JPS5913120A - 静圧流体軸受 - Google Patents
静圧流体軸受Info
- Publication number
- JPS5913120A JPS5913120A JP12007482A JP12007482A JPS5913120A JP S5913120 A JPS5913120 A JP S5913120A JP 12007482 A JP12007482 A JP 12007482A JP 12007482 A JP12007482 A JP 12007482A JP S5913120 A JPS5913120 A JP S5913120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- guide
- groove
- sliding
- fluid bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、精密工作機械や精密測定機械等に利用さｎ、
相対的に運動する二表面間の潤滑に空気等の流体を用い
て拘束型スライド装置等を構成する静圧流体軸受に関す
るものである。
相対的に運動する二表面間の潤滑に空気等の流体を用い
て拘束型スライド装置等を構成する静圧流体軸受に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
第１図は動作流体に気体を用いた静圧流体軸受である従
来の拘束型スライド装置を示し、（１）は子軸形状をな
し外周の角に排気溝（３）が設けられたガイド、（２）
は前記ガイド（１）表面を囲みかっこのガイド（１）表
面を案内面として摺動するスライダーである。このスラ
イダー（２）の各摺動面（４）には第２図に示すように
摺動方向（イ）と平行に深い溝（以下エアーポケットと
称す）（５）が設けられ、この≦アーポケット（５）か
らＴ字状の浅い絞り溝（以下Ｔ溝と称す）（６）が摺動
方向（３）と直角な方向に複数本設けらｎている。また
、前記スライダー（２）の内部には第３図に示すように
給気路（８）が設けら１、この給気路（８１と連通ずる
給気孔（７）が前記各エアーポケット（５）内に開口し
ている。そして、外部から供給さ１−ポケット〔５）に
供給さｎた気体は、前記ガイド（１）の各案内面と前記
スライダーＣ２）の各摺動面（４）との間隙を第９図に
矢印で示す如く摺動方向（３）とそれに直角な方向とに
向かって排気される。
来の拘束型スライド装置を示し、（１）は子軸形状をな
し外周の角に排気溝（３）が設けられたガイド、（２）
は前記ガイド（１）表面を囲みかっこのガイド（１）表
面を案内面として摺動するスライダーである。このスラ
イダー（２）の各摺動面（４）には第２図に示すように
摺動方向（イ）と平行に深い溝（以下エアーポケットと
称す）（５）が設けられ、この≦アーポケット（５）か
らＴ字状の浅い絞り溝（以下Ｔ溝と称す）（６）が摺動
方向（３）と直角な方向に複数本設けらｎている。また
、前記スライダー（２）の内部には第３図に示すように
給気路（８）が設けら１、この給気路（８１と連通ずる
給気孔（７）が前記各エアーポケット（５）内に開口し
ている。そして、外部から供給さ１−ポケット〔５）に
供給さｎた気体は、前記ガイド（１）の各案内面と前記
スライダーＣ２）の各摺動面（４）との間隙を第９図に
矢印で示す如く摺動方向（３）とそれに直角な方向とに
向かって排気される。
上記従来の拘束型スライド装置によると、゛第４図に示
す↓うに、スライダー（２）は動作流体圧に工り外側に
撓み、この撓みによるスライダー（２）の摺動向（４）
とガイド（１）の案内面との間隙は、排気溝（３）の周
辺では小さいがエアーポケット（５）の周辺では大きく
なる。そして、装置の軽量化を図るため、スライダー（
２）の板厚を薄くしたり、材質にアルミニウム合金？使
用したりすｎば、スライダー（２）の撓み量は無視出来
ない程大きくなる。また、第５図に示すように、装置の
軽量化のためにガイド（１）を中空にした場合には、ス
ライダー１２）のみならずガイド（１）もスライダー１
２１の反対方向に撓み、排気溝（３）周辺の間隙に比べ
てエアーポケッ） （６１周辺の間隙は更に大きくなる
。一般に、スライダー１２）の摺動面（４）のＴ溝（６
）はガイド（１）とスライダー（２）との間隙量に応じ
て設計さｎ、溝深さや溝幅、溝長さ等のＴ溝（ｔｌｌの
形状全決定する要素は間隙量に対して最適笛音もってυ
す、上記の如く撓みにより間隙量が貧化丁ｎばＴ溝（６
）の形状は最適設計から外ｎることになって、スライド
装置の性能特に軸受剛性は著しく低下することになる。
す↓うに、スライダー（２）は動作流体圧に工り外側に
撓み、この撓みによるスライダー（２）の摺動向（４）
とガイド（１）の案内面との間隙は、排気溝（３）の周
辺では小さいがエアーポケット（５）の周辺では大きく
なる。そして、装置の軽量化を図るため、スライダー（
２）の板厚を薄くしたり、材質にアルミニウム合金？使
用したりすｎば、スライダー（２）の撓み量は無視出来
ない程大きくなる。また、第５図に示すように、装置の
軽量化のためにガイド（１）を中空にした場合には、ス
ライダー１２）のみならずガイド（１）もスライダー１
２１の反対方向に撓み、排気溝（３）周辺の間隙に比べ
てエアーポケッ） （６１周辺の間隙は更に大きくなる
。一般に、スライダー１２）の摺動面（４）のＴ溝（６
）はガイド（１）とスライダー（２）との間隙量に応じ
て設計さｎ、溝深さや溝幅、溝長さ等のＴ溝（ｔｌｌの
形状全決定する要素は間隙量に対して最適笛音もってυ
