RU1770739C - Устройство дл измерени угловых перемещений объекта - Google Patents
Устройство дл измерени угловых перемещений объектаInfo
- Publication number
- RU1770739C RU1770739C SU904805699A SU4805699A RU1770739C RU 1770739 C RU1770739 C RU 1770739C SU 904805699 A SU904805699 A SU 904805699A SU 4805699 A SU4805699 A SU 4805699A RU 1770739 C RU1770739 C RU 1770739C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- angular displacements
- measuring angular
- objects
- photodetector
- beam splitter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптике и контрольно-измерительной технике, в частности к оптическим устройствам на дифракционных решетках с использованием муаровых или интерференционных полос дл отсчета угловых перемещений. Цель изобретени - повышение точности измерени . С помощью лазера 1 и светоделител 4 создаютс два пучка, один из которых,отража сь от светоделител 4, образует первую опорную ветвь устройства, а другой проходит его и падает на первое 2 и второе 6 зеркала. При вращении решетки 3, св занной с объектом, угловое положение которого измер етс , происходит движение интерференционных полос в обеих картинах , которые дополнительно увеличиваютс объективом и считываютс - соответственно перва фотоприемником 5, втора фотоприемником 8, 2 ил.
Description
Фиг. 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904805699A RU1770739C (ru) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904805699A RU1770739C (ru) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1677514 Addition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1770739C true RU1770739C (ru) | 1992-10-23 |
Family
ID=21503664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904805699A RU1770739C (ru) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1770739C (ru) |
-
1990
- 1990-03-26 RU SU904805699A patent/RU1770739C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 721668, кл. G01 В 11/26, 1980. Авторское свидетельство СССР Мг 1677514, кл. G 01 В 11/26, 10.03.89. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3682675D1 (de) | Interferometrische maskensubstratausrichtung. | |
ATE56537T1 (de) | Laengenmessvorrichtung nach dem zweistrahl-laser- interferometerprinzip. | |
US5206704A (en) | Position measuring apparatus and method of use thereof | |
ATE105402T1 (de) | Positionsmesseinrichtung. | |
RU1770739C (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
ATE187245T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung einer verschiebung | |
RU2092787C1 (ru) | Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
SU1693369A1 (ru) | Устройство дл определени нулевого положени объекта | |
SU1118852A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений | |
SU1518663A1 (ru) | Интерферометр дл измерени поперечных перемещений | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU1652809A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1196686A1 (ru) | Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений | |
SU1435935A1 (ru) | Способ определени геометрических размеров отражающих объектов | |
JPS6041287B2 (ja) | 微小角測定方法 | |
SU1429084A1 (ru) | Устройство дл записи интерферограмм | |
SU1620826A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий и устройство дл его осуществлени | |
SU1471065A1 (ru) | Спекл-интерферометр | |
SU1213395A1 (ru) | Устройство дл измерени углов с коррекцией вли ни рефракции | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1534298A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объекта | |
SU1437680A1 (ru) | Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта | |
SU1186940A1 (ru) | Голографический интерферометр дл измерени формы сферических оптических поверхностей | |
SU1567869A1 (ru) | Интерферометр дл измерени перемещений |