JPS63171726U - - Google Patents

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JPS63171726U
JPS63171726U JP6569587U JP6569587U JPS63171726U JP S63171726 U JPS63171726 U JP S63171726U JP 6569587 U JP6569587 U JP 6569587U JP 6569587 U JP6569587 U JP 6569587U JP S63171726 U JPS63171726 U JP S63171726U
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図から第４図は本考案の一実施例を示すも
ので、第１図はエアーパツドの配置状態を示す斜
視図、第２図は第１図の―線位置における断
面図、第３図は第２図の要部を示す拡大図、第４
図は剛性モデルを示す図である。第５図は本考案
の他の実施例を示す図、第６図はさらに他の実施
例を示す図である。第７図から第１０図は従来例
を示すもので、第７図は三次元測定機の外観を示
す斜視図、第８図はＸ軸ビームの断面図、第９図
はＸ軸ビームとＸ軸スライダとの概略機構を示す
図、第１０図は温度変化によるエアーパツドの位
置関係を示す図である。 ５…Ｘ軸ビーム、６…Ｘ軸スライダ、２１Ａ，
２１Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ，２３Ａ，２３Ｂ，２４
Ｃ１，２４Ｃ２，２４Ｄ，６１Ａ，６１Ｂ…エア
ーパツド、３１…弾性部材としての皿ばね、５１
…弾性部材としてのダイヤフラム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互いに平行な摺動案内面を有する第１の部
    材と、この第１の部材の摺動案内面を挾んで対向
    配置された少なくとも一組のエアーパツドを有す
    る第２の部材とを備えた摺動案内装置において、 前記第１の部材と第２の部材とを互いに異なる
    線膨張係数を有する材料で形成するとともに、 前記組の少なくとも一方側のエアーパツドを、
    所定の温度変化に伴う前記第１の部材と第２の部
    材との熱収縮、膨張差分を吸収できる剛性を有す
    る弾性部材を介して前記第２の部材に係合した、 ことを特徴とする摺動案内装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
    前記第１の部材をセラミツクスにより形成すると
    ともに、前記第２の部材をアルミニウムにより形
    成したことを特徴とする摺動案内装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項または第２
    項において、弾性部材を皿ばねにより構成したこ
    とを特徴とする摺動案内装置。
JP1987065695U 1987-04-28 1987-04-28 Expired - Lifetime JPH0517447Y2 (ja)

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JPS63171726U true JPS63171726U (ja) 1988-11-08
JPH0517447Y2 JPH0517447Y2 (ja) 1993-05-11

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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