JPS60140722A - 精密移動装置 - Google Patents
精密移動装置Info
- Publication number
- JPS60140722A JPS60140722A JP58250550A JP25055083A JPS60140722A JP S60140722 A JPS60140722 A JP S60140722A JP 58250550 A JP58250550 A JP 58250550A JP 25055083 A JP25055083 A JP 25055083A JP S60140722 A JPS60140722 A JP S60140722A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- brush
- sliding plate
- sliding
- pressure
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/262—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to adjust the distance between the relatively slidable members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/28—Means for securing sliding members in any desired position
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- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B3/00—Details of movements not otherwise provided for
- G12B3/08—Damping of movements, e.g. to promote rapid non-oscillatory movement to a final reading
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体焼付露光装置、精密測定装置等に用い
られる流体静圧又は磁気により、スライダ又はロータを
摩擦なく案内する機構を有する精密位置割出し装置で、
スライダ又はロータの位置決め時におけるスライダ又は
ロータの振動を減衰させる機能を改善した装置に関する
ものである。
られる流体静圧又は磁気により、スライダ又はロータを
摩擦なく案内する機構を有する精密位置割出し装置で、
スライダ又はロータの位置決め時におけるスライダ又は
ロータの振動を減衰させる機能を改善した装置に関する
ものである。
従来から、この種のスライダ案内機構には案内精度、耐
久性、メンテナンス性、等の優位性から空気又は油等の
流体静圧案内機構を用いることが多いが、この様な案内
機構を用いて定寸送りを行なう場合に、スライダ又はロ
ータを所定の位置に停止させる時、スライダでは進行方
向にロータでは回転方向に振動して、この振動の減衰が
充分に得られず、スライダ又はロータを所定の位置に停
止させるのに時間がかかり過ぎる難点があった。
久性、メンテナンス性、等の優位性から空気又は油等の
流体静圧案内機構を用いることが多いが、この様な案内
機構を用いて定寸送りを行なう場合に、スライダ又はロ
ータを所定の位置に停止させる時、スライダでは進行方
向にロータでは回転方向に振動して、この振動の減衰が
充分に得られず、スライダ又はロータを所定の位置に停
止させるのに時間がかかり過ぎる難点があった。
本発明は、前記欠点を大幅に改良すると同時に、減衰抵
抗を変化させ、又制御することにより、移動中は摺動抵
抗を減少させて駆動力を低減させることを可能にするの
みならず、停止位置の精度を向上することを可能にする
ものである。
抗を変化させ、又制御することにより、移動中は摺動抵
抗を減少させて駆動力を低減させることを可能にするの
みならず、停止位置の精度を向上することを可能にする
ものである。
今、本発明の実施例を第１〜第８図及び第４図について
説明する。
説明する。
第１図（ａ）（ｂ）は、本発明を直線位置割出し装置に
用いた場合の実施例であって、ａは直進型の流体静圧案
内機構に支持されているスライダであり、第４１図に示
すように該スライダａは、ステタｈに立設され、紙面に
垂直な方向へ延びた二本のがイドレール１．１にスライ
ダａの垂下片ａ／ 、 ａ／を係止させ、ガイドレール
１．１とスライダａ及び垂下片ａ′との間に流体パラＦ
ｎ ＋ ｎ ＋ ｎ’ ＋ ｎ’を形設し、流体静止
案内機構を形成している。ステータには、流体静止案内
