JPH1170434A - 移動テーブル - Google Patents
移動テーブルInfo
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- JPH1170434A JPH1170434A JP9234810A JP23481097A JPH1170434A JP H1170434 A JPH1170434 A JP H1170434A JP 9234810 A JP9234810 A JP 9234810A JP 23481097 A JP23481097 A JP 23481097A JP H1170434 A JPH1170434 A JP H1170434A
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- Japan
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- movable
- movable plate
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- magnet
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q2220/00—Machine tool components
- B23Q2220/004—Rotary tables
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 テーブルの取り付け姿勢を問わず、貫通孔付
きや大寸法のステージに好適な移動テーブルを提供する
ことである。 【解決手段】 可動盤１１の下面にマグネット１４を、
固定盤１０の上面に磁性体１５を互いに対向させて、テ
ーブルの中心軸に関して軸対称に埋め込み、この両対向
面間に磁場を形成することにより可動盤１１を固定盤１
０に吸着し、可動盤１１を移動する際には、ノズル１６
から圧縮空気を、この両面間にテーブルの中心軸に関し
て軸対称に噴出して、可動盤１１を浮上させることによ
り、固定盤１０の２つの平行な側面とこれらに直交する
１つの側面に取り付けられ、その伸縮部２０先端が継手
２１を介して可動盤１１に連結された３つの直線駆動装
置１８で、可動盤１１をスムーズに直線移動や回動でき
るようにしたのである。
きや大寸法のステージに好適な移動テーブルを提供する
ことである。 【解決手段】 可動盤１１の下面にマグネット１４を、
固定盤１０の上面に磁性体１５を互いに対向させて、テ
ーブルの中心軸に関して軸対称に埋め込み、この両対向
面間に磁場を形成することにより可動盤１１を固定盤１
０に吸着し、可動盤１１を移動する際には、ノズル１６
から圧縮空気を、この両面間にテーブルの中心軸に関し
て軸対称に噴出して、可動盤１１を浮上させることによ
り、固定盤１０の２つの平行な側面とこれらに直交する
１つの側面に取り付けられ、その伸縮部２０先端が継手
２１を介して可動盤１１に連結された３つの直線駆動装
置１８で、可動盤１１をスムーズに直線移動や回動でき
るようにしたのである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを平面上
で移動させる移動テーブルに関するものである。
で移動させる移動テーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークの加工や検査のために使用される
移動テーブルには、直交する２軸方向への移動機能に加
えて、回動機能も要求されるものがある。この移動テー
ブルは、２軸方向のみに移動できるＸＹテーブルに対し
て、ＸＹθテーブルと呼ばれている。
移動テーブルには、直交する２軸方向への移動機能に加
えて、回動機能も要求されるものがある。この移動テー
ブルは、２軸方向のみに移動できるＸＹテーブルに対し
て、ＸＹθテーブルと呼ばれている。
【０００３】前記ＸＹθテーブルの例としては、実開平
３−１１０３９９号公報に開示されたものがある。この
種のＸＹθテーブルは、図５に示すように、固定盤１と
可動盤２の間に保持器３で保持された多数のボール４を
介在させ、互いに平行な方向に伸縮する２つの駆動装置
５と、それらとは直交する方向に伸縮する１つの駆動装
置６とを、それぞれ回動ピン７とスライド軸受８を有す
る継手９を介して可動盤２に連結し、これらの各駆動装
置５、６の伸縮量の組み合わせで、可動盤２を固定盤１
の上面に沿って直線移動や回動させるようにしている。
３−１１０３９９号公報に開示されたものがある。この
種のＸＹθテーブルは、図５に示すように、固定盤１と
可動盤２の間に保持器３で保持された多数のボール４を
介在させ、互いに平行な方向に伸縮する２つの駆動装置
５と、それらとは直交する方向に伸縮する１つの駆動装
置６とを、それぞれ回動ピン７とスライド軸受８を有す
る継手９を介して可動盤２に連結し、これらの各駆動装
置５、６の伸縮量の組み合わせで、可動盤２を固定盤１
の上面に沿って直線移動や回動させるようにしている。
