JPS5913120A - 静圧流体軸受 - Google Patents
静圧流体軸受Info
- Publication number
- JPS5913120A JPS5913120A JP12007482A JP12007482A JPS5913120A JP S5913120 A JPS5913120 A JP S5913120A JP 12007482 A JP12007482 A JP 12007482A JP 12007482 A JP12007482 A JP 12007482A JP S5913120 A JPS5913120 A JP S5913120A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- guide
- groove
- sliding
- fluid bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、精密工作機械や精密測定機械等に利用さn、
相対的に運動する二表面間の潤滑に空気等の流体を用い
て拘束型スライド装置等を構成する静圧流体軸受に関す
るものである。
相対的に運動する二表面間の潤滑に空気等の流体を用い
て拘束型スライド装置等を構成する静圧流体軸受に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
第1図は動作流体に気体を用いた静圧流体軸受である従
来の拘束型スライド装置を示し、(1)は子軸形状をな
し外周の角に排気溝(3)が設けられたガイド、(2)
は前記ガイド(1)表面を囲みかっこのガイド(1)表
面を案内面として摺動するスライダーである。このスラ
イダー(2)の各摺動面(4)には第2図に示すように
摺動方向(イ)と平行に深い溝(以下エアーポケットと
称す)(5)が設けられ、この≦アーポケット(5)か
らT字状の浅い絞り溝(以下T溝と称す)(6)が摺動
方向(3)と直角な方向に複数本設けらnている。また
、前記スライダー(2)の内部には第3図に示すように
給気路(8)が設けら1、この給気路(81と連通ずる
給気孔(7)が前記各エアーポケット(5)内に開口し
ている。そして、外部から供給さ1−ポケット〔5)に
供給さnた気体は、前記ガイド(1)の各案内面と前記
スライダーC2)の各摺動面(4)との間隙を第9図に
矢印で示す如く摺動方向(3)とそれに直角な方向とに
向かって排気される。
来の拘束型スライド装置を示し、(1)は子軸形状をな
し外周の角に排気溝(3)が設けられたガイド、(2)
は前記ガイド(1)表面を囲みかっこのガイド(1)表
面を案内面として摺動するスライダーである。このスラ
イダー(2)の各摺動面(4)には第2図に示すように
摺動方向(イ)と平行に深い溝(以下エアーポケットと
称す)(5)が設けられ、この≦アーポケット(5)か
らT字状の浅い絞り溝(以下T溝と称す)(6)が摺動
方向(3)と直角な方向に複数本設けらnている。また
、前記スライダー(2)の内部には第3図に示すように
給気路(8)が設けら1、この給気路(81と連通ずる
給気孔(7)が前記各エアーポケット(5)内に開口し
ている。そして、外部から供給さ1−ポケット〔5)に
供給さnた気体は、前記ガイド(1)の各案内面と前記
スライダーC2)の各摺動面(4)との間隙を第9図に
矢印で示す如く摺動方向(3)とそれに直角な方向とに
向かって排気される。
上記従来の拘束型スライド装置によると、゛第4図に示
す↓うに、スライダー(2)は動作流体圧に工り外側に
撓み、この撓みによるスライダー(2)の摺動向(4)
とガイド(1)の案内面との間隙は、排気溝(3)の周
辺では小さいがエアーポケット(5)の周辺では大きく
なる。そして、装置の軽量化を図るため、スライダー(
2)の板厚を薄くしたり、材質にアルミニウム合金?使
用したりすnば、スライダー(2)の撓み量は無視出来
ない程大きくなる。また、第5図に示すように、装置の
軽量化のためにガイド(1)を中空にした場合には、ス
ライダー12)のみならずガイド(1)もスライダー1
21の反対方向に撓み、排気溝(3)周辺の間隙に比べ
てエアーポケッ) (61周辺の間隙は更に大きくなる
。一般に、スライダー12)の摺動面(4)のT溝(6
)はガイド(1)とスライダー(2)との間隙量に応じ
て設計さn、溝深さや溝幅、溝長さ等のT溝(tllの
形状全決定する要素は間隙量に対して最適笛音もってυ
す、上記の如く撓みにより間隙量が貧化丁nばT溝(6
)の形状は最適設計から外nることになって、スライド
装置の性能特に軸受剛性は著しく低下することになる。
す↓うに、スライダー(2)は動作流体圧に工り外側に
撓み、この撓みによるスライダー(2)の摺動向(4)
とガイド(1)の案内面との間隙は、排気溝(3)の周
辺では小さいがエアーポケット(5)の周辺では大きく
なる。そして、装置の軽量化を図るため、スライダー(
2)の板厚を薄くしたり、材質にアルミニウム合金?使
用したりすnば、スライダー(2)の撓み量は無視出来
ない程大きくなる。また、第5図に示すように、装置の
軽量化のためにガイド(1)を中空にした場合には、ス
ライダー12)のみならずガイド(1)もスライダー1
21の反対方向に撓み、排気溝(3)周辺の間隙に比べ
てエアーポケッ) (61周辺の間隙は更に大きくなる
。一般に、スライダー12)の摺動面(4)のT溝(6
)はガイド(1)とスライダー(2)との間隙量に応じ
て設計さn、溝深さや溝幅、溝長さ等のT溝(tllの
形状全決定する要素は間隙量に対して最適笛音もってυ
す、上記の如く撓みにより間隙量が貧化丁nばT溝(6
)の形状は最適設計から外nることになって、スライド
装置の性能特に軸受剛性は著しく低下することになる。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するもので、静圧流体軸
受である拘束型スライド装置等の、スライダーやガイド
の撓みによる性能の低下を防止することを目的とする。
受である拘束型スライド装置等の、スライダーやガイド
の撓みによる性能の低下を防止することを目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するため、本発明は、子軸形状のガイド
