JPS59134005U - 光学式機械量測定装置 - Google Patents

光学式機械量測定装置

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JPS59134005U
JPS59134005U JP2565383U JP2565383U JPS59134005U JP S59134005 U JPS59134005 U JP S59134005U JP 2565383 U JP2565383 U JP 2565383U JP 2565383 U JP2565383 U JP 2565383U JP S59134005 U JPS59134005 U JP S59134005U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mechanical quantity
target
measuring device
quantity measuring
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP2565383U
Other languages
English (en)
Inventor
敏嗣 植田
英治 荻田
大輔 山崎
Original Assignee
横河電機株式会社
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Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP2565383U priority Critical patent/JPS59134005U/ja
Publication of JPS59134005U publication Critical patent/JPS59134005U/ja
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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、公知のマイケルソン変位計の一例を示す構成
説明図、第２図は本考案に係る装置の一例を示す構成説
明図、第３図は第２図装置においてフォトダイオードア
レイ上に作られる干渉縞の一例を示す図、第４図は第２
図装置において、フォトダイオードアレイ６から得られ
る周波数信号ｆａの周波数スペクトルを示す説明図、第
５図は信号処理回路の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・レーザ光源、２・・・・・・偏向ビーム
スプリッタ−１３・・・・・・ターゲット、４・・・・
・・固定ミラー、６・・・・・・フォトダイオードアレ
イ、７・・・・・・λ１４板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ２波長レーザ光源からのレーザビームのひとつを反射面
    又は拡散面を有し被測定機械量が与えられるターゲット
    に照射するとともに、他のひとつを前記光源の光軸に対
    して僅かに傾けた反射面又は拡散面を有した固定ミラー
    に照射し、前記ターゲット及び固定ミラーからの反射光
    又は拡散光をフォトダイオードアレイで受光し、このフ
    ォトダイオードアレイから得られる周波数信号の周波数
    シフトから前記ターゲットに与えられる機械量を知るよ
    うにした光学式機械量測定装置。　゛
JP2565383U 1983-02-23 1983-02-23 光学式機械量測定装置 Pending JPS59134005U (ja)

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JP2565383U JPS59134005U (ja) 1983-02-23 1983-02-23 光学式機械量測定装置

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JPS59134005U true JPS59134005U (ja) 1984-09-07

Family

ID=30156631

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JP2565383U Pending JPS59134005U (ja) 1983-02-23 1983-02-23 光学式機械量測定装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008304229A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Univ Nihon 変位計測システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5786007A (en) * 1980-09-22 1982-05-28 Philips Nv Interference gauge

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5786007A (en) * 1980-09-22 1982-05-28 Philips Nv Interference gauge

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