機構とガイド１．１を介してスライダａを支持している
。ｂは摺動板であって紙面に垂直な方向に延びておりス
ライダａの下面中央に垂設固着しである。ｃ、ｃはスラ
イダａと摺動板すを連結し、横方向の力を吸収する板バ
ネであり、摺動板すの横断面形状はＴ型であって、摺動
板すの突出片ｂ′の左側には、空気又は油、又は空気と
浦のオイルのオイルミスト等の圧力流体を噴出する１個
以上の孔を有するブラシｄ（例えば摺動板の５分の１程
度の長さを持つ）があり、ブラシｄは摺動板すの突出片
すの左側に接している。右側には紙面に垂直な方向に離
間したブラケットｆがあり、ブラケツ）ｆの内面には夫
々軸受及び軸を介してローラｅが取付けてあり、このロ
ーラｅは前記した摺動板すの突片ｌ〕の右側（ａ図）に
接している。このプラケ、ツ）ｆはローラｅをなめらか
に回転させるようにしである。ブラケットｆの外面右側
には加圧コイルバネｇが取付けである。加圧バネｇは摺
動板すの突出片ｂ′をブラシｄに接触し押圧している。
用いた場合の実施例であって、ａは直進型の流体静圧案
内機構に支持されているスライダであり、第４１図に示
すように該スライダａは、ステタｈに立設され、紙面に
垂直な方向へ延びた二本のがイドレール１．１にスライ
ダａの垂下片ａ／ 、 ａ／を係止させ、ガイドレール
１．１とスライダａ及び垂下片ａ′との間に流体パラＦ
ｎ ＋ ｎ ＋ ｎ’ ＋ ｎ’を形設し、流体静止
案内機構を形成している。ステータには、流体静止案内
機構とガイド１．１を介してスライダａを支持している
。ｂは摺動板であって紙面に垂直な方向に延びておりス
ライダａの下面中央に垂設固着しである。ｃ、ｃはスラ
イダａと摺動板すを連結し、横方向の力を吸収する板バ
ネであり、摺動板すの横断面形状はＴ型であって、摺動
板すの突出片ｂ′の左側には、空気又は油、又は空気と
浦のオイルのオイルミスト等の圧力流体を噴出する１個
以上の孔を有するブラシｄ（例えば摺動板の５分の１程
度の長さを持つ）があり、ブラシｄは摺動板すの突出片
すの左側に接している。右側には紙面に垂直な方向に離
間したブラケットｆがあり、ブラケツ）ｆの内面には夫
々軸受及び軸を介してローラｅが取付けてあり、このロ
ーラｅは前記した摺動板すの突片ｌ〕の右側（ａ図）に
接している。このプラケ、ツ）ｆはローラｅをなめらか
に回転させるようにしである。ブラケットｆの外面右側
には加圧コイルバネｇが取付けである。加圧バネｇは摺
動板すの突出片ｂ′をブラシｄに接触し押圧している。
■はハウジングで、ブラシｄ、摺動板すの突出片ｂ／、
ローラｅ、ブラケットｆ、加圧バネｇがハウジングｉ内
に収容されている。このハウジング夏は、スライダａの
移動方向とブラシｄの当り面の平行度を決定する為の作
用をする。またこのハウジングｉはステータにの′上に
固定しである。Ｊはブラシｄに圧力流体（水又は油又は
空気）を供給する為の流体圧力調整回路を模式的に示す
。ブラシｄの材料は、固体摺動材料（テフロン系材料、
黒鉛系材料等）、軸受用金属材料（砲金、リン青銅等）
アルミナ系セラミック材料等が使用可能であり、又、こ
れ等の材料の中で、多孔性を有する材料を使用する場合
には、前記した圧力流体を噴出する孔は不要となる。ｈ
はハウジングｉの右外側に取付けたバネｇの調整ネジで
ある。
ローラｅ、ブラケットｆ、加圧バネｇがハウジングｉ内
に収容されている。このハウジング夏は、スライダａの
移動方向とブラシｄの当り面の平行度を決定する為の作
用をする。またこのハウジングｉはステータにの′上に
固定しである。Ｊはブラシｄに圧力流体（水又は油又は
空気）を供給する為の流体圧力調整回路を模式的に示す
。ブラシｄの材料は、固体摺動材料（テフロン系材料、
黒鉛系材料等）、軸受用金属材料（砲金、リン青銅等）
アルミナ系セラミック材料等が使用可能であり、又、こ
れ等の材料の中で、多孔性を有する材料を使用する場合
には、前記した圧力流体を噴出する孔は不要となる。ｈ
はハウジングｉの右外側に取付けたバネｇの調整ネジで
ある。
上記の構成において、スライダａが紙面貫通方向に移動
すると、板バネＣ，Ｃに支持された摺動板１〕はスライ
ダａの進行方向にスライダａの直進性に関与することな
く移動する。しかし停止操作時は、ローラｅによって摺
動板すは、減圧状態のブラシｄに押圧されるから、スラ
イダａは、その進行方向に対して摺動抵抗を受ける。摺
動抵抗は、スライダａの位置決め停止を行う時点におい
て進行方向の力に対する減衰力として作用する。
すると、板バネＣ，Ｃに支持された摺動板１〕はスライ
ダａの進行方向にスライダａの直進性に関与することな
く移動する。しかし停止操作時は、ローラｅによって摺
動板すは、減圧状態のブラシｄに押圧されるから、スラ
イダａは、その進行方向に対して摺動抵抗を受ける。摺