と、前記ガイド表面を囲みかっこのガイド表面を案内面
とするスライダーとを有し、前記スライダーの摺動向に
深い溝とこの深い溝から延びる複数の浅い絞り溝を有し
ている静圧流体軸受の、前記深い溝は摺動方向に直角で
かつ前記ガイド表面を取り巻く環状に配設すると共に、
前記絞り溝は摺動方向に治って配設した構成としたもの
である。
と、前記ガイド表面を囲みかっこのガイド表面を案内面
とするスライダーとを有し、前記スライダーの摺動向に
深い溝とこの深い溝から延びる複数の浅い絞り溝を有し
ている静圧流体軸受の、前記深い溝は摺動方向に直角で
かつ前記ガイド表面を取り巻く環状に配設すると共に、
前記絞り溝は摺動方向に治って配設した構成としたもの
である。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について、図面に基づいて説明
する。
する。
第6図は動作流体に気体を用いた静圧流体軸受である本
発明の拘束型スライド装置を示し、(Illは子軸形状
のガイド、Q21は前記ガイド(用表面を囲みかつこの
ガイトロリ表面を案内面として摺動するスライダーであ
る。第7図は前記スライダー(121の摺動向+131
會示し、この摺動向0罎には、摺動方向(3)に直角で
かつ前記ガイド(111表面を取り巻く環状の深い溝(
以下エアーポケットと称す)a4[と、このエアーポケ
ッ) f141から摺動方向(3)に削って延びる複数
のT字状の浅い絞り溝(以下T溝と称す)0句とが配設
さnている。また、スライダー02の一側壁には第8図
に示す工うに給気路07)が設けらn、この給気路(1
ηと連通した給気孔Hが前記エアーポケットI内に開口
している。
発明の拘束型スライド装置を示し、(Illは子軸形状
のガイド、Q21は前記ガイド(用表面を囲みかつこの
ガイトロリ表面を案内面として摺動するスライダーであ
る。第7図は前記スライダー(121の摺動向+131
會示し、この摺動向0罎には、摺動方向(3)に直角で
かつ前記ガイド(111表面を取り巻く環状の深い溝(
以下エアーポケットと称す)a4[と、このエアーポケ
ッ) f141から摺動方向(3)に削って延びる複数
のT字状の浅い絞り溝(以下T溝と称す)0句とが配設
さnている。また、スライダー02の一側壁には第8図
に示す工うに給気路07)が設けらn、この給気路(1
ηと連通した給気孔Hが前記エアーポケットI内に開口
している。
以下上記構成における作用について説明する。
外部からスライダー(121の給気路(Iηに供給さn
た気体は給気孔QIi2経てエアーポケット041内に
至る。
た気体は給気孔QIi2経てエアーポケット041内に
至る。
この工うにエアーポケットIに供給さnた気体は、ガイ
ド(11)の案内面とスライダーQ21の摺動面a」と
の間隙全第10図に矢印で示す如く摺動方向■両端部に
向かって排慨さfLる。そして、撓みによりガイド(川
の案内面とスライダーQZの摺動面囮との間隙量が貧化
しても、前記摺動面職のT溝(1句が構成さnている方
向即ち摺動方向(3)には間隙量は一様であり、前記T
溝Q旬は、このT溝−を構成している場所に2ける間隙
量に対して最適な形状即ち最も高い剛性が得られる形状
に設計することが容易となる。したがって剛性をあまり
犠牲にすることなくガイド(11)およびスライダー(
121の厚さを薄くすることができると共に、ガイド(
川においては中空構造とすることが可能となり装置の小
型軽量化が図nる。なお、絞り溝0句の形状はT字状に
限るものではなく1字状であってもよい。
ド(11)の案内面とスライダーQ21の摺動面a」と
の間隙全第10図に矢印で示す如く摺動方向■両端部に
向かって排慨さfLる。そして、撓みによりガイド(川
の案内面とスライダーQZの摺動面囮との間隙量が貧化
しても、前記摺動面職のT溝(1句が構成さnている方
向即ち摺動方向(3)には間隙量は一様であり、前記T
溝Q旬は、このT溝−を構成している場所に2ける間隙
量に対して最適な形状即ち最も高い剛性が得られる形状
に設計することが容易となる。したがって剛性をあまり
犠牲にすることなくガイド(11)およびスライダー(
121の厚さを薄くすることができると共に、ガイド(
川においては中空構造とすることが可能となり装置の小
型軽量化が図nる。なお、絞り溝0句の形状はT字状に
限るものではなく1字状であってもよい。
発明の効果
以上のように本発明に工nば次の効果を得ることができ
る。
る。
(1) スライダーはその摺動向のエアーポケットが
摺動方向に対して直角に設けらnているため撓みに強く
、またT溝は間隙量に対して最も高い剛性が得らnる形
状に設計できるため、静圧流体軸受である拘束型スフイ
ド装置等の撓みによる性能の低下を防止することができ
ると共に、装置の小型軽量化が図nる。
摺動方向に対して直角に設けらnているため撓みに強く
、またT溝は間隙量に対して最も高い剛性が得らnる形
状に設計できるため、静圧流体軸受である拘束型スフイ
ド装置等の撓みによる性能の低下を防止することができ
ると共に、装置の小型軽量化が図nる。
(2) 摺動面での動作流体の流−nけ摺動方向のみ
に限らnるため、スライダー摺動面全面が動作流体エリ
受ける圧力の合力は大きくなり一般に負荷答量(スライ
ダーに加えることの出来る負荷荷重)が大きくなると共
に、流体の流量が減るためスライダーの減衰性も向上す
る。
に限らnるため、スライダー摺動面全面が動作流体エリ
受ける圧力の合力は大きくなり一般に負荷答量(スライ
ダーに加えることの出来る負荷荷重)が大きくなると共
に、流体の流量が減るためスライダーの減衰性も向上す
る。
13)給気路金スライダー内部に櫂り廻らす必要がなく
加工が簡単である。
加工が簡単である。
第1図は従来の静圧流体軸受である拘束型スライド装置
の斜視図、第2図は同スライダーの一部ケ示す斜視図、
第8図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第4図
は第1図に$・けるA−A断面図、第5図は第4図にお
けるガイドを中空にした場合の断面図、第6図は本発明
の−・実施例を示す静圧流体軸受である拘束型スライド
