SU1173177A1 - Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред - Google Patents
Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред Download PDFInfo
- Publication number
- SU1173177A1 SU1173177A1 SU833622982A SU3622982A SU1173177A1 SU 1173177 A1 SU1173177 A1 SU 1173177A1 SU 833622982 A SU833622982 A SU 833622982A SU 3622982 A SU3622982 A SU 3622982A SU 1173177 A1 SU1173177 A1 SU 1173177A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflector
- beam splitter
- measuring
- transparent media
- forming
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТОВ И ПОКАЗАТЕЛЕЙ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ СРЕД, содержащее источник когерентного излучени , интерферометр, включающий светоделитель , отражатель, образующий измерительное плечо, отражатель и модул тор , образующие опорное плечо, два фотоэлектрических преобразовател и вычислительный блок, соединенный с преобразовател ми, отличающеес тем, что, с целые повышени точности измерени , оно снабжено оптическим элементом, расположенным между светоделителем и отражателем, образующим светоделительное плечо, и расщепителем луча, установленным между источником когерентного излучени и интерферометром. 2. Устройство по n.t отличающеес тем, что, с цепью повышени точности измерени изменений показател преломлени прозрачных сред, оптический элемент вьтолнен в ввде объема с заданной оптической длиной.
Description
v4
СО
Изобретение относитс к измери .тельной технике, а именно к интерференционным измерени м, и может использоватьс дл прецизионных измерений перемещений объектов и изменений показателей преломлени прозрачных сред.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерени , а также повьшение точности измерени изменений показател преломлени . прозрачных сред.
На фиг.1 изображена принципиальна схема устройства дл измерени перемещений объектов и показателей преломлени прозрачных сред| на фиг.2 - взаимное расположение отражател измерительного плеча и объема с заданной оптической длиной.
Устройство дп измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред содержит ис точник 1 когерентного излзтени и интерферометр 2, который включает в себ установленные на пути распространени луча светоделитель 3, отражатель 4 и модул тор 5, образующие опорное плечо, отражатель 6 и оптический злемент 7, образующие измерительное плечо, расщепитель.,8 луча, установленный между источником 1 когерентного излучени и интерферометром , два фотоэлектрических преобразовател , каждый из которых состоит из фотоприемника 9 или 10 и формировател It или 12 соответственно . Входы формирователей 11 и 12 соединены с выходами соответствующих .фотоприемников 9 и 10, а их вькоды с вычислительным блоком 13.
Расщепитель 8 луча вьшолнен в виде призмы, преимущественно из дву- лучепреломп ющего материала. Оптический элемент 7 дл измерени перемещений выполнен аналогично отражателю 6, например в виде трйпельпризмы , Дп измерений изменени показател преломлени прозрачньйс сред опти- ческий элемент 7 выполнен в виде объема с заданной оптической длиной, например в виде стекл нного столбика, В качестве источника.1 когерентного излучени используетс одночастотный лазер.
Устройство работает следующим образом .
Коллимированный пучок света от источника 1 когерентного излучени ,,
проход расщепитель 8 луча, делитс на два параллельно распростран ющихс пучка. Светоделитель 3 раздел ет каждый изпадающих пучков света на два луча. Отраженные от светоделител 3 лучи направл ютс на отражатель 4 и модул тор 5. В измерительном плече лучи распростран ютс к отражателю 6 и оптическому элементу 7, Возвращенные от этих элементов, лучи пространственно совмещаютс на светоделителе 3 с соответствующими лучами света, возвращенными светоделителем 4, и интерферируют. Образовавшиес на выходе интерферометр
2две пары интерференционных полей регистрируютс фотоприемниками 9 и 10, электрические сигналы от которых преобразуютс формировател ми 11 и 12 в счетные импульсы. Эти импульсы поступают в вычислительный блок 13, где обрабатьтаютс в соответствии с заданной программой.
Одна пара образующихс интерференционных полей отражает изменени разности оптических длин опорного плеча (оптического пути от светоделител
3до отражател 4) и измерительного плеча (оптического пути от светоделител 3 до отражател 6). Друга пара образующихс интерференционньг полей отражает изменени разности оптических длин опорного плеча и измерительного плеча, образованного
за счет введени оптического элемента 7. В вычислительном блоке 13 из одного полученного результата посто нно вычитают другой, так что регистрируетс изменение разности оптических путей (света) в измерительном плече. При измерении линейных перемещений это оптическа длина между отражател ми 6 и 7.
