JPS5887442A - 摺動ミクロト−ム - Google Patents

摺動ミクロト−ム

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JPS5887442A
JPS5887442A JP57193576A JP19357682A JPS5887442A JP S5887442 A JPS5887442 A JP S5887442A JP 57193576 A JP57193576 A JP 57193576A JP 19357682 A JP19357682 A JP 19357682A JP S5887442 A JPS5887442 A JP S5887442A
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air bearing
sliding
magnet
microtome
sliding body
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JP57193576A
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ヴインフリ−ト・クラフト
ゲルハルト・パイフア−
アルツ−ル・ライヒエル
クルト・リヒタ−
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Ernst Leitz GmbH
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    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
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    • F16C32/067Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は基礎台上に位置調節可能に固着されている、調
節可能な刃物のための刃物保持体並びに、切断運動を実
施するため基礎台に対して移動可能な如く案内レール上
に支承され、対象物保持体を担持している摺動体を有す
る摺動ミクロトームに関する。
上記した種類の摺動ミクロトームはすでに公知であり、
それらのミクロトームでは、摺動体はそれの下側にフラ
ンジを所有し、このフランジを用いて基礎又は基礎台に
設けられた滑動レール上を導かれている。摺動体を導く
方法・が切片の品質にとって重要な意味を持っているか
ら、この様な滑動支承体の製造は高い精度を要求される
。しかし摺動体を動かすために加えるべき力は場合によ
っては著しく犬であり、そのことは摺動体の運動速度を
不均一にし、従って品質の低下した切片が生ずること、
になる。また摩滅する部分の保守並びに滑動支承体を潤
滑する費用は比較的に太きい。この際潤滑油に含まれて
いる塵埃粒子で案内レールりおよび付着物質の混合物に
より汚されることと同様に阻止されるべきである。
西ドイツ国特許公開第1925364号公報により摺動
体がボールブツシュを用いて丸い棒に案内されているミ
クロトームが公知である。この場合絶えず保守する必要
はない。何故ならばこの案内装置は恒久的に潤滑されて
いるからである。案内装置は図示さ孔てない態様で気密
に形成されており、従って高価なものになっている。摺
動体を摺動させる力はこの公知のミクロトームでは実際
に僅かなものである。何故ならば滑り摩擦の代りに転が
り摩擦が利用されているからである。しかし摺動体を停
止させるためには比較的大きな力が必要である。
本発明の目的は案内レール上の任意の位置においても摺
動体を動かし又は停止させるための力が最小であり、案
内レールにはあらゆる潤滑剤を供給する必要がなく、そ
れにもかかわらず摺動体は静止している、即ちミクロト
ームが作動していない時、動かない様にすることができ
る、頭部に示した種類のミクロトームを作り出すことに
ある。
上記の目的は本発明により次の様にして達成される。即
ち摺動体と基礎台との間に空気支承要素を用いて支承空
、隙が形成可能になっておりそして案内レールに沿って
磁石が配置さ゛れていることにより達成される。空気支
承により非常に僅かな摩擦が発生するのみであり、その
際静止状態から運動状態に移行する場合でも、空気の僅
かな流動的粘性のため、高い一起動摩擦が発生しない。
摺動体を動かすための力は実際には該摺動体の慣性質量
モーメントに打ち克てばよい。他方摺動体は前進させる
力を中断するだけで任意の位置に保持されることが可能
である。何故ならば磁石の力は成程度の制動力の作用を
