SU756194A1 - Устройство для измерения параметров движения . объекта - Google Patents

Description

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения парамет.ров движения: перемещений, вибраций .

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является

устройство для измерения параметров движения объекта, содержащее источник монохроматического излучения, расположенный за ним светоделитель, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены фильтр на длину волны источника света, диафрагма, фотопреобразователь и блок регистрации, на другом - нейтральный фильтр, опорное зеркало с механизмом линейного перемещения вдоль оси, параллельной оптической оси излучения, а на третьем - микрообъектив £1} .

10

15

20

Недостатком известного устройства является невысокая точность измерений, обусловленная невозможностью отделения угловых составляющих амплитуды колебаний объекта.

Целью изобретения является повышение точности измерения.

25

Цель достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено вторым светоделителем, расположенным между микрообъективом и первым светоделителем под углом 4 5° к оптической оси излучения из первого светоделителя, третьим светоделителем, последовательно' установленным на выходе излучения из второго светоделителя, второй и третьей диафрагмами, вторым и третьим фотопреобразователями, вторым и третьим блоками регистрации, последовательно установленными на каждом из двух выходов излучения из третьего светоделителя, и механизмом углового перемещения, скрепленным с опорным зеркалом через механизм линейного перемещения, выходы'второго и третьего блоков регистрации связаны с механизмом углового перемещения, а третья диафрагма и третий фотопреэбразователь установлены с возможностью перемещения в двух взаимно 1врпендикулярных направлениях относительно оси излучения из третьего светоделителя.

На чертеже представлена схема

устройства.

3

>56194

4

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделитель 2, фильтр 3 на длину волны, диафрагму 4, фотопреобразователь 5, блок 6 регистрации, нейтральный фильтр 7, опорное зеркало $

8 с механизмом 9 линейного перемещения, микрообъектив 10, второй светоделитель 11, расположенный под углом 45°к оптической оси излучения, третий светоделитель 12, вторую 13 и третью 14 диафрагмы, второй 15 и третий 16 фотопреобразователи, второй 17 и третий 18 блоки регистрации и механизм 19 углового перемещения опорного зеркала в'двух взаимно перпендикулярных плоскостях. '5

Устройство работает следующим образом.

При смещении объекта 20 вдоль оси, параллельной оптической оси излучения относительно падающего излучения, 20 происходит изменение интенсивности интерференционной картины, которое преобразуется в переменный электрический сигнал. Этот электрический сигнал поступает на механизм 9 ли- 25 нейного перемещения и приводит опорное зеркало 8 в смещение, амплитуда которого равна амплитуде смещения объекта.20, но обратное по фазе, одновременно с помощью блока 6 регистрации измеряется величина линейного пере^ мещения.

При наличии угловых смещений объекта 20 происходит расхождение опорного и сигнального пучков, что « приводит к погрешностям измерения.

Устройство позволяет компенсировать эти угловые смещения.

При угловых смещениях объекта 20 происходит наклон пучка излучения, отраженного светоделителем 11 отно- 40 сительно диафрагм 13 и 14, который раскладывается ими на составляющие по двум координатным осям. Изменение интенсивности через фотопреобразователи 15 и 16 и блоки 17 и 18 регист- 45 рации поступает на механизм 19 углового перемещения опорного зеркала 8 в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, при этом производится смещение опорного зеркала. 50

Таким образом, угловые смещения объекта приводят к угловому смещению опорного зеркала 8, и угловое

расхождение опорного и сигнального пучков при угловых смещениях объекта сводится к нулю.

Устройство позволяет повысить точность измерения за счет компенсации угловых смещений объекта.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Устройство для измерения параметров движения объекта, содержащее источник монохроматического излучения, расположенный за ним светоделитель, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены фильтр на длину волны источника света, диафрагма, фотопреобразователь и блок регистрации, на другом - ней тральный фильтр, опорное зеркало с механизмом линейного перемещения вдоль оси, параллельной оптической оси излучения, а на третьем - микрообъектив, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено вторым светоделителем, расположенным ме:.ду микрообъективом и первым светоделителем под углом 459 к оптической оси излучения из первого светоделителя, третьим светоделителем, последовательно установленным на выходе излучения из второго светоделителя, второй и третьей диафрагмами, вторым и третьим фотопреобразователями, вторым и третьим блоками регистрации, последовательно установленными на каждом из двух выходов излучения из третьего светоделителя, и механизмом углового перемещения, скрепленным с опорным зеркалом через механизм линейного перемещения, выходы второго и третьего блоков регистрации связаны с механизмом углового перемещения, а третья -диафрагма и третий фотопреобразователь установлены с возможностью перемещения в двух взимно перпендикулярных направлениях относительно оси излучения из третьего светоделителя .