
合において、塗膜組成物の供給を受けながらガラス基板
４を移動させる場合の移動速度よりも、復動時の移動速
度を高めることが一般的であり、このような場合には、
コロ軸受３ｂに滑りが発生して、コロ軸受３ｂが一方の
側に移動してしまうことになる。このような場合には、
テーブル３ｃを多少持ち上げた状態で手動操作などによ
りコロ軸受３ｂを復元させればよい。また、テーブル３
ｃを持ち上げた場合に、連結部３ｅ２が弾性変形するこ
とにより、ボールネジ３ｇ、ボールネジナット３ｅに必
要以上の力が加えられてしまうことを未然に防止するこ
とができ、ひいてはボールネジ機構の精度低下を未然に
防止することができる。
合において、塗膜組成物の供給を受けながらガラス基板
４を移動させる場合の移動速度よりも、復動時の移動速
度を高めることが一般的であり、このような場合には、
コロ軸受３ｂに滑りが発生して、コロ軸受３ｂが一方の
側に移動してしまうことになる。このような場合には、
テーブル３ｃを多少持ち上げた状態で手動操作などによ
りコロ軸受３ｂを復元させればよい。また、テーブル３
ｃを持ち上げた場合に、連結部３ｅ２が弾性変形するこ
とにより、ボールネジ３ｇ、ボールネジナット３ｅに必
要以上の力が加えられてしまうことを未然に防止するこ
とができ、ひいてはボールネジ機構の精度低下を未然に
防止することができる。
【００２２】なお、Ｖ字溝３ａに代えて矩形溝を採用す
るとともに、脚部３ｄをも矩形状とし、リテーナ３ｂ１
が平板状のコロ軸受３ｂを採用した場合にも、真直度が
多少低下するが、同様の作用を達成することができる。
また、連結部３ｅ２を採用する代わりに、テーブル３ｃ
との連結部にゴム板などの弾性板を介在させるようにし
ても同様の作用を達成することができる。
るとともに、脚部３ｄをも矩形状とし、リテーナ３ｂ１
が平板状のコロ軸受３ｂを採用した場合にも、真直度が
多少低下するが、同様の作用を達成することができる。
また、連結部３ｅ２を採用する代わりに、テーブル３ｃ
との連結部にゴム板などの弾性板を介在させるようにし
ても同様の作用を達成することができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の発明は、かなり高い移動速度
を確保することができるとともに、リニアモーションガ
イドを使用する場合と比較して高い真直度を達成するこ
とができ、ひいては枚葉塗工速度を余り低下させること
なく高精度の枚葉塗工を達成することができるという特
有の効果を奏する。
を確保することができるとともに、リニアモーションガ
イドを使用する場合と比較して高い真直度を達成するこ
とができ、ひいては枚葉塗工速度を余り低下させること
なく高精度の枚葉塗工を達成することができるという特
有の効果を奏する。
【００２４】請求項２の発明は、ボールネジの回転に伴
なう振れやボールネジ軸の軸受部の精度低下による振動
などを該弾性部材により吸収させることができ、ボール
ネジの振れや振動などの外乱がテーブルに伝達されるこ
となく、高い真直度を保ちながらテーブルをスライドさ
せることができるという特有の効果を奏する。請求項３
の発明は、移動方向と直角方向の振れが規制され、テー
ブルのヨーイングを大幅に低減でき、真直度を一層高め
ることができるという特有の効果を奏する。
なう振れやボールネジ軸の軸受部の精度低下による振動
などを該弾性部材により吸収させることができ、ボール
ネジの振れや振動などの外乱がテーブルに伝達されるこ
となく、高い真直度を保ちながらテーブルをスライドさ
せることができるという特有の効果を奏する。請求項３
の発明は、移動方向と直角方向の振れが規制され、テー
ブルのヨーイングを大幅に低減でき、真直度を一層高め
ることができるという特有の効果を奏する。
【００２５】請求項４の発明は、ある程度の移動速度を
確保することができるとともに、コロ軸受を用いる場合
の真直度以上の真直度を達成することができ、ひいては
枚葉塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗
工を達成することができるという特有の効果を奏する。
請求項５の発明は、ボールネジの回転に伴なう振れやボ
ールネジ軸の軸受部の精度低下による振動などを該弾性
部材により吸収させることができ、ボールネジの振れや
振動などの外乱がテーブルに伝達されることなく、高い
真直度を保ちながらテーブルをスライドさせることがで
きるという特有の効果を奏する。
確保することができるとともに、コロ軸受を用いる場合
の真直度以上の真直度を達成することができ、ひいては
枚葉塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗
工を達成することができるという特有の効果を奏する。
請求項５の発明は、ボールネジの回転に伴なう振れやボ
ールネジ軸の軸受部の精度低下による振動などを該弾性
部材により吸収させることができ、ボールネジの振れや
振動などの外乱がテーブルに伝達されることなく、高い
真直度を保ちながらテーブルをスライドさせることがで
きるという特有の効果を奏する。
【００２６】以上のように、請求項１〜５の発明は、基
板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することができると
ともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度に制御
することができ、ひいては高品質のカラーフィルタなど
を得ることができるという特有の効果を奏する。
板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することができると
ともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度に制御
することができ、ひいては高品質のカラーフィルタなど
を得ることができるという特有の効果を奏する。
【図１】この発明の一実施例のリニアスライダが適用さ
れるスリットダイコータの構成を示す斜視図である。
れるスリットダイコータの構成を示す斜視図である。
【図２】同上要部拡大縦断面図である。
１ 基台 ３ｂ コロ軸受 ３ｃ テーブル ３ｅ ボールネジナット ３ｅ２ 連結部 ３ｇ ボールネジ
Claims (5)
- 【請求項１】 スリットダイ（２）より塗液を基板
（４）上に塗布する枚葉塗工装置において、基台（１）
上にテーブル（３ｃ）がコロ軸受（３ｂ）を介して所定
方向に往復動自在に支承されているとともに、ボールネ
ジ機構（３ｅ）（３ｇ）を介して駆動力が伝達されてな