す、上記の如く撓みにより間隙量が貧化丁ｎばＴ溝（６
）の形状は最適設計から外ｎることになって、スライド
装置の性能特に軸受剛性は著しく低下することになる。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するもので、静圧流体軸
受である拘束型スライド装置等の、スライダーやガイド
の撓みによる性能の低下を防止することを目的とする。
受である拘束型スライド装置等の、スライダーやガイド
の撓みによる性能の低下を防止することを目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するため、本発明は、子軸形状のガイド
と、前記ガイド表面を囲みかっこのガイド表面を案内面
とするスライダーとを有し、前記スライダーの摺動向に
深い溝とこの深い溝から延びる複数の浅い絞り溝を有し
ている静圧流体軸受の、前記深い溝は摺動方向に直角で
かつ前記ガイド表面を取り巻く環状に配設すると共に、
前記絞り溝は摺動方向に治って配設した構成としたもの
である。
と、前記ガイド表面を囲みかっこのガイド表面を案内面
とするスライダーとを有し、前記スライダーの摺動向に
深い溝とこの深い溝から延びる複数の浅い絞り溝を有し
ている静圧流体軸受の、前記深い溝は摺動方向に直角で
かつ前記ガイド表面を取り巻く環状に配設すると共に、
前記絞り溝は摺動方向に治って配設した構成としたもの
である。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について、図面に基づいて説明
する。
する。
第６図は動作流体に気体を用いた静圧流体軸受である本
発明の拘束型スライド装置を示し、（Ｉｌｌは子軸形状
のガイド、Ｑ２１は前記ガイド（用表面を囲みかつこの
ガイトロリ表面を案内面として摺動するスライダーであ
る。第７図は前記スライダー（１２１の摺動向＋１３１
會示し、この摺動向０罎には、摺動方向（３）に直角で
かつ前記ガイド（１１１表面を取り巻く環状の深い溝（
以下エアーポケットと称す）ａ４［と、このエアーポケ
ッ） ｆ１４１から摺動方向（３）に削って延びる複数
のＴ字状の浅い絞り溝（以下Ｔ溝と称す）０句とが配設
さｎている。また、スライダー０２の一側壁には第８図
に示す工うに給気路０７）が設けらｎ、この給気路（１
ηと連通した給気孔Ｈが前記エアーポケットＩ内に開口
している。
発明の拘束型スライド装置を示し、（Ｉｌｌは子軸形状
のガイド、Ｑ２１は前記ガイド（用表面を囲みかつこの
ガイトロリ表面を案内面として摺動するスライダーであ
る。第７図は前記スライダー（１２１の摺動向＋１３１
會示し、この摺動向０罎には、摺動方向（３）に直角で
かつ前記ガイド（１１１表面を取り巻く環状の深い溝（
以下エアーポケットと称す）ａ４［と、このエアーポケ
ッ） ｆ１４１から摺動方向（３）に削って延びる複数
のＴ字状の浅い絞り溝（以下Ｔ溝と称す）０句とが配設
さｎている。また、スライダー０２の一側壁には第８図
に示す工うに給気路０７）が設けらｎ、この給気路（１
ηと連通した給気孔Ｈが前記エアーポケットＩ内に開口
している。
以下上記構成における作用について説明する。
外部からスライダー（１２１の給気路（Ｉηに供給さｎ
た気体は給気孔ＱＩｉ２経てエアーポケット０４１内に
至る。
た気体は給気孔ＱＩｉ２経てエアーポケット０４１内に
至る。
この工うにエアーポケットＩに供給さｎた気体は、ガイ
ド（１１）の案内面とスライダーＱ２１の摺動面ａ」と
の間隙全第１０図に矢印で示す如く摺動方向■両端部に
向かって排慨さｆＬる。そして、撓みによりガイド（川
の案内面とスライダーＱＺの摺動面囮との間隙量が貧化
しても、前記摺動面職のＴ溝（１句が構成さｎている方
向即ち摺動方向（３）には間隙量は一様であり、前記Ｔ
溝Ｑ旬は、このＴ溝−を構成している場所に２ける間隙
量に対して最適な形状即ち最も高い剛性が得られる形状
に設計することが容易となる。したがって剛性をあまり
犠牲にすることなくガイド（１１）およびスライダー（
１２１の厚さを薄くすることができると共に、ガイド（
川においては中空構造とすることが可能となり装置の小
型軽量化が図ｎる。なお、絞り溝０句の形状はＴ字状に
限るものではなく１字状であってもよい。
ド（１１）の案内面とスライダーＱ２１の摺動面ａ」と
の間隙全第１０図に矢印で示す如く摺動方向■両端部に
向かって排慨さｆＬる。そして、撓みによりガイド（川
の案内面とスライダーＱＺの摺動面囮との間隙量が貧化
しても、前記摺動面職のＴ溝（１句が構成さｎている方
向即ち摺動方向（３）には間隙量は一様であり、前記Ｔ
溝Ｑ旬は、このＴ溝−を構成している場所に２ける間隙
量に対して最適な形状即ち最も高い剛性が得られる形状
に設計することが容易となる。したがって剛性をあまり
犠牲にすることなくガイド（１１）およびスライダー（
１２１の厚さを薄くすることができると共に、ガイド（
川においては中空構造とすることが可能となり装置の小
型軽量化が図ｎる。なお、絞り溝０句の形状はＴ字状に
限るものではなく１字状であってもよい。
発明の効果
以上のように本発明に工ｎば次の効果を得ることができ
る。
る。
（１） スライダーはその摺動向のエアーポケットが
摺動方向に対して直角に設けらｎているため撓みに強く
、またＴ溝は間隙量に対して最も高い剛性が得らｎる形
状に設計できるため、静圧流体軸受である拘束型スフイ
ド装置等の撓みによる性能の低下を防止することができ
ると共に、装置の小型軽量化が図ｎる。
摺動方向に対して直角に設けらｎているため撓みに強く
