RU1770739C - Устройство дл измерени угловых перемещений объекта - Google Patents

Устройство дл измерени угловых перемещений объекта

Info

Publication number
RU1770739C
RU1770739C SU904805699A SU4805699A RU1770739C RU 1770739 C RU1770739 C RU 1770739C SU 904805699 A SU904805699 A SU 904805699A SU 4805699 A SU4805699 A SU 4805699A RU 1770739 C RU1770739 C RU 1770739C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
angular displacements
measuring angular
objects
photodetector
beam splitter
Prior art date
Application number
SU904805699A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Владимирович Галушко
Виктор Николаевич Ильин
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU904805699A priority Critical patent/RU1770739C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1770739C publication Critical patent/RU1770739C/ru

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к оптике и контрольно-измерительной технике, в частности к оптическим устройствам на дифракционных решетках с использованием муаровых или интерференционных полос дл  отсчета угловых перемещений. Цель изобретени  - повышение точности измерени . С помощью лазера 1 и светоделител  4 создаютс  два пучка, один из которых,отража сь от светоделител  4, образует первую опорную ветвь устройства, а другой проходит его и падает на первое 2 и второе 6 зеркала. При вращении решетки 3, св занной с объектом, угловое положение которого измер етс , происходит движение интерференционных полос в обеих картинах , которые дополнительно увеличиваютс  объективом и считываютс  - соответственно перва  фотоприемником 5, втора  фотоприемником 8, 2 ил.

Description

Фиг. 2
SU904805699A 1990-03-26 1990-03-26 Устройство дл измерени угловых перемещений объекта RU1770739C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904805699A RU1770739C (ru) 1990-03-26 1990-03-26 Устройство дл измерени угловых перемещений объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904805699A RU1770739C (ru) 1990-03-26 1990-03-26 Устройство дл измерени угловых перемещений объекта

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1677514 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1770739C true RU1770739C (ru) 1992-10-23

Family

ID=21503664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904805699A RU1770739C (ru) 1990-03-26 1990-03-26 Устройство дл измерени угловых перемещений объекта

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1770739C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 721668, кл. G01 В 11/26, 1980. Авторское свидетельство СССР Мг 1677514, кл. G 01 В 11/26, 10.03.89. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3682675D1 (de) Interferometrische maskensubstratausrichtung.
ATE56537T1 (de) Laengenmessvorrichtung nach dem zweistrahl-laser- interferometerprinzip.
US5206704A (en) Position measuring apparatus and method of use thereof
ATE105402T1 (de) Positionsmesseinrichtung.
RU1770739C (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений объекта
ATE187245T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung einer verschiebung
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
SU1413415A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий
SU1693369A1 (ru) Устройство дл определени нулевого положени объекта
SU1118852A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений
SU1518663A1 (ru) Интерферометр дл измерени поперечных перемещений
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU1652809A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1196686A1 (ru) Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений
SU1435935A1 (ru) Способ определени геометрических размеров отражающих объектов
JPS6041287B2 (ja) 微小角測定方法
SU1429084A1 (ru) Устройство дл записи интерферограмм
SU1620826A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий и устройство дл его осуществлени
SU1471065A1 (ru) Спекл-интерферометр
SU1213395A1 (ru) Устройство дл измерени углов с коррекцией вли ни рефракции
SU712654A1 (ru) Интерферометр
SU1534298A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
SU1437680A1 (ru) Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта
SU1186940A1 (ru) Голографический интерферометр дл измерени формы сферических оптических поверхностей
SU1567869A1 (ru) Интерферометр дл измерени перемещений