JPS59134005U - 光学式機械量測定装置 - Google Patents
光学式機械量測定装置Info
- Publication number
- JPS59134005U JPS59134005U JP2565383U JP2565383U JPS59134005U JP S59134005 U JPS59134005 U JP S59134005U JP 2565383 U JP2565383 U JP 2565383U JP 2565383 U JP2565383 U JP 2565383U JP S59134005 U JPS59134005 U JP S59134005U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mechanical quantity
- target
- measuring device
- quantity measuring
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、公知のマイケルソン変位計の一例を示す構成
説明図、第2図は本考案に係る装置の一例を示す構成説
明図、第3図は第2図装置においてフォトダイオードア
レイ上に作られる干渉縞の一例を示す図、第4図は第2
図装置において、フォトダイオードアレイ6から得られ
る周波数信号faの周波数スペクトルを示す説明図、第
5図は信号処理回路の一例を示すブロック図である。 1・・・・・・レーザ光源、2・・・・・・偏向ビーム
スプリッタ−13・・・・・・ターゲット、4・・・・
・・固定ミラー、6・・・・・・フォトダイオードアレ
イ、7・・・・・・λ14板。
説明図、第2図は本考案に係る装置の一例を示す構成説
明図、第3図は第2図装置においてフォトダイオードア
レイ上に作られる干渉縞の一例を示す図、第4図は第2
図装置において、フォトダイオードアレイ6から得られ
る周波数信号faの周波数スペクトルを示す説明図、第
5図は信号処理回路の一例を示すブロック図である。 1・・・・・・レーザ光源、2・・・・・・偏向ビーム
スプリッタ−13・・・・・・ターゲット、4・・・・
・・固定ミラー、6・・・・・・フォトダイオードアレ
イ、7・・・・・・λ14板。
Claims (1)
- 2波長レーザ光源からのレーザビームのひとつを反射面
又は拡散面を有し被測定機械量が与えられるターゲット
に照射するとともに、他のひとつを前記光源の光軸に対
して僅かに傾けた反射面又は拡散面を有した固定ミラー
に照射し、前記ターゲット及び固定ミラーからの反射光
又は拡散光をフォトダイオードアレイで受光し、このフ
ォトダイオードアレイから得られる周波数信号の周波数
シフトから前記ターゲットに与えられる機械量を知るよ
うにした光学式機械量測定装置。 ゛
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2565383U JPS59134005U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 光学式機械量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2565383U JPS59134005U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 光学式機械量測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59134005U true JPS59134005U (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=30156631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2565383U Pending JPS59134005U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 光学式機械量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59134005U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304229A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Univ Nihon | 変位計測システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2565383U patent/JPS59134005U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304229A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Univ Nihon | 変位計測システム |
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