動抵抗は、スライダａの位置決め停止を行う時点におい
て進行方向の力に対する減衰力として作用する。
すなわち前記したブラシｄにおいて、前記した摺動板す
と接触する面の孔から、流体圧力調整回路ｊを経て来た
圧力流体を噴出させるがこの圧力流体の噴出する圧力が
大きいときには、ブラシｄは摺動板すから大きく離れる
し、この圧力が小さいときには、ブラシｄは摺動板すの
突出片ｂ′に殆ど接している。すなわち、圧力流体の噴
出する圧力に応じて、摺動板すはブラシとの接触面圧が
変化し、従ってスライダａの摺動抵抗を変化させること
が可能となる。つまり、スライダａの走行中はブラシｄ
に加える流体圧を高め、停止位置に近づいたら流体圧を
低下させることで、停止後の振動を引き起すことなく正
確な位置決めができる。
と接触する面の孔から、流体圧力調整回路ｊを経て来た
圧力流体を噴出させるがこの圧力流体の噴出する圧力が
大きいときには、ブラシｄは摺動板すから大きく離れる
し、この圧力が小さいときには、ブラシｄは摺動板すの
突出片ｂ′に殆ど接している。すなわち、圧力流体の噴
出する圧力に応じて、摺動板すはブラシとの接触面圧が
変化し、従ってスライダａの摺動抵抗を変化させること
が可能となる。つまり、スライダａの走行中はブラシｄ
に加える流体圧を高め、停止位置に近づいたら流体圧を
低下させることで、停止後の振動を引き起すことなく正
確な位置決めができる。
第２図は、第２の実施例であり、前記実施例を精密回転
型角度割出し装置に用いた場合の例である。ａ゛′は回
転型の流体静圧案内機構に支持されているロータであり
、−ｂ、ｂは摺動板であって、ロータａ“の両性側に板
バネｃ、ｃを介して固着されており、摺動板す、ｂの下
面にはブラシｄ、ｄが接している。このブラシｄ、ｄに
は、それぞれ摺動板す、ｂと接触する面に水、油、空気
等の圧力流体を噴出する１個以上の孔が設けである。摺
動板す、ｂの上面にはローラｅが設けである。このロー
ラｅには、ローラｅが摺動板す、ｂの上面をなめらかに
回転するように、ブラケットｆが回転軸と軸受を介して
設けである。ｇはブラヶッ）ｆの上面に取付けた加圧バ
ネで摺動板すをブラシｄに押圧している。１はハウジン
グであって、ブランｄｌ摺動板１）、加圧バネｇ、が収
容されている。
型角度割出し装置に用いた場合の例である。ａ゛′は回
転型の流体静圧案内機構に支持されているロータであり
、−ｂ、ｂは摺動板であって、ロータａ“の両性側に板
バネｃ、ｃを介して固着されており、摺動板す、ｂの下
面にはブラシｄ、ｄが接している。このブラシｄ、ｄに
は、それぞれ摺動板す、ｂと接触する面に水、油、空気
等の圧力流体を噴出する１個以上の孔が設けである。摺
動板す、ｂの上面にはローラｅが設けである。このロー
ラｅには、ローラｅが摺動板す、ｂの上面をなめらかに
回転するように、ブラケットｆが回転軸と軸受を介して
設けである。ｇはブラヶッ）ｆの上面に取付けた加圧バ
ネで摺動板すをブラシｄに押圧している。１はハウジン
グであって、ブランｄｌ摺動板１）、加圧バネｇ、が収
容されている。
そしてハウジングｉは、ロータａ″の回転面とブラシ（
１の当接面との平行度を決定するものである。
１の当接面との平行度を決定するものである。
１］は摺動板１）をブラシｄに押し当てる力を調整する
ための調整ネジであって、ハウジング１の左右外側面に
ある。Ｊはブラシｄに空気、水、油等の圧力流体を供給
するための流体圧力調整回路である。以」−の機能は第
１図の実施例におけるスライダａの場合と同じである。
ための調整ネジであって、ハウジング１の左右外側面に
ある。Ｊはブラシｄに空気、水、油等の圧力流体を供給
するための流体圧力調整回路である。以」−の機能は第
１図の実施例におけるスライダａの場合と同じである。
すなわち、スライダａの摺動運動をロータａ″の回転運
動に置き換えたものに過ぎない。すなわち、摺動板す、
ｂ；ブラシｄ 、 ｄ ；ｃ＋−ラｅ、ｅ；ブラケット
ｆ、ｆ；加圧バネｇ１ｇ；ハウジングｉ、ｉ；流体圧力
調整回路ｊ、調整ネジｈ、１１の作動は第１図における
場合と同一である。
動に置き換えたものに過ぎない。すなわち、摺動板す、
ｂ；ブラシｄ 、 ｄ ；ｃ＋−ラｅ、ｅ；ブラケット
ｆ、ｆ；加圧バネｇ１ｇ；ハウジングｉ、ｉ；流体圧力
調整回路ｊ、調整ネジｈ、１１の作動は第１図における
場合と同一である。
第３図は、第１図におげろローラｅ、ブラケットｆの代
りにブラシｄ１を用いた他の実施例である。
りにブラシｄ１を用いた他の実施例である。
第８図においてｄは摺動板すの下方突出片であって、こ
の下方突出片すの左右両側には、ブラシｄ。
の下方突出片すの左右両側には、ブラシｄ。
ｄ、が取伺けである。該ブラシｄ、ｄ、には第１図の実
施例と同様に圧力流体を噴出する多数の孔が形設されて
