JPS63125820A

JPS63125820A - 静圧軸受

Info

Publication number: JPS63125820A
Application number: JP27048486A
Authority: JP
Inventors: Katsunobu Ueda; 上田　勝宣
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-11-13
Filing date: 1986-11-13
Publication date: 1988-05-30
Also published as: JPH0321765B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は圧縮流体の流入圧力によって案内部の案内面
から軸受部を浮上させる静圧軸受に関する。

（従来の技術）一般に、静圧軸受として第５図に示す構成のものが知ら
れている。第５図中で、１は断面形状が矩形状の直線案
内部、２はこの案内部１に対向配置された軸受部（移動
テーブル）である。この場合、軸受部２には第６図に示
すように案内部１の各案内面１ａ・・・と対向する部位
に圧縮流体の吹出口３・・・が形成されている。そして
、図示しない適宜の圧縮流体供給義構から供給される圧
縮流体をこれらの吹出口３・・・を介して案内部１と軸
受部２との間の間隙（例えば、μμｍ〜数十μｍ程瓜の
間隙）に流入させ、この圧縮流体の流入圧力によって案
内部１の各案内面１ａ・・・から軸受部２を浮上させる
ことにより、案内部１に沿って軸受部２を円滑に移動さ
せるようにしている。

ところで、この種のものにあっては案内部１の各案内面
１ａ・・・と軸受部２の各対向面２ａ・・・どの間が平
行状態で保持されていない場合には軸受部２の吹出口３
・・・を介して案内部１と軸受部２との間の間隙に流入
した圧縮流体が案内部１の各案内面１ａ・・・と軸受部
２の各対向面２ａ・・・どの間の隙間の大きい方向に逃
げ易いので、所定の性能（剛性や浮上世等）が得られな
いおそれがあった。そのため、従来構成のものにあって
は案内部１および軸受部２の平行度、直角度等の部品精
度を高めなければならない（例えば、案内部１と軸受部
２との間の間隙の１０％以内程度）ので、製作が難しく
、コスト高になる問題があった。

（発明が解決しようとする問題点）従来構成のものにあっては案内部１の各案内面１ａ・・
・と軸受部２の各対向面２ａ・・・との間が平行状態で
保持されていない場合には所定の性能（剛性や浮上ｍ等
）が得られないおそれがあったので、案内部１および軸
受部２の平行度、直角度等の部品精度を高めなければな
らず、製作が難しく、コスト高になる問題があった。

この発明は上記問題点に着目してなされたもので、案内
部および軸受部の部品精度を格別に高くする必要がなく
、製作の容易化およびコスト低下を図ることができる静
圧軸受を提供することを目的とするものである。

［発明の構成コ（問題点を解決するための手段） ′　この発明は案内部の案内面に離間対向配置され、圧
縮流体の吹出口が形成されたパッド片およびこのパッド
片が案内部の案内面に対し平行状態から外れた場合に案
内部の案内面に平行な状態に復帰させる自己調整部を備
えた静圧流体パッドを軸受部に設けたものである。

く作用）軸受部のパッド片が案内部の案内面に対し平行状態から
外れた場合に自己調整部の復帰力によって案内部の案内
面に平行な状態に復帰させるようにしたものである。

（実施例）以下、この発明の一実施例を第１図および第２図を参照
して説明する。第１図は第２図に示す静圧軸受の要部の
概略構成を示すもので、１１は断面形状が矩形状の直線
案内部、１２はこの案内部１１に対向配置された軸受部
（移動テーブル）である。この場合、軸受部１２には第
２図に示すように４枚の平板状のハウジング構成部材１
３・・・が矩形状に接合されて形成されたハウジング１
４が設けられている。

また、このハウジング１４の各ハウジング構成部材１３
内面にはそれぞれ一対の静圧流体パッド１５が設けられ
ている。この静圧流体パッド１５には第１図に示すよう
に案内部１１の案内面１１ａに離間対向配置され、例え
ば空気等の圧縮流体の吹出口１６が形成されたパッド片
１７およびこのパッド片１７が案内部１１の案内面１１
ａに対し平行状態から外れた場合に案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させる自己調整部１８がそれ
ぞれ設けられている。この場合、自己調整部１８はパッ
ド片１７と軸受部１２のハウジング１４との間に配設さ
れた支軸１９の一部の外径を細くしてパッド片１７の揺
動動作に対応するばね作用を持たせた小径部２０によっ
て形成させている。さらに、静圧流体パッド１５の支軸
１９の基端部には取付はフランジ２１が形成されており
、この取付はフランジ２１を介して静圧流体パッド１５
が軸受部１２のハウジング１４にねじ止めされている。

また、静圧流体パッド１５の軸心部にはパッド片１７の
吹出口１６に連通させた流体通路２２が形成されている
。この流体通路２２の先端部には他の部分よりも穴径を
小さく絞った（例えば直径０．３Ｈ程度〉自成絞り部２
３が形成されている。なお、静圧流体パッド１５のパッ
ド片１７は必ずしも円形のものである必要はなく、軸心
に対し円形以外の線対称形状のものであってもよい。

