SU1326879A1 - Интерферометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  измерени  линейных перемещений объектов. Цель изобретени  - по- вьппение точности измерени  - достигаетс  путем уменьшени  вли ни  линейных температурных деформаций станины интерферометра. Пучок излучени  от источника 1 проходит линзы 2 и 3 и расщепл етс  светоделителем 4 на два. Линза 3 расположена между линзой 2 и светоделителем 4 на определ емом по расчетной формуле рассто нии от перет жки пучка после линзы 2. Два пучка, отразившись от отражателей 5 и 6, 7 и 8, интерферируют на светосоединителе 9. Интерференционна  картина регистрируетс  фотоприемниками 10 и 11, ив счетчик 13 импульсов записываетс  количество интерференционных полос, по которым суд т о перемещении объекта. 1 ил. с 9

Description

Изобретение отгюситс  к измерительной технике и может быть использовано ,цл  измерени  линейных перемещений объектов.

Цель изобретенн  - повышение точности измерени  путем г шньшеии  вли ни  линейных те мпературнь х деформаций станины интерферометра за счет расположени  линз формируюишх пучок между источником излучени  и светоделителем .

На чертеже изображена опт меска  схема интерферометра.

Интерферометр содержит иеточн к J когерентного излучеки , расположенные последовательно по ходу излучени  линзы 2 и З, светодБлитель 4. дел -аш пучок излучени  на два пучка, отражатели 5-8, распололсекные попарно в каждом КЗ пучков, Светосоеди гитель 9 и оптически св заынке с HJ-D-I два фотоприемника 10 и 11 предназначены дл  закреплени  на объекте 12, Фотоппиемники 10 и 1 располо/кепы па пути вза- имно перпендикул рных иа терференпионных потоков после светосоедикител  9 так, что апертуры фотопрзивмников 10 и } смещены друг оч носительно д;|:1уг а на 1/4 ширины интерференционной по- лосы, Фотоп1зиемники 10 и I электрически св заны со счетчиком 13 импульсов i

Линза 3 расположена по ходу излучени  между линзой 2 и светоделителем 4 на рассто нии

.d

(b+d

)

2rf-(L-Ki )J от перет жки пучка после luiHSbi 2, где f - фокусное рассто ние 3; R, конфокальньш папамето пучки

- после линзы .;

L - длина Пути n-yjKOBj соответствующа  нулевому льор дку кн- терференцин;

d - рассто ние or линзы 3 до cise- тодетп-1Т 5л  4,

Интерферометр работает следуюи;;и : образом.

Выход щий из источника 1 когерант- кого излучени  световой пучок проходит линзы 2 и 3 и раздел етс  светоделителем 4 на два пучка. Каждый из двух пучков, отразившись от отражателей 5 и 6, 7 и 8 соответственно, .направл етс  на светосоединитель 9, который совмео;ает оба пучка и направл ет на фотоприемники 10 и 11,

.

5 0 5 о

Рассто ние менсду линзой 3 к перет жкой пучка после линзы 2 выбираетс  так,, что перет жка пучка после линзы 3 располагаетс  в месте нулевой разности хода интерферирующих пз чков , Вследствие симметричности пучка излучени  относительно перет жки по всей длине хода светосоединител  9 площади интерферируюпхих пучков равны и контрастность интерференционной картины максимальна и посто нна,

При перемещении объекта 12 со све- тосоединителем 9 и фотоприемниками 10 и 1 вдоль пучкоЕ измен етс  разность хода пучков,, что вызывает перемещение интерференционных полос в плоскости фотопрнемников 10 и 11, О величине перемещени  объекта 12 суд т по числу ПОЛОС; зарегистрированному реверсивным счетчиком 13 импульсов.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр дл  измерени  линейных перемещений 5 содержалщй две линзы , источник когерентного излучени , расположенные последовательно по ходу излучеки светоделитель, дел щий пучок излучени  на два, четыре отражател  j расположенные попарно в каждом из пучков, и предназначенные дл  закреплени  на объекте светосоедини- телъ, два фотоп риемника, оптически св за нные со светосоединителем, и счетчик импу.пьсов, электрически св занный-с фотоприемниками, о т л и - ч а 10 L4 и и с   тем, что, с целью повышени  точности измерени , линзы ус га}1овле5а)1 гсоследовательно по ходу изл 4ени  ме)цду источником излучени  к светоделителем таким образом5что втора  по ходу излучени  линза установлена на рассто нии

   0

   f 2 (L+d, - IlllR LLfiL+dTiF 2Cf(L+d )J

   от перет жки пучка после первой по ходу излучени  линзы, т ,гге f - фокусное рассто ние второй

   по ходу излучени  линзы; Rg - конфокальный параметр пучка после первой по ходу излуче - ни  линзы;

   L - длина пути пучков, соответствующа  нулевому пор дку интерференции;

   d - рассто ние от второй по ходу . излучени  линзы до светоделител  ,

   /

   /

   /

   -/5

   /2

   V

   /

   Составитель А.Гордеев Редактор Т.Лазоренко Техред;В.Кадар Корректор Т,Колб

   Заказ 3269/34Тираж 676Подписное

   ВНИШТИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие, г, Ужгород, ул. Проектна , 4