いる。そして、この多数の孔は流体圧力調整回路Ｊに連
結して、ブラシｄ、４１に対して空気を噴射する。但し
、ブラシｄ 、 ｄ、の側斜が多孔性を有する材料であ
る場合には、前記した圧力流体を噴出する孔を別設する
のは不要となる。右側のブラシｄ１の右側面には、加圧
バネｇが取付けである。又、１はハウジングであって、
摺動板１）の突出片１）′、ブラシｄ 、 ｄ、及び加
圧バネｇを収容している。１１は前記１〜た加圧バネｇ
の圧力を調整する調整ネジであり、ハウジングｉの右外
側にある。
施例と同様に圧力流体を噴出する多数の孔が形設されて
いる。そして、この多数の孔は流体圧力調整回路Ｊに連
結して、ブラシｄ、４１に対して空気を噴射する。但し
、ブラシｄ 、 ｄ、の側斜が多孔性を有する材料であ
る場合には、前記した圧力流体を噴出する孔を別設する
のは不要となる。右側のブラシｄ１の右側面には、加圧
バネｇが取付けである。又、１はハウジングであって、
摺動板１）の突出片１）′、ブラシｄ 、 ｄ、及び加
圧バネｇを収容している。１１は前記１〜た加圧バネｇ
の圧力を調整する調整ネジであり、ハウジングｉの右外
側にある。
今、圧力流体を流体圧力調整回路ｉを通して、ブラシｄ
、 ｄ、の多数の孔から噴出させると、噴出圧力の大
きい時には、ブラシｄ 、 ｄ、は摺動板すの突出片ｂ
′から離れるので、摺動抵抗が著しく小さくなるし、又
噴出圧力が小さい時には、ブラシｄ。
、 ｄ、の多数の孔から噴出させると、噴出圧力の大
きい時には、ブラシｄ 、 ｄ、は摺動板すの突出片ｂ
′から離れるので、摺動抵抗が著しく小さくなるし、又
噴出圧力が小さい時には、ブラシｄ。
ｄｌは摺動板すの突出片すに接触していて摺動抵抗が大
きくなるので、摺動抵抗を制御することができる。した
がって、スライダａが移動している峙には、摺動抵抗を
小さくし、スライダａが所定の位置に停止する場合には
摺動抵抗を大きくすればよい。尚、以上の例ではブラシ
ｄをステータ側に設け、摺動板をスライダ側に設けたが
、逆の配置でもよい。
きくなるので、摺動抵抗を制御することができる。した
がって、スライダａが移動している峙には、摺動抵抗を
小さくし、スライダａが所定の位置に停止する場合には
摺動抵抗を大きくすればよい。尚、以上の例ではブラシ
ｄをステータ側に設け、摺動板をスライダ側に設けたが
、逆の配置でもよい。
以上説明した様に、スライダ又はロータに板バネを介し
て摺動板を取り付け、一方ステータに摺動板との接触表
面から空気又は浦又はオイルミスト等の圧力流体を噴出
する一個以上の孔を有するブラシを配置したことにより
、スライダ又はロータの直進精度又は回転精度に影響を
与えることなく、スライダ又はロータの移動方向におけ
る振動の減衰特性を附与することが可能となり、しかも
ブラシの孔に供給する流体の圧力を選定又は調整ずろこ
とによって、移動方向の振動における減衰特性を変化さ
せることにより、駆動力を低減させること、及び停止位
置精度を向上させることを可能にするものである。
て摺動板を取り付け、一方ステータに摺動板との接触表
面から空気又は浦又はオイルミスト等の圧力流体を噴出
する一個以上の孔を有するブラシを配置したことにより
、スライダ又はロータの直進精度又は回転精度に影響を
与えることなく、スライダ又はロータの移動方向におけ
る振動の減衰特性を附与することが可能となり、しかも
ブラシの孔に供給する流体の圧力を選定又は調整ずろこ
とによって、移動方向の振動における減衰特性を変化さ
せることにより、駆動力を低減させること、及び停止位
置精度を向上させることを可能にするものである。
第１図（ａ）は、本発明の直線位置割出装置に用いた場
合の正面図、第１図（ｂ）は同側面図、第２図は本発明
の回転型角度割出し装置に用いた場合の正面図、第３図
は、本発明の直線位置割出装置に用いた場合の他の実施
例であり、第４図は、第１図のものにおいて流体静圧案
内機構をも含む装置全体の正面図である。 ａ；スライダ、ａ′；垂下片＊ ａ” ：回転体、Ｉ〕
；摺動板、１イ；摺動板の突出片、Ｃ；板バネ、ｄ。 ｄＩ＋ブラシ、ｅ；ローラー、ｆ；ブラケット。 ｇ；加圧バネ、ｈ；調整ネジ、１；ハウジング。 に流体圧力調整回路、に；ステータ。 （ａ） （ｂ） 第 １ 図
合の正面図、第１図（ｂ）は同側面図、第２図は本発明
の回転型角度割出し装置に用いた場合の正面図、第３図
は、本発明の直線位置割出装置に用いた場合の他の実施
例であり、第４図は、第１図のものにおいて流体静圧案
内機構をも含む装置全体の正面図である。 ａ；スライダ、ａ′；垂下片＊ ａ” ：回転体、Ｉ〕
；摺動板、１イ；摺動板の突出片、Ｃ；板バネ、ｄ。 ｄＩ＋ブラシ、ｅ；ローラー、ｆ；ブラケット。 ｇ；加圧バネ、ｈ；調整ネジ、１；ハウジング。 に流体圧力調整回路、に；ステータ。 （ａ） （ｂ） 第 １ 図