、またＴ溝は間隙量に対して最も高い剛性が得らｎる形
状に設計できるため、静圧流体軸受である拘束型スフイ
ド装置等の撓みによる性能の低下を防止することができ
ると共に、装置の小型軽量化が図ｎる。
（２） 摺動面での動作流体の流−ｎけ摺動方向のみ
に限らｎるため、スライダー摺動面全面が動作流体エリ
受ける圧力の合力は大きくなり一般に負荷答量（スライ
ダーに加えることの出来る負荷荷重）が大きくなると共
に、流体の流量が減るためスライダーの減衰性も向上す
る。
に限らｎるため、スライダー摺動面全面が動作流体エリ
受ける圧力の合力は大きくなり一般に負荷答量（スライ
ダーに加えることの出来る負荷荷重）が大きくなると共
に、流体の流量が減るためスライダーの減衰性も向上す
る。
１３）給気路金スライダー内部に櫂り廻らす必要がなく
加工が簡単である。
加工が簡単である。
第１図は従来の静圧流体軸受である拘束型スライド装置
の斜視図、第２図は同スライダーの一部ケ示す斜視図、
第８図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第４図
は第１図に＄・けるＡ−Ａ断面図、第５図は第４図にお
けるガイドを中空にした場合の断面図、第６図は本発明
の−・実施例を示す静圧流体軸受である拘束型スライド
装置の斜視図、第７図は同スライダーの一部ケ示す斜視
図、第８図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第
９１￥１は従来のスライダー摺動面に２ける気体の流ｎ
方向を示す図、第１０図は本発明の一実施例のスライダ
ー摺動面における完陣の流ｎ方向を示す図である。 （川・・・ガイド、（１２１・・・スライダー、１１３
）・・・摺動面、Ｉ・・・エアーポケット、０旬・・・
Ｔ溝、（ｕ６・・・給気孔、（１′６・・・給気路、（
３）・・・スライダーの摺動方向代理人 森本義弘 第１図 第２図 第Ｓ図 第７図 第８図 ／σ 第２図 第π図
の斜視図、第２図は同スライダーの一部ケ示す斜視図、
第８図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第４図
は第１図に＄・けるＡ−Ａ断面図、第５図は第４図にお
けるガイドを中空にした場合の断面図、第６図は本発明
の−・実施例を示す静圧流体軸受である拘束型スライド
装置の斜視図、第７図は同スライダーの一部ケ示す斜視
図、第８図は同スライダーの内部構造會示す説明図、第
９１￥１は従来のスライダー摺動面に２ける気体の流ｎ
方向を示す図、第１０図は本発明の一実施例のスライダ
ー摺動面における完陣の流ｎ方向を示す図である。 （川・・・ガイド、（１２１・・・スライダー、１１３
）・・・摺動面、Ｉ・・・エアーポケット、０旬・・・
Ｔ溝、（ｕ６・・・給気孔、（１′６・・・給気路、（
３）・・・スライダーの摺動方向代理人 森本義弘 第１図 第２図 第Ｓ図 第７図 第８図 ／σ 第２図 第π図
Claims (1)
- Ｌ 子軸形状のガイドと、前記ガイド表面を囲みかつこ
のガイド表面を案内面とするスライダーとを有し、前記
スライダーの摺動面に深い溝とこの深い溝から延びる複
数の浅い絞り溝を有している静圧流体軸受であって、前
記深い溝は摺動方向に直角でかつ前記ガイド表面を取り
巻く褒状に配設すると共に、前記絞り溝は摺動方向に泪
って配設した静圧流体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12007482A JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12007482A JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5913120A true JPS5913120A (ja) | 1984-01-23 |
Family
ID=14777252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12007482A Pending JPS5913120A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静圧流体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5913120A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
| JPH01126425A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧スライド装置 |
| JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
| US5063322A (en) * | 1989-08-30 | 1991-11-05 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Feed mechanism with a sliding member guided by a hydrostatic bearing |
| JPH09317768A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受 |