Перемещени отражател 4 опорного плеча с помощью модул тора 5 и изменение под действием внешних условий показател преломлени среды (заполн ющей пространство между светоделителем 3 и отражателем 4, а также между светоделителем 3 и оптическим элементом 7) привод т к синхронному изменению фаз интерференционных сигналов и возникновению в формировател х 11 и 12 одинакового числа .счетных импульсов. Разность числа импульсов, получаема в вычислительном блоке 13, равна нулю, и по казани устройства остаютс прежними Изменение оптической длины между отражател ми 6 и 7, например, путем перемещени отражател 6 измерительного плеча приводит к различному изменению фаз интерференцион-, ных сигналов, что, в свою очередь, веДет к формированию различного числа счетных импульсов в формировател х 11 и 12. По разности числа счетных импульсов в вычислительном блоке 13 рассчитьюаетс величина перемещени отражател 6 относительно опти ческого элемента 7. При измерении изменений показател преломлени прозрачных сред геометрические пути лучей одинаковы и в измерительном плече. Оптические же пути у лучей различны: путь одного луча (сМофиГо2) проходит через ис774 следуемую среду (он при изменении по-, казател преломлени соответственно мен етс ), а другого - через объем с заданной оптической длиной, котора практически остаетс посто нной . Изменение разности этих оптических путей вызьшает различные изменени фаз интерференционных сигналов. После преобразовани в счетные импульсы и обработки в вычислительном блоке 13 им ставитс в соответствие величина изменени показател преломлени относительно начального (нулевого ) отсчета. Таким образом, устройство обеспечивает автсматический учет изменени нескомпенсированной длины интерферометра , что увеличивает Точность измерени .
Фиг. 2
Claims (2)
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТОВ И ПОКАЗАТЕЛЕЙ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ СРЕД, содержащее источник когерентного излучения, интерферометр, включающий светоделитель, отражатель, образующий из мерительное плечо, отражатель и модулятор, образующие опорное плечо, два' фотоэлектрических преобразователя и вычислительный блок, соединенный с преобразователями, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено оптическим элементом, расположенным между светоделителем и отражателем, образующим светоделительное плечо, и расщепителем луча, установленным между источником когерентного излучения и интерферометром.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью повы- g шения точности измерения изменений показателя преломления прозрачных сред, оптический элемент выполнен в виде объема с заданной оптической длиной.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833622982A SU1173177A1 (ru) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833622982A SU1173177A1 (ru) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1173177A1 true SU1173177A1 (ru) | 1985-08-15 |
Family
ID=21074781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833622982A SU1173177A1 (ru) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1173177A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5469261A (en) * | 1994-04-05 | 1995-11-21 | Carl Zeiss, Inc. | Measurement of lens characteristics |
-
1983
- 1983-06-03 SU SU833622982A patent/SU1173177A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 376653, кл. G 01 В 9/02, 1971.. Авторское свидетельство СССР № 586323, кл. G 01 В 9/02, 1974. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5469261A (en) * | 1994-04-05 | 1995-11-21 | Carl Zeiss, Inc. | Measurement of lens characteristics |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6333604A (ja) | 相対変位測定装置 | |
CN112444194A (zh) | 二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 | |
JPH048724B2 (ru) | ||
JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
SU1173177A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред | |
US5184014A (en) | Opto-electronic scale reading apparatus | |
US3486824A (en) | System for the measurement of scale divisions including a mirror located external to an optical maser cavity | |
SU1663416A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений объектов | |
SU1397732A1 (ru) | Устройство дл измерени тонких стенок стекл нных труб | |
SU1506269A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта | |
SU1130736A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени | |
SU586323A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU756194A1 (ru) | Устройство для измерения параметров движения . объекта | |
SU1716316A1 (ru) | Способ контрол диаметра оптических волокон | |
SU1525662A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1213395A1 (ru) | Устройство дл измерени углов с коррекцией вли ни рефракции | |
RU2047085C1 (ru) | Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола | |
SU1188535A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных и угловых перемещений | |
SU1095034A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
JP2655647B2 (ja) | 光集積回路型干渉計 | |
SU1185073A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных и угловых перемещений объекта | |
SU853378A1 (ru) | Интерференционное устройство измерени лиНЕйНыХ и углОВыХ пЕРЕМЕщЕНий | |
SU949336A1 (ru) | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей | |
SU1223031A1 (ru) | Волоконно-оптический датчик измерени перемещени объекта | |
SU1138642A1 (ru) | Интерференционное устройство дл дистанционного измерени малых перемещений |