SU1185073A1 - Устройство дл измерени линейных и угловых перемещений объекта - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ И УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащее источник когерентного излучени , установленный по ходу излучени  акустооптический модул тор, формирую1 щй два пучка излучени , последовательно расположенные по ходу излучени  первого пучка светоделитель и отражатель, скрепл емый с объектом, два приемника излучени , каждый из которых оптически св зан с модул тором и светоделителем, два усилител , вход каждого из которых электрически св зан с выходом одного из приемников , и фазометр, электрически св занньй входами с выходом одного из усилителей соответственно, о т- личающеес  тем, что, с целью повьшени  точности измерени , оно снабжено полупрозрачным зеркалом , установленным во втором пучке (П излучени , и двум  полупрозрачными зеркалами, каждое из которых установлено на входе одного из приемников излучени .

Description

00

сд

о Устройство относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных и угловых перемещений объектов , например, в лазерной интерферометрии , а также при создании систем автоматического управлени  механическими объектами высокой точнос Цель изобретени  - повышение точ . ности измерени . На чертеже представлена схема предлагаемого устройства. Устройство дл  измерени  линейных и угловых перемещений объекта содержит источник 1 когерентного излучени , установленный по ходу излучени  акустооптический модул тор 2, формирующий два пучка излучени , генератор 3 ультразвуковой частоты, электрически св занный выходом с входом модул тора 2, последовательно расположенные по ходу излучени  первого пучка светоделитель 4 и отражатель 5, скрепл емый с объектом, два приемника 6 и 7 излучени , каждый из которых оптически св зан с модул тором 2 и со свет делителем 4, два усилител  8 и 9, вход каждого из которых электрическ св зан с выходом одного из приемников 6 и 7, и фазометр 10, электриче ки св занньй входами с выходом одно го из усилителей 8 и 9 соответствен но, полупрозрачное зеркало 11, установленное во втором пучке излучени , и два полупрозрачные зеркала 1 и 13, каждое из которых установлено на входе одного из приемников 6 и 7 излучени ,. Устройство работает следующим образом. Когерентзтое излучение от источни ка 1 падает на акустооптический модул тор 2, на вход которого поступа ет синусоидальный сигнал уагътразвуковой частоты от генератора 3. В результате дифракции когерентного излучени  на бегущей ультразвуковой волне , распростран ющейс  в модул торе 2, формируютс  два пучка излучени  , частота которых различаетс  на значение ультразвуковой частоты. Первьп1 из пучков, пройд  через светоделитель 4, падает на отражатель 5, скрепл емый с объектом. На приемники 7 и 6 поступают части излучени  зтого пучка, отразившиес  от светоделител  4 при пр мом и обратном прохождении соответственно. Части излучени  второго пучка с помощью полупрозрачных зеркал 11-13 направл ют на вход приемников 6 и 7 соответственно . На выходе каждого из приемников 6 и 7 возникает сигнал ультразвуковой частоты, который поступает на вход усилителей 8 и.9. При перемещении объекта скрепленный с ним отражатель 5 смещаетс  на некоторое рассто ние ut. Перемещение отражател  5 приводит к изменению фазы выходного сигнала , (t) усилител  8. Выходной сигнал V (t)  вл етс  опорным, и его фаза не измен етс  при смещении отражател  5. Фазометр измер ет разность фаз выходных сигналов усилителей 8 и 9, котора  пропорциональна перемещению контролируемого объекта. Паразитный набег фазы, возникающий в модул торе 2 вследствие температурных флуктуации, передаетс  в измерительный и опорный сигналы с одинаковым знаком и не вли ет на результат измерени  разности фаз. Таким образом, снабжение устройства полупрозрачными зеркалами, установленными указанным образом, приводит к повышению точности измерени .

Claims (2)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ И УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащее источник когерентного излучения, установленный по ходу излучения акустооптический модулятор, формирующий два пучка

   излучения, последовательно расположенные по ходу излучения первого пучка светоделитель и отражатель, скрепляемый с объектом, два приемника излучения, каждый из которых оптически связан с модулятором и светоделителем, два усилителя, вход каждого из которых электрически связан с выходом одного из приемников, и фазометр, электрически связанный входами с выходом одного из усилителей соответственно, о тличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, _с

   оно снабжено полупрозрачным эерка- ®

   лом, установленным во втором пучке излучения, и двумя полупрозрачными зеркалами, каждое из которых установлено на входе одного из приемников излучения.

   5ϋ „ 1185073

   1

   1185073
2. 2

   Устройство относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных и угловых перемещений объектов, например, в лазерной интерферометрии, а также при создании систем автоматического управления механическими объектами высокой точности·’