SU1619014A1 - Интерферометр - Google Patents
Интерферометр Download PDFInfo
- Publication number
- SU1619014A1 SU1619014A1 SU894643051A SU4643051A SU1619014A1 SU 1619014 A1 SU1619014 A1 SU 1619014A1 SU 894643051 A SU894643051 A SU 894643051A SU 4643051 A SU4643051 A SU 4643051A SU 1619014 A1 SU1619014 A1 SU 1619014A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- interferometer
- diaphragm
- axis
- holes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл определени перемещений точек поверхности методом спекл-интерферометрии. Целью изобретени вл етс повышение информативности за счет обеспечени возможности получени интерференционной картины по всей исследуемой поверхности. Проход через систему микрообъектива 1 и линзы 3, излучение коллимируетс и освещает поверхность объекта. Отраженное излучение фокусируетс линзой 3 на отверсти диафрагмы 4 и зеркалами 5 и 6, размещенными в отверсти х, переотражаетс на линзу 7, котора строит изображение в плоскости фоторегистратора 8 до и после перемещени объекта, в результате чего возникает интерференционна картина . 1 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при исследовании перемещения точек поверхности методами когерентной оптики.
Целью изобретения является повышение чувствительности по всей исследуемой поверхности объекта.
На чертеже представлена оптическая схема интерферометра.
Интерферометр содержит источник корегентного излучения (не показан), систему освещения объекта, состоящую из микрообъектива 1, плоского зеркала 2 и коллимирующей линзы 3, диафрагму 4 с двумя симметрично расположенными относительно оси интерферометра отверстиями, в которых размещены плоские зеркала 5 и 6, ориентированные так, что нормали к их поверхности совпадают с линией, соединяющей отверстия диафрагмы 4, линзу 7, строющую совместно с линзой 3 изображение исследуемого объекта на фоторегистраторе 8. Кроме того, показана исследуемая поверхность объекта 9, на которую может наноситься отражающее дифракционное покрытие 10, выполненное в виде высокочастотного растра.
Интерферометр работает следующим образом.
Пучок когерентного излучения, пройдя через микрообъектив 1, размещенный в фокусе линзы 3, направляется зеркалом 2 в сторону исследуемого объекта и коллимируется перед объектом линзой 3. Сформированная линзой 3 плоская волна когерентного излучения падает на поверхность диффузно-отражающего объекта 9, рассеивается этой поверхностью и вновь попадает на линзу 3. Излучение, рассеянное объектом в направлениях, совпадающих с направлениями от центра линзы на отверстия диафрагмы 4, фокусируется линзой 3 на поверхности плоских зеркал 5 и 6, размещенных в точечных отверстиях диафрагмы 4, расположенной в фокальной плоскости линз 3 и 7. Выделенные пучки зеркалами 5 и 6 направляются на линзу 7, которой фокусируются в плоскости фоторегистратора 8, размещенного симметрично исследуемой поверхности объекта относительно плоскости диафрагмы, и образуют там интерференционную картину. Остальная часть излучения, рассеянного объектом 9, задерживается непрозрачной частью диафрагмы 4.
Если интерферометр снабжен дополнительно высокочастотным отражательным растром 10, нанесенным на исследуемую поверхность объекта 9, то излучение, падающее на объект и дифрагированное растром - покрытием, делится на три плоских волны: нулевого, плюс и минус первого порядков дифракции. При этом пучкиЦ порядков фокусируются в точку линзой 3 на поверхности зеркал 5 и 6 в отверстиях диафрагмы 4. А пучок нулевого порядка задерживается непрозрачной частью диафрагмы 4. Далее все происходит аналогично случаю диффузно-отражающего объекта.