Claims (3)
- （１） 固定部材に対して移動部材を支持し案内する案
内機構とこれとは別体であって、移動部材と固定部材を
連係し、摺動抵抗を発生する摺動抵抗体を具備すること
を特徴とする移動部材の走行を制御するための精密移動
装置。 - （２） 前記摺動抵抗体は、摺動板と摺動板に対応する
接触表面から流体を噴出する１個以上の穴を有するブラ
シから成り、該ブラシは摺動板と接触を保つ位置に配置
したことを特徴とする第１項記載の精密移動装置。 - （３） 前記摺動板を移動部材へ板バネを介して取付け
たことを特徴とする第１項記載の精密移動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58250550A JPS60140722A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 精密移動装置 |
| US06/681,590 US4615515A (en) | 1983-12-27 | 1984-12-14 | Precise movement device |
| DE19843446967 DE3446967A1 (de) | 1983-12-27 | 1984-12-21 | Praezisionsbewegungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58250550A JPS60140722A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 精密移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140722A true JPS60140722A (ja) | 1985-07-25 |
| JPH0230000B2 JPH0230000B2 (ja) | 1990-07-03 |
Family
ID=17209578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58250550A Granted JPS60140722A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 精密移動装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4615515A (ja) |
| JP (1) | JPS60140722A (ja) |
| DE (1) | DE3446967A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200283A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | 株式会社東芝 | 非接触式送りテ−ブル |
| JPS63154989A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 移動ステ−ジの直線ガイド機構 |
| JPS63172988A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-16 | キヤノン株式会社 | 移動機構 |
| US5040431A (en) * | 1988-01-22 | 1991-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Movement guiding mechanism |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE464534B (sv) * | 1987-11-11 | 1991-05-06 | Bo Granbom | Bromsanordning vid en anordning foer linjaer roerelse |
| US5029485A (en) * | 1989-10-10 | 1991-07-09 | Southern California Edison | Apparatus and method for remotely sampling fluid |
| US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
| US6989647B1 (en) | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
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