【０００４】また、固定盤１と可動盤２の間に摺動部材
を配置し、前記ボール４の転がりの替わりに、摺動部材
の滑りで可動盤２の移動を案内するタイプのＸＹθテー
ブルもある。
を配置し、前記ボール４の転がりの替わりに、摺動部材
の滑りで可動盤２の移動を案内するタイプのＸＹθテー
ブルもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したボールの転が
り方式で可動盤を案内するタイプのＸＹθテーブルは、
テーブルを傾斜したり、垂直に取り付けて使用すると、
前記ボールが保持器とともに低い方向に移動する。通
常、固定盤には保持器のストッパーが取り付けられてい
るが、このストッパーは可動盤の移動範囲に合わせて保
持器の移動を許容するように設置されているため、上述
のようにＸＹθテーブルを水平以外の状態で使用する
と、保持器がボールとともにテーブルの中心からずれて
偏荷重が作用し、テーブルの位置決め精度が低下した
り、一部の部品が局部摩耗して耐久性が低下する問題が
ある。
り方式で可動盤を案内するタイプのＸＹθテーブルは、
テーブルを傾斜したり、垂直に取り付けて使用すると、
前記ボールが保持器とともに低い方向に移動する。通
常、固定盤には保持器のストッパーが取り付けられてい
るが、このストッパーは可動盤の移動範囲に合わせて保
持器の移動を許容するように設置されているため、上述
のようにＸＹθテーブルを水平以外の状態で使用する
と、保持器がボールとともにテーブルの中心からずれて
偏荷重が作用し、テーブルの位置決め精度が低下した
り、一部の部品が局部摩耗して耐久性が低下する問題が
ある。
【０００６】また、投光用等の貫通孔を有するタイプの
ＸＹθテーブルでは、ステージサイズに対する孔のサイ
ズ比が大きくなるほど、ボールが転走できる面積が小さ
くなるため、上記転がり方式は採用できない場合があ
る。前記摺動部材を用いた滑り方式は、前記孔のサイズ
比が大きいＸＹθテーブルにも採用できるが、この滑り
方式は前記転がり方式よりも、可動盤案内時の摩擦抵抗
が大きい難点がある。
ＸＹθテーブルでは、ステージサイズに対する孔のサイ
ズ比が大きくなるほど、ボールが転走できる面積が小さ
くなるため、上記転がり方式は採用できない場合があ
る。前記摺動部材を用いた滑り方式は、前記孔のサイズ
比が大きいＸＹθテーブルにも採用できるが、この滑り
方式は前記転がり方式よりも、可動盤案内時の摩擦抵抗
が大きい難点がある。
【０００７】さらに、最近は大型のワークが増大する傾
向があり、ＸＹθテーブルも大型のものが望まれてい
る。上述した転がり方式や滑り方式のＸＹθテーブル
は、いずれも比較的広い面積の可動盤案内面を必要とす
るため、大寸法の固定盤や可動盤を加工、熱処理する際
に、この案内面の面精度を確保できない問題がある。
向があり、ＸＹθテーブルも大型のものが望まれてい
る。上述した転がり方式や滑り方式のＸＹθテーブル
は、いずれも比較的広い面積の可動盤案内面を必要とす
るため、大寸法の固定盤や可動盤を加工、熱処理する際
に、この案内面の面精度を確保できない問題がある。
【０００８】そこで、この発明の課題は、テーブルの取
り付け姿勢を問わず、貫通孔付きや大寸法のステージに
好適な移動テーブルを提供することである。
り付け姿勢を問わず、貫通孔付きや大寸法のステージに
好適な移動テーブルを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明の移動テーブルは、固定盤の上に可動盤
が配置され、この可動盤に、互いに平行な方向に伸縮す
る２つ以上の駆動装置と、それらとは直交する方向に伸
縮する１つ以上の駆動装置とを、それぞれ回動可能かつ
各伸縮方向と直交する方向にスライド可能に連結し、前
記固定盤と可動盤の互いに対向する２つの面のいずれか
一方もしくは両方に、前記２つの面間に磁場を形成する
マグネットを埋め込むとともに、前記２つの面間に圧縮
空気を噴出するノズルを配置し、前記可動盤を移動させ
る際は、前記マグネットの引力と圧縮空気の斥力とを平
衡させて浮上させるようにした構成を採用したのであ
る。
めに、この発明の移動テーブルは、固定盤の上に可動盤
が配置され、この可動盤に、互いに平行な方向に伸縮す
る２つ以上の駆動装置と、それらとは直交する方向に伸
縮する１つ以上の駆動装置とを、それぞれ回動可能かつ
各伸縮方向と直交する方向にスライド可能に連結し、前
記固定盤と可動盤の互いに対向する２つの面のいずれか
一方もしくは両方に、前記２つの面間に磁場を形成する
マグネットを埋め込むとともに、前記２つの面間に圧縮
空気を噴出するノズルを配置し、前記可動盤を移動させ
る際は、前記マグネットの引力と圧縮空気の斥力とを平
衡させて浮上させるようにした構成を採用したのであ
る。
【００１０】すなわち、固定盤と可動盤の互いに対向す
る２つの面のいずれか一方もしくは両方にマグネットを
埋め込み、両面間に磁場を形成することにより可動盤を
固定盤に吸着し、可動盤を移動する際には、この両面間