Так как чувствительность интерферометра определяется разностью векторов, определяющих направления на отверстиях диафрагмы 4, то естественный путь повышения чувствительности - увеличение апертурного угла за счет уменьшения до минимума расстояния между исследуемой поверхностью объекта 9 и линзой 3, и разнесение от оптической оси отверстий диафрагмы 4. В этом случае чувствительность зависит только от величины индикатриссы рассеяния излучения исследуемой поверхностью, либо от угла дифракции растра покрытия. Причем введение растра - покрытия позволяет исследовать с помощью предлагаемого интерферометра как диффузно-отражаадщие, так и прозрачные и зеркальные объекты.
Claims (1)
- Формула изобретенияИнтерферометр, содержащий источник когерентного излучения, систему освещения объекта и расположенные последовательно по оси интерферометра держатель объекта, два плоских зеркала, размещенных симметрично относительно оси интерферометра, диафрагму с двумя отверстиями, расположенными симметрично оси интерферометра, фокусирующую линзу и фото регистратор, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительйости по всей исследуемой области, он снабжен дополнительной линзой, выполненной с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию фокусирующей линзы, и установленной на оси интерферометра между держателем объекта и диафрагмой непосредственно около держателя объекта, фокусирующая линза установлена так, что ее фокальная плоскость совмещена с фокальной плоскостью дополнительной линзы, диафрагма размещена в плоскости совмещения фокальных плоскостей фокусирующей и дополнительной линз, плоские зеркала установлены в отверстиях диафрагмы и ориентированы так, что нормали к их поверхностям расположены на линии, соединяющей отверстия диафрагмы, а система освещения выполнена в виде формирователя расходящегося пучка и размещена так, что центр формирования пучка расположен от дополнительной линзы на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894643051A SU1619014A1 (ru) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Интерферометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894643051A SU1619014A1 (ru) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Интерферометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1619014A1 true SU1619014A1 (ru) | 1991-01-07 |
Family
ID=21425375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894643051A SU1619014A1 (ru) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Интерферометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1619014A1 (ru) |
-
1989
- 1989-01-26 SU SU894643051A patent/SU1619014A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1471065, кл. G 01 В 9/021, 1989. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0374242A1 (en) | Compact portable diffraction moire interferometer | |
US5493398A (en) | Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing-method for the measurement of deformations | |
US4893003A (en) | Circle-to-line interferometer optical system | |
SU1619014A1 (ru) | Интерферометр | |
US5355209A (en) | Device for measuring the diameter of an object that is largely cylindrical, for example an optical fiber, without contact | |
Tiziani | Optical techniques for shape measurements | |
US6297497B1 (en) | Method and device for determining the direction in which an object is located | |
GB1524830A (en) | Flow measurement apparatus | |
RU2186336C1 (ru) | Интерферометр для измерения формы поверхности оптических изделий | |
JP3461566B2 (ja) | 円錐形状測定用干渉計 | |
JP3003964B2 (ja) | 測長用干渉計 | |
SU1651106A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров колебаний объекта | |
Su et al. | Aperture of scatter plate and its effect on fringe contrast in a scatter plate interferometer | |
GB1568212A (en) | Interferometric methods for measuring surface displacements or differences in surface shape | |
JP3150761B2 (ja) | 簡易位相シフト干渉計 | |
US4516854A (en) | Interferometric angular measurement system | |
JP2553662B2 (ja) | ホログラム測距装置 | |
SU1471065A1 (ru) | Спекл-интерферометр | |
JPH03243804A (ja) | 非球面の形状測定方法 | |
KR100227152B1 (ko) | 빛의 간섭현상을 이용한 유리제품표면굴곡 검사장치 | |
SU1633272A1 (ru) | Интерферометр | |
JP2000097657A (ja) | 干渉計 | |
RU1791701C (ru) | Интерферометр дл контрол качества поверхностей оптических деталей | |
RU2092786C1 (ru) | Интерферометр майкельсона с подвижным отражателем (его варианты) | |
US4372684A (en) | Holographic apparatus to measure the surface figure of a nonlinear axicon and other optical elements |