SU1471065A1 - Спекл-интерферометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к устройствам дл  интерференционных измерений и предназначено дл  исследовани  перемещений поверхности диффузно отражающих объектов в различных точках. Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности измерени  перемещений в отдельной точке объекта за счет увеличени  эффективной величины апертурного угла. Дл  этого спекл-интерферометр снабжено двум  зеркалами 7 и 8, переотражающими излучение от точки 11 объекта 10, не попадающее непосредственно на фокусирующую линзу 1 через отверсти  3 и 4 диафрагмы 2 на фоторегистратор 9. Друга  часть излучени  (диффузно рассе нным объектом 10) задерживаетс  непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковыми стенками цилиндрических бленд 5 и 6. 1 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам для интерференционных измерений и предназначено для исследования перемещений поверхности диффузно отражающих объектов в отдельных точках.

Целью изобретения является повышение чувствительности измерения перемещений в отдельной точке объекта, находящейся на оси интерферометра за ю счет увеличения эффективной величины апертурного угла.

На чертеже представлена схема , спекл-интерферометра.

Интерферометр содержит источник 15 когерентного излучения и систему освещения объекта (не показаны),фокусирующую линзу 1, диафрагму 2 с двумя симметрично расположенными относительно оси интерферометра отверс-20 тиями 3 и 4, выполненными с цилиндрическими блендами 5 и 6, и два зеркала 7 и 8, размещенные в плоскости расположения оптической оси и отверстий 3 и 4 и ориентированные так, 25 что нормали к их поверхностям совпадают с биссектрисами углов между направлениями от зеркал 7 и 8 на точку с повышенной чувствительностью, расположенную на оси и от зеркал 7 и 8 30 на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 соответственно, и фоторегистратор 9, на который линза 1 фокусирует излуче-т ние, прошедшее через отверстия 3 и 4; позицией 10 обозначен исследуемый 35 объект, для точки И которого интерферометр обладает повышенной чувствительностью, а позицией 12 - освещающий объект 11 пучок когерентного излучения. 40

Спекл-интерферометр’работает следующим образом.

Система освещения обеспечивает освещение в направлении окрестности 45 исследуемой точки 11 объекта I0, расположенной на месте пересечения объекта с оптической осью интерферометра. Так как исследуемая окрестность мала, то возможно использование нерасширенного лазерного пучка. Часть излучения, рассеянного объектом, попадает на зеркала 7 и 8 и направляется ими через отверстия 3 и 4 с блендами 5 и 6 на линзу 1. Линзой 1 пучки фокусируются в плоскости регистратора 9 и образуют там интерфе?ренционную картину. Другая часть излучения, диффузнорассеянного объектом 10, задерживается непрозрач ной частью диафрагмы 2 и боковыми поверхностями бленд 5 и 6.

Уравнение, описывающее порядок интерференционной полосы через величину смещения и геометрию схемы, имеет вид + й К = 2tN, где — вектор смещения точки , объекта;

ΔΚ_Μ - разность векторов, определяющих направление на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2.

Из указанного выражения вытекает, что обеспечивается повышение чувствительности спекл-интерферометра за счёт увеличения числовой апертуры и тем самым увеличение йК„.Применяемые линзы имеют соотношение диаметра и фокуса не более 1:1,5,что ограничивает угол между оптической осью и направлениями на отверстая. Дальнейшее увеличение апертурного угла по всему полю невозможно. Однако предлагаемый интерферометр позволяет для некоторых точек увеличивать в пределе эффективный апертурный угол до величины 1Г за счет введения дополнительных зеркал 7 и 8.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Спекл-интерферометр, содержащий источник когерентного излучения,систему освещения объекта и расположенные последовательно по оси интерферометра фокусирующую линзу, диафрагму с двумя отверстиями, ориентированную так, что отверстия расположены симметрично относительно оси интерферометра, и фоторегистратор, отлич ающи.йс я тем, что, с целью повышения чувствительности в фиксированной точке, расположенной на оси интерферометра, он снабжен двумя плоскими зеркалами, расположенными симметрично относительно оси интерферометра и ориентированными так, что нормали их поверхности расположены в плоскости оптической оси и отверстий диафрагмы и совпадают с биссектрисой угла между направлениями от зеркал на фиксированную точку и на соответствующие отверстия диафрагмы, а отверстия диафрагмы выполнены с цилиндрическими блендами, ориентированными так, что их оси сов· падают с направлениями от зеркал на отверстия.