に圧縮空気を噴出し、マグネットの引力と圧縮空気の斥
力とを平衡させて可動盤を浮上させ、前記各駆動装置で
可動盤を直線移動や回動させるようにしたのである。上
記の引力と斥力を平衡させ、固定盤と可動盤との平衡度
を確保するため、マグネットと噴出ノズルの配置をテー
ブルの中心軸に関して軸対称とするなどして、隙間の平
行度を確保する。
る２つの面のいずれか一方もしくは両方にマグネットを
埋め込み、両面間に磁場を形成することにより可動盤を
固定盤に吸着し、可動盤を移動する際には、この両面間
に圧縮空気を噴出し、マグネットの引力と圧縮空気の斥
力とを平衡させて可動盤を浮上させ、前記各駆動装置で
可動盤を直線移動や回動させるようにしたのである。上
記の引力と斥力を平衡させ、固定盤と可動盤との平衡度
を確保するため、マグネットと噴出ノズルの配置をテー
ブルの中心軸に関して軸対称とするなどして、隙間の平
行度を確保する。
【００１１】この移動テーブルは、前述した転がり方式
で可動盤を案内するテーブルのように、移動するボール
や保持器を有しないため、テーブルを傾斜したり、垂直
に取り付けて使用することができる。
で可動盤を案内するテーブルのように、移動するボール
や保持器を有しないため、テーブルを傾斜したり、垂直
に取り付けて使用することができる。
【００１２】また、上述の磁気による引力と空気圧によ
る斥力の組み合わせで可動盤を案内する方式は、広い案
内面を必要としないため、貫通孔付きや大寸法ステージ
の移動テーブルに採用できる。
る斥力の組み合わせで可動盤を案内する方式は、広い案
内面を必要としないため、貫通孔付きや大寸法ステージ
の移動テーブルに採用できる。
【００１３】さらに、この方式の移動テーブルは可動盤
が非接触状態で案内されるため摩擦抵抗がなく、可動盤
をスムーズに移動させて精度よく位置決めすることがで
き、部品等が摩耗することもないので耐久性にも優れて
いる。
が非接触状態で案内されるため摩擦抵抗がなく、可動盤
をスムーズに移動させて精度よく位置決めすることがで
き、部品等が摩耗することもないので耐久性にも優れて
いる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図４に基づき、こ
の発明の実施形態を説明する。
の発明の実施形態を説明する。
【００１５】図１乃至図３は第１の実施形態を示す。図
１は移動テーブルの分解斜視図、図２はその組み立て
図、図３は断面図である。この移動テーブルは、固定盤
１０と可動盤１１の中央部に、ワークに投光するための
丸貫通孔１２、１３がそれぞれ設けられ、可動盤１１の
下面にはリング状のマグネット１４が可動盤１１の中心
軸に関して軸対称に埋め込まれ、このマグネット１４に
対向する固定盤１０の上面には同じくリング状の磁性体
１５が埋め込まれている。
１は移動テーブルの分解斜視図、図２はその組み立て
図、図３は断面図である。この移動テーブルは、固定盤
１０と可動盤１１の中央部に、ワークに投光するための
丸貫通孔１２、１３がそれぞれ設けられ、可動盤１１の
下面にはリング状のマグネット１４が可動盤１１の中心
軸に関して軸対称に埋め込まれ、このマグネット１４に
対向する固定盤１０の上面には同じくリング状の磁性体
１５が埋め込まれている。
【００１６】前記リング状のマグネット１４は、周方向
にＮ極とＳ極が交互に配置され、前記磁性体１５との間
に磁場を形成している。すなわち、磁力線はマグネット
１４のＮ極から発し、前記磁性体１５を通ってマグネッ
ト１４のＳ極に戻る閉回路を形成している。
にＮ極とＳ極が交互に配置され、前記磁性体１５との間
に磁場を形成している。すなわち、磁力線はマグネット
１４のＮ極から発し、前記磁性体１５を通ってマグネッ
ト１４のＳ極に戻る閉回路を形成している。
【００１７】前記磁性体１５の外側には、前記固定盤１
０の上面に開口する４つのノズル１６が、固定盤１０の
中心軸に関して軸対称に設けられ、これらのノズル１６
の底部が固定盤１０の側面に設けられた圧縮空気供給口
１７に連通されている。
０の上面に開口する４つのノズル１６が、固定盤１０の
中心軸に関して軸対称に設けられ、これらのノズル１６
の底部が固定盤１０の側面に設けられた圧縮空気供給口
１７に連通されている。
【００１８】前記固定盤１０の２つの平行な側面と、こ
れらに直交する１つの側面には、直線駆動装置１８が各
々１つづつ金具１９で取り付けられ、各駆動装置１８の
伸縮部２０先端が継手２１を介して前記可動盤１１に連
結されている。この継手２１は回動ピン２２とスライド
軸受２３を有し、この各スライド軸受２３が、金具２４
で可動盤１１の側面に垂直に取り付けられた各案内レー
ル２５に係合されている。
れらに直交する１つの側面には、直線駆動装置１８が各
々１つづつ金具１９で取り付けられ、各駆動装置１８の
伸縮部２０先端が継手２１を介して前記可動盤１１に連
結されている。この継手２１は回動ピン２２とスライド
軸受２３を有し、この各スライド軸受２３が、金具２４
で可動盤１１の側面に垂直に取り付けられた各案内レー
