SU1472754A1 - Интерференционный способ измерени линейных перемещений - Google Patents
Интерференционный способ измерени линейных перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1472754A1 SU1472754A1 SU874313391A SU4313391A SU1472754A1 SU 1472754 A1 SU1472754 A1 SU 1472754A1 SU 874313391 A SU874313391 A SU 874313391A SU 4313391 A SU4313391 A SU 4313391A SU 1472754 A1 SU1472754 A1 SU 1472754A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- center
- interference
- light intensity
- field
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области измерительной техники и может быть использовано дл измерени малых линейных перемещений. Цель изобретени - расширение функциональных возможностей за счет измерени положени объекта относительно центра сход щегос измерительного пучка путем сравнени интенсивности света в двух точках интерференционного пол .Гомоцентрический когерентный пучок с помощью делител 1 раздел етс на два: измерительный и опорный. Отражатель 3 формирует опорный гомоцентрический пучок, который сопр гаетс с пучком, отраженным от поверхности 6 объекта. В плоскости интерференционной картины установлены приемники 4 и 5 излучени (один из них располагаетс на оптической оси), преобразующие излучение в электрические сигналы, разность фаз между которыми пропорциональна рассто нию между отражающей поверхностью 6 и центром сход щегос измерительного пучка. 2 ил.
Description
.
I
(риг.г
Claims (1)
- Формула изобретенияИнтерференционный способ измерения линейных перемещений, заключающийся в том, что из гомоцентрического светового пучка формируют взаимно когерентные опорный и сходящийся измерительный пучки, формируют интерференционное .-поле путем совмещения отражаемого от объекта обратного измерительного пучка под нулевым углом с опорным пучком, регистрируют интенсивность света в центре интерференционного поля, а о величине перемещения судят по изменению интенсивности света в интерференционном поле, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет измерения положения 'объекта относительно центра сходящегося измерительного пучка, регистрируют интенсивность света на краю интерференционного поля, а о положении объекта судят по разности фаз интенсивности света в центре и на краю.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874313391A SU1472754A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Интерференционный способ измерени линейных перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874313391A SU1472754A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Интерференционный способ измерени линейных перемещений |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1472754A1 true SU1472754A1 (ru) | 1989-04-15 |
Family
ID=21330570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874313391A SU1472754A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Интерференционный способ измерени линейных перемещений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1472754A1 (ru) |
-
1987
- 1987-10-05 SU SU874313391A patent/SU1472754A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Коломейцев Ю.В. Интерферометры. М.: Машиностроение, 1976, с. 184. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0279347B1 (en) | Optical axis displacement sensor | |
| US4969736A (en) | Integrated fiber optic coupled proximity sensor for robotic end effectors and tools | |
| US5026985A (en) | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors | |
| ATE92640T1 (de) | Frequenzmoduliertes laser-radar. | |
| ATE89411T1 (de) | Positionsmesseinrichtung. | |
| JP2732849B2 (ja) | 干渉測長器 | |
| JPS57207805A (en) | Displacement measuring device | |
| SU1472754A1 (ru) | Интерференционный способ измерени линейных перемещений | |
| RU2092787C1 (ru) | Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления | |
| US4733968A (en) | Datum sensing using optical grating | |
| Shudong | Optical FM heterodyne interferometry for range and displacement measurements | |
| SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
| SU1330455A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ни | |
| SU1693369A1 (ru) | Устройство дл определени нулевого положени объекта | |
| SU1652809A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
| SU1299319A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолютного значени ускорени силы т жести | |
| SU1196686A1 (ru) | Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений | |
| JPS56118609A (en) | Measuring method for azimuth angle of magnetic head | |
| SU1101672A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени деформаций | |
| SU1525444A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
| SU1619014A1 (ru) | Интерферометр | |
| RU1770739C (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
| SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
| SU1275205A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
| SU1696854A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта |