JPH04162742A - リード先端部の平坦度測定器 - Google Patents

リード先端部の平坦度測定器

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Publication number
JPH04162742A
JPH04162742A JP28900090A JP28900090A JPH04162742A JP H04162742 A JPH04162742 A JP H04162742A JP 28900090 A JP28900090 A JP 28900090A JP 28900090 A JP28900090 A JP 28900090A JP H04162742 A JPH04162742 A JP H04162742A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
prism
flatness
tip
surface plate
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Pending
Application number
JP28900090A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiminari Tajima
田島 公成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ICのリード先端部における平坦度を測定す
るリード先端部の平坦度測定器に関するものである。
〔従来の技術〕
第3図は従来のリード先端部の平坦度測定器の一例を示
す側面図である。従来、この種のI 、Cのリード先端
部の平坦度測定器は、同図に示すように、IC2を一側
面に平行になるように乗せる定盤1と、この定盤1の一
側面に接するように配置された反射鏡5お、反射鏡5よ
り反射する像を観察する顕微鏡(図示せず)とで構成さ
れていた。
また、このリード先端部の平坦度測定器を使用して、リ
ードの先端部の平坦度を測定する場合は、まず、IC2
のり−ド6の先端部が、定盤1の一側面と平行になるよ
うに、IC2を乗せる。
次に、顕微鏡により、リード6の先端部と定盤1との隙
間の像を反射鏡5で反射し、その像を観察し、その隙間
をAで示す寸法として定量的に測定し、この隙間をリー
ドの先端部の平坦度としていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のICのリード先端部の平坦度測定器は、
定盤の一側面にICのリード先端部を平行になるように
揃えて設置するので、しばしば平行に揃わず、焦点ぼけ
等を起し正確に測定出来ないという欠点がある。また、
ICを定盤の一側面に平行に位1決めすることが困難で
あるという欠点がある。
本発明の目的は、かかる欠点を解消するリード先端部の
平坦度測定器を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のリード先端部の平坦度測定器は、側面より突出
するとともに一方側に折れ、折り返される複数のリード
をもつICを一側面に平行に乗せる定盤と、この定盤の
直線状の前記一側面に透過面を接触させて配置されるプ
リズム体と、このプリズム体より反射される像を観察す
る顕微鏡とを備え、前記リードの先端部と前記定盤との
隙間を前記プリズム体を介して前記顕微鏡で観察し、測
定することを特徴としている。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示すリード先端部の平坦
度測定器の側面図である。このリード先端部の平坦度測
定器は、同図に示すように、定盤1の一側面に接するプ
リズム固定台4とプリズム3とを設けたことである。こ
のことにより、リード先端部の平坦度を測定する場合に
、このプリズム3の面にIC2のリード6の先端部を押
し付けることにより、リードの先端部は揃う。従ってプ
リズム3の光の透過面と平行になり、像のぼけ、収差が
なくなり、隙間寸法Aを正確に読み取ることが出来る。
第2図は本発明の他実施例を示すリード先端部の平坦度
測定器の側面図である。このリード先端部の平坦度測定
器は、外郭体の側面よりリード6aが突出しない型のI
C2に適用するものである。このなめ、リード6の測定
すべき部、すなわち、定盤1とリード6aに接する部分
に、定盤1側に段差部7を設けたことである。このこと
により、顕微鏡の同一焦点領域内にあるので、隙間寸法
Aを正確に測定することが出来る。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、ICを搭載する定盤の一
側面に接するプリズムを設け、リードをこのプリズムの
光透過面に押し付けることにより定盤の一側面にICの
リードの先端を容易に揃えることができる。従って、リ
ード先端部の平坦度を容易に、かつ高精度に測定できる
リード先端部の平坦度測定器が得られるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すリード先端部の平坦度
測定器の側面図、第2図は本発明の他の実施例を示すリ
ード先端部の平坦度測定器の側面図、第3図は従来のリ
ード先端部の平坦度測定器の一例を示す側面図である。 1・・・定盤、2・・・ICl3・・・プリズム、4・
・・プリズム固定台、5・・・反射鏡、6.6・・・リ
ード、7・・・段差部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  側面より突出するとともに一方側に折れ、折り返され
    る複数のリードをもつICを一側面に平行に乗せる定盤
    と、この定盤の直線状の前記一側面に透過面を接触させ
    て配置されるプリズム体と、このプリズム体より反射さ
    れる像を観察する顕微鏡とを備え、前記リードの先端部
    と前記定盤との隙間を前記プリズム体を介して前記顕微
    鏡で観察し、測定することを特徴とするリード先端部の
    平坦度測定器。
JP28900090A 1990-10-26 1990-10-26 リード先端部の平坦度測定器 Pending JPH04162742A (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63164231A (ja) * 1986-12-25 1988-07-07 Toshiba Corp 半導体リ−ド外観検査装置
JPH0255106B2 (ja) * 1980-04-07 1990-11-26 Tee Pak Inc

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0255106B2 (ja) * 1980-04-07 1990-11-26 Tee Pak Inc
JPS63164231A (ja) * 1986-12-25 1988-07-07 Toshiba Corp 半導体リ−ド外観検査装置

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