SU1578462A1 - Способ измерени малых угловых поворотов объекта - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, может быть использовано дл  измерени  пр молинейности и плоскостности. Целью изобретени   вл етс  повышение информативности за счет измерени  угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикул рных направлени х. Способ заключаетс  в том, что коллимированный поток излучени  формируют сход щимс , дел т его на два потока, каждый из которых направл ют на зеркально отражающие поверхности, одну из них принимают за контролируемую, отражающие поверхности располагают на различных рассто ни х от точек фокусировки сход щихс  потоков. Отраженные от зеркальных поверхностей потоки совмещают и, наблюда  интерференционную картину, определ ют положение ее центра. По модулю вектора смещени  центра интерференционной картины вычисл ют угловые повороты контролируемой зеркальной поверхности. 1 ил.

Description

(21)4272488/24-28

(22)01.07.87

(46) 15.07.ЯО. Бюл. Р 26

(71)Институт повышени  квалификации специалистов народного хоз йства ЛитССР

(72)А.И.Аугустантис, Р.И.Банс вичюс и В.П.Гинетис

(53)531.717:535.854 (088.8)

(56)Коронкевич В.П. и др. Современные лазерные интерферометры. - Новосибирск: Наука, 1985, с.32,78-81.

(54)СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ УГЛОВЫХ ПОВОРОТОВ ОБЪЕКТА

(57)Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, может быть использовано дл  измерени  пр молинейности и плоскостности. Целью изобретени   вл етс  повышение информативности за счет измерени  угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикул рных направлени х. Способ объекта заключаетс  втом, что коллимировэнный поток излучени  формируют сход щимс , дел т его на два потока, каждый из которых направл ют на зеркально отражающие поверхности, одну из них принимают за контролируемую, отражающие поверхности располагают на различных рассто ни х от точек фокусировки сход щихс  потоков. Отраженные от зеркальных поверхностей потоки совмещают и, наблюда  интерференционную картину, определ ют положение ее центра. По модулю вектора смещени - центра интерференционной картины вычисл ют угловые повороты контролируемой зеркальной поверхности. 1 ил.

S

(Л

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  пр - молинейности и плоскостности.

Цель изобретени  - повышение информативности за счет измерени  угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикул рных направлени х.

На чертеже показана оптическа  схема устройства.

Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, фокусирующую линзу 3, светоделитель 4, контролируемое зеркало 5, опорное зеркало 6, экран 7

блока отработки интерференционной картины.

Способ дл -измерени  малых угловых поворотов объекта состоит в том, что коллимированный поток излучени  формируют сход щимс , дел т на два потока и каждый из них направл ют на соответствующую отражающую поверхность . Одна из поверхностей устанавливаетс  на объекте, друга  служит в качестве опорной. Отраженные от поверхностей потоки излучени  совмещают и, наблюда  интерференционную картину на экране, определ ют положение ее центра. По

СП

оо

Јь

05

Г

модулю вектора смещени  центра интерференционной картины вычисл ют угловые повороты зеркальной поверхности , а следовательно, и объекта. Если поверхность обеспечивает зеркальное отражение потока излучени , то объект можно устанавливать в потоке излучени  непосредственно на некотором рассто нии от точки фокуса

Устройство., реализующее данный способ измерени , работает следующим образом.

Луч света, излучаемый лазером 1, проходит коллиматор 2, фокусируетс  линзой 3 в точку,А. Светоделитель 4 делит световую волну на две, которые отразившись от опорного зеркала 6 и контролируемого зеркала 5, как бы образуютс  двум  источниками излучени , расположенными в точках А и А,,, при этом поверхности наход тс  от этих источников на рассто ни х 6 и а. Отраженные от з еркал 5 и 6 когерентные волны имеют сферические фронты и отличаютс  их радиусами. Интерфериру , они образуют на экране 7 блока обработки кольцевую структуру, положение модул  вектора центра которой и угол поворота контролируемого зеркала 5 св заны соотношением:

3 M(1/R, - 1/R2),, где М - модуль вектора смещени  центра;

R j и R - радиусы фронтов интер- Ъерирующих волн.

а.

1578Д62

Измер   модуль вектора смещени  центра интерференционной картины, вычисл ют угловые повороты контролируемого зеркала 5.

5

0

5

0

5

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ измерени  малых угловых поворотов объекта, заключающийс  в том, что коллимированный поток излучени  раздел ют на два потока, один направл ют на опорное зеркало, а другой - на контролируемое, совмещают отраженные потоки, регистрируют положение интерференционной картины и определ ют угловое положение объекта , отличающийс  тем, что, с целью повышени  информативности за счет измеренит угловых поворотов контролируемого зеркала в двух взаимно перепендикул рных направлени х , в нем с помощью оптической системы перед разделением потоков формируют их сход щимис , опорное и контролируемое зеркала смещают из точек фокуса оптической системы , а угловое положение определ ют по положению модул  вектора смещени  центра интерференционной картины с оптической оси в соответствии с соотношением

   } М (1/R, - 1/R2;, где М - модуль вектора смещени  центра интерференционной картины; R, и R/2, - радиусы фронтов интерферирующих волн