ル２５に係合されている。
【００１９】なお、前記固定盤１０上面の周辺部は中央
部よりもわずかに控えて低く形成され、この周辺コーナ
ー部に移動テーブル取り付け用の貫通孔２６が設けられ
ている。
部よりもわずかに控えて低く形成され、この周辺コーナ
ー部に移動テーブル取り付け用の貫通孔２６が設けられ
ている。
【００２０】図４は第２の実施形態を示す。この移動テ
ーブルは、固定盤２７と可動盤２８が枠状に形成され、
中央部が広く貫通している。可動盤２８の下面には枠状
のマグネット２９が、可動盤２８の中心軸に関して軸対
称に埋め込まれ、固定盤２７には、図１と同様の上面に
開口する４つのノズル３０と、これらのノズル３０に連
通する圧縮空気供給口３１が設けられている。なお、こ
の固定盤２７は全体が磁性体で形成されている。
ーブルは、固定盤２７と可動盤２８が枠状に形成され、
中央部が広く貫通している。可動盤２８の下面には枠状
のマグネット２９が、可動盤２８の中心軸に関して軸対
称に埋め込まれ、固定盤２７には、図１と同様の上面に
開口する４つのノズル３０と、これらのノズル３０に連
通する圧縮空気供給口３１が設けられている。なお、こ
の固定盤２７は全体が磁性体で形成されている。
【００２１】前記固定盤２７の側面には、図１の場合と
同様に、３つの直線駆動装置３２が取り付けられ、各々
の伸縮部３３先端が継手３４を介して前記可動盤２８に
連結されている。
同様に、３つの直線駆動装置３２が取り付けられ、各々
の伸縮部３３先端が継手３４を介して前記可動盤２８に
連結されている。
【００２２】上述した各実施形態では、マグネットを可
動盤側に、圧縮空気噴出用のノズルを固定盤側に設けた
が、各々を反対側に設けることもできる。勿論、マグネ
ットとノズルを固定盤と可動盤の両者に設けることもで
き、この場合の各マグネットはＮ極とＳ極を対向させて
磁場を形成すればよい。
動盤側に、圧縮空気噴出用のノズルを固定盤側に設けた
が、各々を反対側に設けることもできる。勿論、マグネ
ットとノズルを固定盤と可動盤の両者に設けることもで
き、この場合の各マグネットはＮ極とＳ極を対向させて
磁場を形成すればよい。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、この発明の移動テーブル
は、固定盤と可動盤の互いに対向する２つの面のいずれ
か一方もしくは両方にマグネットを埋め込み、両面間に
磁場を形成することにより可動盤を固定盤に吸着し、可
動盤を移動する際には、この両面間に圧縮空気を噴出し
て可動盤を浮上させ、前記各駆動装置で可動盤を直線移
動や回動させるようにしたので、可動盤の案内部に傾斜
で移動する部材がなく、テーブルを傾斜したり、垂直に
取り付けて使用することができ、前記案内部の面積も小
さくできるため、貫通孔付きや大寸法ステージの移動テ
ーブルに採用できる。また、この移動テーブルは、可動
盤を固定盤上で浮上させて非接触状態で案内できるた
め、可動盤を摩擦抵抗なくスムーズに移動させて精度よ
く位置決めすることができ、部品等が摩耗することもな
いので耐久性にも優れている。
は、固定盤と可動盤の互いに対向する２つの面のいずれ
か一方もしくは両方にマグネットを埋め込み、両面間に
磁場を形成することにより可動盤を固定盤に吸着し、可
動盤を移動する際には、この両面間に圧縮空気を噴出し
て可動盤を浮上させ、前記各駆動装置で可動盤を直線移
動や回動させるようにしたので、可動盤の案内部に傾斜
で移動する部材がなく、テーブルを傾斜したり、垂直に
取り付けて使用することができ、前記案内部の面積も小
さくできるため、貫通孔付きや大寸法ステージの移動テ
ーブルに採用できる。また、この移動テーブルは、可動
盤を固定盤上で浮上させて非接触状態で案内できるた
め、可動盤を摩擦抵抗なくスムーズに移動させて精度よ
く位置決めすることができ、部品等が摩耗することもな
いので耐久性にも優れている。
【図１】第１の実施形態の移動テーブルを示す分解斜視
図
図
【図２】図１の組み立て斜視図
【図３】図２の縦断面図
【図４】第２の実施形態の移動テーブルを示す分解斜視
図
図
【図５】従来の移動テーブルを示す分解斜視図
１ 固定盤 ２ 可動盤 ３ 保持器 ４ ボール ５、６ 駆動装置 ７ 回動ピン ８ スライド軸受 ９ 継手 １０ 固定盤 １１ 可動盤 １２、１３ 貫通孔 １４ マグネット １５ 磁性体 １６ ノズル １７ 空気供給口 １８ 駆動装置 １９ 金具 ２０ 伸縮部 ２１ 継手 ２２ 回動ピン ２３ スライド軸受 ２４ 金具 ２５ レール ２６ 貫通孔 ２７ 固定盤 ２８ 可動盤 ２９ マグネット ３０ ノズル ３１ 空気供給口 ３２ 駆動装置 ３３ 伸縮部 ３４ 継手
Claims (1)
- 【請求項１】 固定盤の上に可動盤が配置され、この可
動盤に、互いに平行な方向に伸縮する２つ以上の駆動装
置と、それらとは直交する方向に伸縮する１つ以上の駆
動装置とを、それぞれ回動可能かつ各伸縮方向と直交す
る方向にスライド可能に連結し、前記固定盤と可動盤の