装置の斜視図、第7図は同スライダーの一部ケ示す斜視
図、第8図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第
91¥1は従来のスライダー摺動面に2ける気体の流n
方向を示す図、第10図は本発明の一実施例のスライダ
ー摺動面における完陣の流n方向を示す図である。 (川・・・ガイド、(121・・・スライダー、113
)・・・摺動面、I・・・エアーポケット、0旬・・・
T溝、(u6・・・給気孔、(1′6・・・給気路、(
3)・・・スライダーの摺動方向代理人 森本義弘 第1図 第2図 第S図 第7図 第8図 /σ 第2図 第π図
の斜視図、第2図は同スライダーの一部ケ示す斜視図、
第8図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第4図
は第1図に$・けるA−A断面図、第5図は第4図にお
けるガイドを中空にした場合の断面図、第6図は本発明
の−・実施例を示す静圧流体軸受である拘束型スライド
装置の斜視図、第7図は同スライダーの一部ケ示す斜視
図、第8図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第
91¥1は従来のスライダー摺動面に2ける気体の流n
方向を示す図、第10図は本発明の一実施例のスライダ
ー摺動面における完陣の流n方向を示す図である。 (川・・・ガイド、(121・・・スライダー、113
)・・・摺動面、I・・・エアーポケット、0旬・・・
T溝、(u6・・・給気孔、(1′6・・・給気路、(
3)・・・スライダーの摺動方向代理人 森本義弘 第1図 第2図 第S図 第7図 第8図 /σ 第2図 第π図
Claims (1)
- L 子軸形状のガイドと、前記ガイド表面を囲みかつこ
のガイド表面を案内面とするスライダーとを有し、前記
スライダーの摺動面に深い溝とこの深い溝から延びる複
数の浅い絞り溝を有している静圧流体軸受であって、前
記深い溝は摺動方向に直角でかつ前記ガイド表面を取り
巻く褒状に配設すると共に、前記絞り溝は摺動方向に泪
って配設した静圧流体軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12007482A JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12007482A JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5913120A true JPS5913120A (ja) | 1984-01-23 |
Family
ID=14777252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12007482A Pending JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5913120A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
JPH01126425A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧スライド装置 |
JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
US5063322A (en) * | 1989-08-30 | 1991-11-05 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Feed mechanism with a sliding member guided by a hydrostatic bearing |
JPH09317768A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受 |
CN108071677A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-25 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP12007482A patent/JPS5913120A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
JPH0517447Y2 (ja) * | 1987-04-28 | 1993-05-11 | ||
JPH01126425A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧スライド装置 |
JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
US4974970A (en) * | 1989-02-04 | 1990-12-04 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
US5063322A (en) * | 1989-08-30 | 1991-11-05 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Feed mechanism with a sliding member guided by a hydrostatic bearing |
JPH09317768A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受 |
CN108071677A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-25 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
CN108071677B (zh) * | 2018-01-31 | 2024-02-27 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
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