| CN108071677A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-25 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP12007482A patent/JPS5913120A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
| JPH0517447Y2 (ja) * | 1987-04-28 | 1993-05-11 | ||
| JPH01126425A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧スライド装置 |
| JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
| US4974970A (en) * | 1989-02-04 | 1990-12-04 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
| US5063322A (en) * | 1989-08-30 | 1991-11-05 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Feed mechanism with a sliding member guided by a hydrostatic bearing |
| JPH09317768A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受 |
| CN108071677A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-25 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
| CN108071677B (zh) * | 2018-01-31 | 2024-02-27 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种气浮导轨 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4448460A (en) | Hydrostatic bearing | |
| US6585419B2 (en) | Shaft bearing member | |
| US4226483A (en) | Hydrostatic bearing component | |
| JP3665810B2 (ja) | 触媒コンバータにおける乱流誘発装置 | |
| KR880013773A (ko) | 냉각할 수 있는 얇은 금속시이트와 항공기 구동 가스 터어빈 엔진용 배기개스노즐 | |
| US3754799A (en) | Movable machine element supported with the aid of a gas or fluid bearing | |
| JPS5913120A (ja) | 静圧流体軸受 | |
| US11680645B2 (en) | Aspirating face seal assembly for a rotary machine | |
| US8282282B2 (en) | Motion guide device and method of assembling motion guide device | |
| US3603652A (en) | Slide bearings for machine tool way | |
| Prakash et al. | Squeeze film theory for micropolar fluids | |
| US10895324B2 (en) | Aspirating face seal assembly for a rotary machine | |
| JP5122905B2 (ja) | 静圧気体軸受 | |
| Sharma et al. | Performance of hydrostatic/hybrid journal bearings with unconventional recess geometries | |
| JPS5969523A (ja) | 流体軸受 | |
| JPS5913119A (ja) | 静圧流体軸受 | |
| US3508799A (en) | Gas bearings | |
| CN114922908B (zh) | 半分割轴承以及滑动轴承 | |
| Chen et al. | Eccentricity and misalignment effects on the performance of high-pressure annular seals | |
| US4281964A (en) | Turbine housing and method for making the same | |
| JP7313789B2 (ja) | 摺動部品 | |
| WO2020192554A1 (zh) | 一种气浮垫结构 | |
| JPS59170527A (ja) | 静圧流体軸受 | |
| JP3194590B2 (ja) | 可動体の案内装置 | |
| KAWABATA et al. | Spiral Grooved Bearing Utilizing the Pumping Effect of a Herringbone Journal Bearing: Method of Numerical Calculation and Intluences of Bearing Parameters |