互いに対向する２つの面のいずれか一方もしくは両方
に、前記２つの面間に磁場を形成するマグネットを埋め
込むとともに、前記２つの面間に圧縮空気を噴出するノ
ズルを配置し、前記可動盤を移動させる際は、前記マグ
ネットの引力と圧縮空気の斥力とを平衡させて浮上させ
るようにした移動テーブル。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234810A JPH1170434A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 移動テーブル |
| TW088211029U TW409657U (en) | 1997-08-29 | 1998-07-28 | Movable work platform |
| KR1019980030291A KR19990023247A (ko) | 1997-08-29 | 1998-07-28 | 이동테이블 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234810A JPH1170434A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 移動テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1170434A true JPH1170434A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=16976754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9234810A Pending JPH1170434A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 移動テーブル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1170434A (ja) |
| KR (1) | KR19990023247A (ja) |
| TW (1) | TW409657U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020027021A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
| CN115013663A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-06 | 广东立迪智能科技有限公司 | 一种XYθ对位平台 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104097071A (zh) * | 2013-04-10 | 2014-10-15 | 高明铁企业股份有限公司 | 精密对位平台的定位方法 |
| CN104117859A (zh) * | 2013-04-25 | 2014-10-29 | 高明铁企业股份有限公司 | 悬吊式精密对位平台的定位方法 |
| CN104139310B (zh) * | 2013-05-03 | 2016-12-28 | 高明铁企业股份有限公司 | 具有流体增压紧迫定位功能的对位平台 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP9234810A patent/JPH1170434A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-28 TW TW088211029U patent/TW409657U/zh unknown
- 1998-07-28 KR KR1019980030291A patent/KR19990023247A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020027021A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
| CN115013663A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-06 | 广东立迪智能科技有限公司 | 一种XYθ对位平台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990023247A (ko) | 1999-03-25 |
| TW409657U (en) | 2000-10-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041116 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050719 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051213 |