JPH0310206U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本考案に係る光学式変位
検出器の第１実施例を顕微鏡に適用した構成を示
すもので、第１図は全体構成を示す斜視図、第２
図は載物台部分の拡大平面図、第３図はスケール
部材を取付けた状態の取付部材を示す拡大斜視図
、第４図は第３図の平面図、第５図は第３図の分
解斜視図、第６図は本考案の第２実施例を示す正
面図、第７図は従来例の一部を示す一部切欠正面
図、第８図は第７図の−線に沿う断面図であ
る。 １０…光学式変位検出器、１２…取付部材、１
３…固定支持部、１４…弾性支持部、１５…スケ
ール部材、１５Ａ…背面、１５Ｂ…前面、１５Ｃ
…側面、１６…突出部、１７…固定部材、１８…
突出部、１９…弾性変形部材、２１…光学格子、
２３…照明手段、２６…インデツクススケール、
２８…検出回路、３０…顕微鏡、５０…位置調整
手段、５３，５４…移動手段としてのＹ軸用及び
Ｘ軸用のマイクロメータヘツド、Ｗ…被測定物。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 変位検出用の光学格子がその長手方向に沿
   つて形成されるスケール部材と、このスケール部
   材を一体的に保持する取付部材と、前期スケール
   部材に対向されて相対移動可能にされるとともに
   スケール部材の光学格子と同様な光学格子を有す
   るインデツクススケールと、このインデツクスス
   ケールと前記スケール部材とに対し前記光学格子
   を読み取るための照明光を出力する照明手段と、
   前記スケール部材とインデツクススケールとを相
   対変位させる際その相対変位量を検知する検出回
   路とを含む光学式変位検出器であつて、前記取付
   部材は、少なくとも１箇所以上の位置で前記スケ
   ール部材を保持する弾性支持部と、この弾性支持
   部とは異なる位置で前記スケール部材を固着する
   固定支持部とを備えることを特徴とする光学式変
   位検出器。 (2) 請求項１記載の光学式変位検出器において
   、固定支持部は、取付部材に設けられる突出部と
   スケール部材の背面との間に固定部材を介在させ
   て構成される一方、弾性支持部は、取付部材に設
   けられる突出部とスケール部材の背面および／ま
   たは側面との間に弾性変形部材を介在させて構成
   されることを特徴とする光学式変位検出器。