持ち、そして空気支承要素力、ら流出する空気の圧力と
は反対の作用を行うからである。空気の供給が中断され
ると摺動体の移動はもはや不可能になる。・何故ならば
摺動子は磁石によ妙比較的太なる力で案内レール上に引
き付けられるからである。本発明による配置では潤滑剤
にもはや必要でなくそして切片の残り並びに塵埃は流出
する空気によって吹き飛ばされる。
生産技術的に%に簡単な解決は、本発明の別の形態にお
いて、空気支承要素も空気支承要素の間に設けられてい
る磁石も摺動体に配置されている時に達成される。例え
ば電磁石が使用される場合のように多くの場合空気支承
要素も空気を支承要素の間に設けられている磁石も、基
礎台に配置するか又は空気支承要素および空気支承要素
の間に設けられている磁石を摺動体、又は基礎台に配置
するのが有利である。更に、空気支承要素を摺動体に振
子の如く懸架しそして位置調節可能な如く組付けるのが
合目的であることが証明される。この様にして空気支承
要素が何時も案内レールの表面に対して最良の適合状態
にあることが達成されそして空気支承要素がすべて一つ
の平面内に位置することが保証される。磁石としては円
筒形の永久磁石が用いられ、これらの磁石は軸方向に位
置調節可能に固着されているのが有利である。すでに前
述した通り、上記に従って装備されたミクロドームにお
いて電磁石が用いられることも可能であることは明らか
である。
添附図には本発明によるミクロトームの実施例が略図に
より示されている。
第1図に示されているミクロトームは、側面に取付けら
れた板状の担持体11を所有し且つこの相持体の上面に
位置調節可能な刃物保持体12が支承されている箱形の
基礎台10並びに摺動体13から成り立ち、この摺動体
の上側に、対象物保持体14とこの保持体に保持された
対、敷物15を担持している。断面に平行に基礎台lO
の長手方向に位置調節可能な刃物保持体1,2には、公
知の態様で切断角を調節可能な刃物16が固定されてい
る。切断過程を実施するため、摺動体13は、対象物保
持体14および対象物15と共に、位置固定した刃物1
6に向って移動させられ、その際切断過程が行われる毎
に、設定された望ましい切片の厚さに等しい量だけ対象
物が自動的に持ち上げられる。
基礎台10は箱形の溝17を有し、そのことにより水平
な面と垂直な面とが形成され、これらの面は研摩された
鋼鉄のレールを摺動体13の案内レール18.18’と
して備えている。はぼ丁字形担持体の形状に形成された
摺動体13ばそれの水平な梁の下側の四隅と垂直な長手
方向の面19の両端の所に箱形の凹部20.20’ e
所有している。この四部は第2図に明示されている。凹
部20.20’は空気支承要素21.21’を収容する
のに役立つ。
個々の空気支承要素21.21’の間には円筒形の永久
磁石22.22’が設けられ、これらの磁石は摺動体1
3を案内レール18.18’の方に引張っている。
第3図に示されている空気支承要素21は振子の如く懸
架されそして位置調節可能な如く固着されている。この
ため摺動体13のねし孔23の中に調節ねじ24が挿入
され、そのねじの空気支承要素に向けられた端は球欠形
状に形成されそしてスナップリング25により空気支承
要素21を保持し、該空気支承要素は矢印27.27’
の方向に動くことが可能になっている。空気支承要素2
1は円筒形の空気供給孔28を若干側所有しているが、
この図ではそのうちの2個のみが示されている。
これらの空気供給孔を通って圧縮空気が噴出口29を経
て案内レール18に押し付けられそして支承空隙30を
空気支承要素21と案内レール18との間に形成する。
この様にして摺動体13Vi、空気が供給されると基礎
台10°の案内レール18から持ち上げられ、その際摺
動体13の固有重量および永久磁石22.22’の吸引
力は空気の圧力と反対に作用する。同様にして摺動体1
3の長手方向の面19と垂直案内レール18’の間に支
承空隙30′が形成される。支承空隙の厚さは数μm程
度になっているのが好都合である。支承空隙の厚さは空
気の圧力と噴出口の寸法、磁石の吸引力等を適当に定め
ることによって公知の態様で調節される。摺動体13は
空気が供給されている時、使用者が最小の力を加えるこ
とによって、はとんど摩擦がなく容易に動かされそして
その力が加えられている限りその運動を続ける。何故な
らば力が加えられない場合には永久磁石22.22’の
吸引力が成程度の制動力として作用し、斯くして摺動体
は柔軟ではあるが直ちに案内レール18.18’の任意
の位置に抑止される。空気の供給を中断すれば摺動体1
3はそれの質量によって案内レール18上に固着される
ばかりでなく、付加的に磁石の力によっても固着される