るリニアスライダを用いたことを特徴とする枚葉塗工装
置。 - 【請求項２】 上記リニアスライダにおいて、テーブル
（３ｃ）とボールネジ機構（３ｅ）との間に弾性部材
（３ｅ２）が設けられている請求項１に記載の枚葉塗工
装置。 - 【請求項３】 上記リニアスライダにおいて、コロ軸受
（３ｂ）がＶ字状に配置されている請求項１に記載の枚
葉塗工装置。 - 【請求項４】 スリットダイ（２）より塗液を基板
（４）上に塗布する枚葉塗工装置において、基台（１）
上にテーブル（３ｃ）がＶ字状の滑り軸受を介して所定
方向に往復動自在に支承されているとともに、ボールネ
ジ機構（３ｅ）（３ｇ）を介して駆動力が伝達されてな
るリニアスライダを用いたことを特徴とする枚葉塗工装
置。 - 【請求項５】 上記リニアスライダにおいて、テーブル
（３ｃ）とボールネジ機構（３ｅ）との間に弾性部材
（３ｅ２）が設けられている請求項４に記載の枚葉塗工
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7059187A JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7059187A JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08252512A true JPH08252512A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13106165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7059187A Pending JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08252512A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100600859B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-07-14 | (주)브레인유니온시스템 | 액상형 물질 도포기의 이송 장치 |
| CN111097665A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-05-05 | 西安微城信息科技有限公司 | 一种电子通讯产品生产用绝缘封装装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03270844A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Nippon Seiko Kk | スライドテーブル機構 |
| JPH04304936A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JPH06339655A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP7059187A patent/JPH08252512A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03270844A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Nippon Seiko Kk | スライドテーブル機構 |
| JPH04304936A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JPH06339655A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100600859B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-07-14 | (주)브레인유니온시스템 | 액상형 물질 도포기의 이송 장치 |
| CN111097665A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-05-05 | 西安微城信息科技有限公司 | 一种电子通讯产品生产用绝缘封装装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60140722A (ja) | 精密移動装置 | |
| WO2007055339A1 (ja) | 三次元位置決めテーブル | |
| JPH08252512A (ja) | 枚葉塗工装置 | |
| JPH02139146A (ja) | 一段６自由度位置決めテーブル | |
| US4495871A (en) | Table sliding apparatus | |
| JPS62152632A (ja) | テ−ブル装置 | |
| JP2002200450A (ja) | 非接触移動式テーブルコータ | |
| JP5919733B2 (ja) | 移動テーブル装置、露光装置、及びエアパッド | |
| JPH1026203A (ja) | 摩擦駆動機構 | |
| JP3656302B2 (ja) | リニアスライダ | |
| JPH09295822A (ja) | ガラス切断装置 | |
| JP2001212726A (ja) | ロータリインデックス | |
| CN111235550B (zh) | 基座调节装置及腔室 | |
| JP2001260009A (ja) | 球体の研磨装置 | |
| JP2004028680A (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JPS5823589Y2 (ja) | Ｘ↓−ｙ微動調整装置 | |
| JPS6060366A (ja) | スライドテ−ブル装置 | |
| JPH11195246A (ja) | スライドテーブル装置 | |
| JPS61293745A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JP2003053249A (ja) | 枚葉式塗工装置 | |
| JPH09211337A (ja) | 載物台 | |
| JPS62150191A (ja) | テ−ブル装置 | |
| JPH0316009A (ja) | 両面記録再生装置 | |
| JPH11194187A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2830298B2 (ja) | ディスクドライブ装置 |