次に、上記構成の作用について説明する。まず、静圧軸
受の使用時には図示しない適宜の圧縮流体供給様構から
流体通路２２を介して供給される例えば空気等の圧縮流
体が第１図中に矢印で示すように静圧流体パッド１５の
吹出口１６・・・から案内部１１と静圧流体パッド１５
のパッド片１７との間の間隙に流入される。そして、こ
の圧縮流体の流入圧力によって案内部１１の各案内面１
１ａ・・・から静圧流体パッド１５のパッド片１７を浮
上させる。この状態で、パッド片１７が案内部１１の案
内面１１ａに対し平行状態から外れた場合には案内部１
１の案内面１１ａと静圧流体パッド１５のパッド片１７
との間の間隙内各部に圧力差が発生するので、静圧流体
パッド１５の支軸１９が小径部２０を中心に案内部１１
の案内面１１ａと静圧流体パッド１５のパッド片１７と
の間の間隙内各部の圧力差を小さくする方向に弾性変形
し、静圧流体パッド１５のパッド片１７を案内部１１の
案内面１１ａに平行な状態に復帰させる。なお、この静
圧流体パッド１５の支軸１９は軸心方向の力に対しては
座屈しないように充分な剛性を持つように設計されてい
る。

そこで、上記構成のものにあっては案内部１１の案内面
１１ａに離間対向配置され、圧縮流体の吹出口１６が形
成されたパッド片１７およびこのパッド片１７が案内部
１１の案内面１１ａに対し平行状態から外れた場合に案
内部１１の案内面１１ａに平行な状態に復帰させる自己
調整部１８を備えた静圧流体パッド１５を軸受部１２に
設け、軸受部１２のパッド片１７が案内部１１の案内面
１１ａに対し平行状態から外れた場合に自己調整部１８
の復帰力によって案内部１１の案内面１１ａに平行な状
態に復帰させるようにしたので、案内部１１および軸受
部１２の平行度、直角度等の部品精度を例えば、案内部
１１と軸受部１２どの間の間隙の８０〜９０％程度にす
ることができる。そのため、従来のように案内部１１お
よび軸受部１２の平行度、直角度等の部品精度を案内部
１１と軸受部１２との間の間隙の１０％以内程度にした
場合に比べて製作の容易化およびコスト低下を図ること
ができる。

なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、第３図に示すように静圧流体パッド１５のパ
ッド片１７と軸受部１２のハウジング１４側の支軸１つ
との間に球面軸受部３１を形成し、この球面軸受部３１
の自！７１調心作用によって静圧流体パッド１５の自己
調整部１８を形成させる構成にしてもよい。この場合、
球面軸受部３１の潤滑剤として例えば二硫化モリブデン
等の固体潤滑剤を使用している。

また、第４図に示すように平面状態の基準面４１上に断
面形状が略逆台形状の案内部４２を突出させるとともに
、この案内部４２の形状と対応する形状のハウジング４
３を備えた軸受部４４を設け、この軸受部４４のハウジ
ング４３内面に複数の静圧流体パッド１５・・・を装着
する構成にしてもよい。

さらに、その他この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施できることは勿論である。

［発明の効果コこの発明によれば案内部の案内面に離間対向配置され、
圧縮流体の吹出口が形成されたパッド片およびこのパッ
ド片が案内部の案内面に対し平行状態から外れた場合に
案内部の案内面に平行な状態に復帰させる自己調整部を
備えた静圧流体パッドを軸受部に設けたので、案内部お
よび軸受部の部品精度を格別に高くする必要がなく、製
作の容易化およびコスト低下を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明の一実施例を示すもので
、第１図は静圧流体パッドを示す要部の縦断面図、第２
図は静圧軸受全体の概略構成を示す縦断面図、第３図お
よび第４図はそれぞれ賃なる別の実施例を示す縦断面図
、第５図および第６図は従来例を示すもので、第５図は
静圧軸受全体の概略構成を示す斜視図、第６図は同縦断
面図である。１１・・・案内部、１１ａ・・・案内面、１２・・・軸
受部、１５・・・静圧流体パッド、１６・・・吹出口、
１７・・・バラド片、１８・・・自己調整部。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第　６１！ｆ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）案内部とこの案内部に対向配置された軸受部との
間の間隙に圧縮流体を流入させ、この圧縮流体の流入圧
力によって前記案内部の案内面から前記軸受部を浮上さ
せる静圧軸受において、前記案内部の案内面に離間対向
配置され、圧縮流体の吹出口が形成されたパッド片およ
びこのパッド片の前記案内部への対面が前記案内部の案
内面に対し平行状態から外れた場合に前記案内部の案内
面に平行な状態に復帰させる自己調整部を備えた静圧流
体パッドを前記軸受部に設けたことを特徴とする静圧軸
受。
（２）自己調整部はパッド片と軸受部との間に配設され
た支軸の一部の外径を細くしてパッド片の揺動動作に対
応するばね作用を持たせた小径部によって形成させたも
のであることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記
載の静圧軸受。
（３）自己調整部はパッド片と軸受部側の支軸との間の
球面軸受部によって形成させたものであることを特徴と
する特許請求の範囲第（１）項記載の静圧軸受。