。この場合摺動体13を移動させることはもはや不可能
である。
第4図に示されている円筒状の永久磁石22は位置決め
ねじ31に固定されており、該ねじは摺動体13に設け
られた貫通したねじ孔32の中で軸方向に位置調節可能
になっている。永久磁石22とそれに向き合っている基
礎台100案内レール18との間には間隙33が形成さ
れ、この間隙の大きさは、磁石の望ましい引張りモーメ
ントに応じて、磁石を軸方向に変位させることによって
調節可能になっている。この際永久磁石22の平らな底
面は空気支承要素21の底面よりも僅かに背後に位置し
、斯くして、空気の供給が中断され摺動体13が案内レ
ールに載せられた時、案内レール18の損傷が避けられ
る様になっている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるミクロトームの正面断面を示し、
この図では本発明にとって重要でない部材はすべて取り
除かれており、第2図は空気支承要素と磁石とを有する
摺動体の斜視略図を示し、第3図は個々の空気支承要素
とそれの固着装置の縦断面図、第4図は磁石とそれの組
み付は装置の縦断面図である。 10・・・基礎台    13・・・摺動体18.18
’・・・案内レール 21.21’・・・空気支承要素 22、22’・・・磁石 30.30’・・・支承空隙 2−、.1 第1図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基礎台上に位置調節可能に固着されている、調節
    可能な刃物のための刃物保持体並びに、切断運動を実施
    するため基礎台に対して移動可能な如く案内レール上に
    支承され、゛対象物保持体を担持している摺動体を有す
    る摺動ミクロ) −ムにおいて、摺動体(13)と基礎
    台(10)との間に空気支承要素(21,21’ )を
    用いて支承空隙(30゜30′)が形成可能になってお
    りそして案内レール(18,18’ )に沿って磁石(
    22,22’ )が配置されていることを特徴とする摺
    動ミクロトーム。
  2. (2)空気支承要素(21,21’ )も空気支承要素
    (21゜211)の間に設けられた磁石(22,22’
     )も摺動体(13)に配置されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の摺動ミクロトーム。
  3. (3)  空気支承要素(21,21’ )も空気“支
    承要素(21゜21’)の間に設けられた磁石(22,
    22’ )も基礎台(10)に配置されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の摺動ミクロトーム
  4. (4)空気支承要素(21,21’ )および空気支承
    要素[21,21’ )の間に設けられた磁石(22,
    22’ )は交互に摺動体(13)もしくは基礎台(1
    0)に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の摺動ミクロトーム。
  5. (5)空気支承要素(21)は振子の如く懸架されそし
    てその高さ位置が調節可能に固着されていることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項から第4項までのうちのい
    ずれか一つに記載の摺動ミクロトーム。
  6. (6)  磁石(22,22’ )としては円筒形の永
    久磁石が用いられることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項から第4項までのうちのいずれか一つに記載の摺動
    ミクロトーム。
  7. (7)磁石(22)は軸方向に位置調節可能な如く組付
    けられていることを特徴とする特許請求の範囲第1項か
    ら第6項までのうちのいずれか一つに記載の摺動ミクロ
    トーム。
JP57193576A 1981-11-06 1982-11-05 摺動ミクロト−ム Pending JPS5887442A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813144120 DE3144120A1 (de) 1981-11-06 1981-11-06 Schlittenmikrotom
DE31441203 1981-11-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5887442A true JPS5887442A (ja) 1983-05-25

