SU1138642A1 - Интерференционное устройство дл дистанционного измерени малых перемещений - Google Patents

Abstract

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩНИЙ, содержащее лазер светоделитель,дел5щий световой пучок на опорную и рабочую ветви,отражатель , выполненный в виде плоского . зеркала и установленный в опорной . ветви, отражатель,установленный в рабочей ветви, и блок фоторегистрации , отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , отражатель, установленный в рабочей ветви выполнен в виде, вогнутого сферического зеркала с фокусным рассто нием,равным половине минимального рассто ни  между светоделителем и отражателем рабочей ветви. S со 00 Од 4 Ю

Description

Изобретение относитс  к измер1Г тельной технике, в частности к дистанционному измерению малых перемещений , и может быть использовано в производстве высокочастотных измери тельных систем координатно-измерительных машин, инструментальных и микроскопов и прецизионных станков. Известно интерференционное устройство дл  измерени  перемещений, содержащее лазер, светоделитель,дел  щий световой поток на две ветви,два уголковых отражател , установленный в этих ветв х,светосоединитель, три линзы и блок фоторегистрации, и позвол ющее выравнивать площади попереч ных сечений интерферирующих пучков в плоскости блока фоторегистрации, что повьшает контрастность результирующей интерференционной картины и снижает вли ние на точность измерени  шумов электронного тракта Cl1 Однако особенности геометрии оптической схемы такого устройства не позвол ют использовать его дл  дистанционных измерений перемещений. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  интерференционное устройство дл  дистанционного измерени  малых перемещений , содержащее лазер,светоделитель , дел щий световой пучок на опорную и рабочую ветви,отражатель,вы полненный в виде плоского зеркала и установлеаный в опорной ветви,отражатель , установленный в рабочей ветви и выполненный в виде плоского . зеркала, и блок фоторегистрации 2 Однако известное устройство не обладает высокой точностью измерений так как из-за существенного различи  длин глеч могут резко отличатьс  кривизны фронтов интерфериру( дих пучков, что при конечных размерах апертуры фотоприемника блока фоторегистрации приводит к большим фазовым погрешност м измерени . Кроме того,, вследствие различи  длин плеч могут существенно отличатьс  площади поперечных сечений интерферирующих пучков, привод  к снижению контрастности результирующей интерференционной картины   возрастанию вли ни на результат измерени  шумов элект ровного тракта. Цель изобретени  - повьш1ение точ« ности измерени . Поставленна  цель достигаетс  тем, что в интерференционном устройстве дл  дистанционного измерени  малых перемещений, содержащем лазер,светоделитель , дел щий, световой пучок на опорную и рабочую ветви, отражатель, вьтолненный в виде плоского зеркала и установленный в опорной ветви, отражатель , установленный в рабочей ветви, и блок фоторегистрации, отражатель , установленный в рабочей ветви , выполнен в виде вогнутого сфериtjecKoro зеркала с фокусным рассто нием , равным половине минимального рассто ни  между светоделителем и отражателем рабочей ветви, На чертеже изображена принципиальна  схема предлагаемого интерференци онного устройства дл  дистанционного измерени  малых перемещений. Устройство содержит лазер I,формирующий когерентный слаборасход щийс  световой пучок,светоделитель 2, дел щий световой пучок на опорную и рабочую ветви,отражатель 3,вьшолненный в виде плоского зеркала и установленшйй в опорной ветви, отра- Житель 4,установленный в рабочей ветви и выполненный в виде вогнутого сферического зеркала с фокусным рассто нием (F- фокус этого зеркала), равным половине минимального рассто ни  между светоделителем 2 и отражателем 4 рабочей ветви, и блок 5 фоторегистрации,осуществл ю-щий регистрацию интенсивности светового потока в результирующей интерференционной картине. Кроме того, устройство содержит преобразователь 6 перемещений отражател  3,предназначенный дл  организации процесса интерференционной модул ции, блок 7 управлени  преобразователем 6 перемещений, выход которого соединен с входом преобразовател  6 перемещений, и блок 8 обработки информации,первый вход которого соединен с выходом блока 5 фоторегистрации а второй вход соединен с выходом блока 7 управлени ,Отражатель 3 жестко скреплен с преобразователем 6 перемещений , а отражатель 4 жестко крепитс  на перемещающемс  Объекте 9, Устройство работает следующим образом. Когерентный слаборасход щийс  световой пучок ,формируемь1й лазе

Claims (1)

1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДНЯ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ,содержащее лазер, светоделитель,делящий световой пучок на опорную и рабочую ветви,отражатель, выполненный в виде плоского . зеркала й установленный в опорной ..· ветви, отражатель,установленный в рабочей ветви, и блок фоторегистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, отражатель, установленный в рабочей ветви,выполнен в виде, вогнутого сферического зеркала с фокусным расстоянием,равным половине минимального расстояния между светоделителем и отражателем рабочей ветви.

   1 1138642 2