SU1130736A1 - Устройство дл измерени перемещени - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДОЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ, содержащее двухчастот- i ный лазер, выполненный с двум  пpoти воположными выходами, оптический ; фильтр и фотоприемник, установленные в ходе одного из излучений лазера, второй оптический фильтр, светоделитель , каретку, световозвращатель, установленный на каретке, светосоецинитель и фотоприемник, расположен/в . 7/7 // yz Lyz PL m 2 -zifH h-1 Г Ь-И- :Ные в ходе второго излучени  лазера, и фазометр, входы которого, электрически соединены с выходами обоих фотоприемников, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , оно снабжено вторым световозвращателем, установленным на каретке, вторым светосоединителем и четырьм  световодами, расположенными по ходу лучей за светоделителем , два световода установлены в пр мом ходе излучени  между светодепителем и световозвращател ми , два других - в обратном ходе излучени  от световозвращателей, жестко скрепленных верщинами один с другим, а выход каждого из свето (Л водов, установленных в обратном хчэде излучени , оптически сопр жен с одним из фотоприемников через соответствующий светосоединитель, и каж- дый светосоединитель установлен перед одним из фотоприемников. J ./г 00 о CA9 Од

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоват с  дл  измерени  перемещений объект в машино- и приборостроении, Известно устройство дл  измерени перемещений объекта, содержащее лазер и интерферометр, состо щий из светоделительного элемента, располо женного на пути световых лучей от лазера, подвижного и неподвижного зеркал и фотоприемного устройства, установленного по ходу световых лучей за полупрозрачной пластиной. При смещении подвижного зеркала образованна  интерференционна  карт на полос движетс  относительно щели фотоприемного устройства, количеств интерференционных полос, прошедших через щель фотоприемника, позвол ет судить о величине перемещени  П . Недостатком такого устройства  вл етс  низка  точность, обусловленна  дискретностью значений измер емых перемещений. Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  уст ройство дл . измерени  перемещени , содержащее двухчастотный лазер, выполненный с двум  противоположными выходами, оптический фильтр и фотоприемник , установленные в ходе одно из излучений лазера, второй оптичес кий фильтр, светоделитель, каретку, световозвращатель, установленный на каретке, светосоединитель и фотоприемник , расположенные в ходе вт рого излучени  лазера, и фазометр, входы которого электрически соединены с выходами обоих фотоприемников 2 . Недостатком известного устройств  вл етс  невысока  точность измерени  перемещени  объекта, так как ту булентность атмосферы и наличие вибраций объекта внос т не учитываемую в устройстве погрешность в измеренное значение перемещени . Цель изобретени  - повьш1ение точности измерени . Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  перемещени , содержащее двухчастотныйлазер , выполненный с двум  противоположными выходами, оптический фильтр и фотоприемник, установленны в ходе одного из излучений лазера, второй оптический фильтр, светодели тель, каретку, светойозвращатель, установленный на каретке, светосоединитель и фотоприемник, расположен ные в ходе второго излучени  лазера, . и фазометр, входы которого электрически соединены с выходами обоих фотоприемников , снабжено вторым све: товозвращателем, установленным на кл ретке, вторым, светосоединителем и четырьм  световодами, расположенными по ходу лучей за светоделителе), два световода установлены в пр мом ходе излучени  между светоделителем и световозвращател ми, два других в обратном ходе излучени  от световозвращателей , жестко скрепленных вершинами один с другим, а выход каждого из световодов, установленных в обратном ходе излучени , оптическ сопр жен с одним из фотоприемников через соответствующий светосоединитель , и каждый светосоединитель установлен перед одним из фотоприемников .. На чертеже представлена схема предлагаемого, устройства. Устройство содержит двухчастотный| лазер 1, имеющий два противоположных выхода, оптический фильтр 2, светоделитель 3, световоды 4 и 5, установленные в пр мом ходе излучени , светов.озвращатели 6 и 7 скрепленные вершинами один с другим, каретку 8, на которой установлены световозвращатели 6 и 7, световоды 9 и 10, отвод щие излучение от свето возвращателей 6 и 7, второй оптический фильтр II, светосоединители 12 и 13, плоскости которых совмещены с точками пересечени  лучей излуче ни  от обоих выходов лазера 1 ,фотоприе14ники 14 и 15,установленные за светосоединител ми 12 и 13, и фазометр 16, электрически соединенный с фотоприемниками 14 и 15. Кроме того, на чертеже показаны второй светоделитель поворотное зеркало 18. Устройство работает следующим образом. Двухчастотное излучение от лазера 1 выходит из двух его противоположных выходов. Излучение после одного из выходов проходит оптиче.ский фильтр 2, пропускающий одну из двух частот лазера 1, прошедшее излучение направл ют на светоделитель 3, представл ющий полупрозрачное зеркало и пространственно дел щий пучок излучени  па два пучка. Оба

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ, содержащее двухчастот- ; ный лазер, выполненный с двумя противоположными выходами, оптический фильтр и фотоприемник, установленные в ходе одного из излучений лазера, второй оптический фильтр, светоделитель, каретку, световозвращатель, установленный на каретке, светосоецинитель и фотоприемник, расположен- ные в ходе второго излучения лазера, и фазометр, входы которого, электрически соединены с выходами обоих фотоприемников, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено вторым световозвращателем, установленным на 'каретке, вторым светосоединителем и четырьмя световодами, расположенными по ходу лучей за светоделителем, два световода установлены в прямом ходе излучения между светоделителем и световозвращателями, два других - в обратном ходе излучения от световозвращателей, жестко скрепленных вершинами один с другим, а выход каждого из световодов, установленных в обратном ходе излучения, оптически сопряжен с одним из фотоприемников через соответствующий светосоединитель, и каждый светосоединитель установлен перед одним из фотоприемников.

   lb 1130736 о