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ID=6145786

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JP57193576A Pending JPS5887442A (ja) 1981-11-06 1982-11-05 摺動ミクロト−ム

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JP (1) JPS5887442A (ja)
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GB (1) GB2109125B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018529533A (ja) * 2015-09-02 2018-10-11 ヴィーランツ ユーピーエムティー 高精度工作機械用のチャック

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3327618C2 (de) * 1983-07-30 1985-06-27 Parke, Davis & Co., Morris Plains, N.J. Vorrichtung zum Einspannen eines Probenkörpers in einem Mikrotom
USRE33254E (en) * 1985-01-24 1990-07-10 Bridge type coordinate measuring machine
US4764815A (en) * 1985-06-24 1988-08-16 Powers Chemco Array scanning system with movable platen
US4704712A (en) * 1985-06-24 1987-11-03 Rca Corporation Low-friction slide apparatus for optical disc translation stage
US4719705A (en) * 1986-06-24 1988-01-19 The Perkin-Elmer Corporation Reticle transporter
US4792858A (en) * 1987-06-05 1988-12-20 Powers Chemco, Inc. Optical scanning system having a rotatable platen assembly and method for loading same
US5113733A (en) * 1989-05-02 1992-05-19 Link, Inc. Adjustable angular shearing device
US5160883A (en) * 1989-11-03 1992-11-03 John H. Blanz Company, Inc. Test station having vibrationally stabilized X, Y and Z movable integrated circuit receiving support
US5166606A (en) * 1989-11-03 1992-11-24 John H. Blanz Company, Inc. High efficiency cryogenic test station
US5077523A (en) * 1989-11-03 1991-12-31 John H. Blanz Company, Inc. Cryogenic probe station having movable chuck accomodating variable thickness probe cards
US5821981A (en) * 1996-07-02 1998-10-13 Gerber Systems Corporation Magnetically preloaded air bearing motion system for an imaging device
US5828501A (en) * 1996-07-02 1998-10-27 Barco Gerber Systems Apparatus and method for positioning a lens to expand an optical beam of an imaging system
US5841567A (en) * 1996-07-02 1998-11-24 Barco Gerber Systems Method and apparatus for imaging at a plurality of wavelengths
DE19630382C2 (de) * 1996-07-29 1999-08-12 Leica Microsystems Mikrotom zur Herstellung von Dünnschnitten
DE59708387D1 (de) 1996-07-29 2002-11-07 Leica Microsystems Scheiben-mikrotom
US5938187A (en) * 1997-04-18 1999-08-17 Gerber Systems Corporation Media feed apparatus for an imaging device
US5912458A (en) * 1997-04-18 1999-06-15 Gerber Systems Corporation Multiple beam scanning system for an imaging device
US6042101A (en) * 1997-06-03 2000-03-28 Gerber Systems Corporation Automated media transport device and method of using the same
US6202526B1 (en) * 1997-09-02 2001-03-20 U.S. Natural Resources Shape sawing machine
US6315449B1 (en) * 2000-03-23 2001-11-13 Lucent Technologies Inc. Compliant hydrostatic guidance of moving lathe carriage
US20030056628A1 (en) * 2001-09-27 2003-03-27 Eli Razon Coaxial spindle cutting saw
DE10311061A1 (de) * 2003-03-13 2004-09-30 Cell Center Cologne Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Gewebescheiben
US7146895B2 (en) * 2004-10-21 2006-12-12 Kong George Y Sliding blade microtome
US8632064B2 (en) * 2009-07-15 2014-01-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Positioning apparatus with lockable joints and method of use
US8635934B2 (en) 2009-09-15 2014-01-28 Jian-Qiang Kong Microtome
US20120224797A1 (en) * 2011-03-05 2012-09-06 Wei-Lin Chang Pre-stressed air bearing
US9017147B2 (en) * 2011-04-19 2015-04-28 Siemens Energy, Inc. Surface sample collection tool
US11353380B2 (en) * 2014-09-23 2022-06-07 Shabbir Bambot Apparatus for faster pathology

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8217320U1 (de) * 1982-12-30 R. Jung GmbH, 6907 Nußloch Mikrotom
US930686A (en) * 1907-12-28 1909-08-10 Bausch & Lomb Optical Co Microtome.
BE630212A (ja) * 1962-03-28
US3447840A (en) * 1966-07-15 1969-06-03 Bendix Corp Bearing means
SE373947B (ja) * 1973-10-19 1975-02-17 Palmstierna Mekaniska Verkstad
US4099800A (en) * 1977-05-26 1978-07-11 The Bendix Corporation Coordinate measuring machine having auxiliary air bearing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018529533A (ja) * 2015-09-02 2018-10-11 ヴィーランツ ユーピーエムティー 高精度工作機械用のチャック

Also Published As

Publication number Publication date
FR2516241A1 (fr) 1983-05-13
US4455910A (en) 1984-06-26
GB2109125A (en) 1983-05-25
DE3144120A1 (de) 1983-05-19
GB2109125B (en) 1985-05-09

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