SU949336A1 - Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей - Google Patents

Description

(5) УСТРОЙСТВО дл  ИЗМЕРЕНИЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ ПОВЕРХНОСТЕЙ

1

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к устройствам дл  измерени  пр молинейности поверхностей любой прот женности, и может быть использовано при монтаже и наладке крупногабаритного и уникального оборудовани  в машиностроении , судостроении, станкостроении и т.п.

Известно устройство дл  измерени  пр молинейности поверхностей, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучени  , коллиматор, установленную нормально падающему лучу дифракционную решетку, оптическую систему дл  образовани  интерференционной картины и блок регистрации, причем дифракционна  решетка в процессе измерени  перемещаетс  по контролируемой поверхности LOНедостатком устройства  вл етс  низка  производительность и .точность измерени .

Наиболее близким к изобретению . вл етс  устройство 2 дл  измерени  пр молинейности поверхностей, содержащее последовательно расположенные источник когерентного света, коллиматор, дифракционную решетку, установленную перпендикул рно световому лучу, отражающее зеркало и блок эегистрации. Устройство содержит также вторую дифракционную решетку,

ш установленную как и перва  перпендикул рно световому лучу. Дифракционные решетки закреплены на одном основании и св заны собой соотношением

15

1-1

где Т

период второй дифракционной решетки;

т период первой дифракционной решетки;

20

РЗ. пор док дифракции лучей на - второй решетке.

Недостатком известной конструкции  вл етс  технологически сложное изготовление двух дифракционных решеток с высокой точностью, период которых удовлетвор л бы соотношение Целью изобретени  вл етс  упроще ние конструкции. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерени  пр молинейности поверхностей, содержащем последовательно расположенные источник когерентного света, коллиматор , дифракционную решетку, установленную перпендикул рно световому лучу, отражающее зеркало и блок регистрации , дифракционна  решетка выполнена полупрозрачной, отражающее зеркало жестко св зано с дифракционной решеткой и установлено к падающе му на него световому лучу под углом, равным половине угла дифракции, а ус ройство снабжено отражающим оптичес КИМ элементом, расположенным за дифракционной решеткой на пути светового луча нулевого пор дка дифракции. На чертеже изображена принципиаль на  схема устройства дл  измерени  пр молинейности поверхностей. Устройство содержит последователь но расположенные источник 1 когерент ного света, коллиматор 2, дифракцион ную решетку 3 жестко закрепленную на основании 4, отражающее зеркало 5, отражающий оптический элемент 6, блок 7 регистрации, включающий светоделитель 8, два фотодатчика 9 и узел 10 вывода информации на световое табло или самописец (на чертеже не показаны). Отражающее зеркало 5 св зано с дифракционной решеткой 3 с помощью жесткой св зи 11. Устройство работает следующим образом . Источник 1 когерентного света, установленный на одном конце контролируемой поверхности 12, например на направл ющих станка, через коллиматор 2 освещает дифракционную решетку 3 пучком параллельных лучей, падающих нормально к ее плоскости. Пучок лучей, попав на дифракционную решетку 3. дифрагирует на множест-, во проход щих и отраженных Е симметричных пор дков. Нулевой пор док Е дифракции, т.е. луч, прошедший дифракционную решетку 3 без изменени  направлени , попадает на отражающий оптический элемент 6, отразившись от которого направл етс  обратно на дифракционную решетку 3 в область первичной ди фракции и дифрагирует на множество проход щих Е , и отраженных Е jl симметричных пор дков, которые интерферируют с отраженными и проход щими дифракционными максимумами первичной дифракции. Отражающее зеркало 5 установлено к падающему на него световому лучу под углом 3L- , равным половине угла дифракций (на чертеже не показан). Таким образом, отражающее зеркало 5 установленное на пути любых интерферирующих пучков fj , h|| , отражает эти пучки параллельно основному лучу Е. На пути этих интерферирующих пучков устанавливаетс  блок 7 регистрации , включающий светоделитель 8 дл  разделени  пучка на два луча, два фотодатчика 9 и узел 10 вывода информации на световое табло или самописец. Разделение пучка на два необходимо дл  определени  направлени  перемещени  дифракционной решетки 3- При перемещении отражающего оптического элемента 6 по контролируемой поверхности 12 измен етс  разность хода интерферирующих пучков и в плоскости регистрации фотодатчиков 9 проход т интерференционные полосы. Число , К интерференционных полос св зано с измер емой длиной L участка контролируемой поверхности соотношением 1 .1/ ьак U -1 о .. измер ема  длина участка; число интерференционных полос; длина волны источников когерентного света в вакууме , равна  0,632991tl мкм; показатель преломлени  окружающего воздуха. Таким образом, перемеща  отражающий оптический элемент 6, можно измерить длину участка контролируемой поверхности. При перемещении дифракционной решетки 3 до контролируемой поверхности 12 параллельно падающему пучку Е лучей интерференционна  картина в плоскости регистрации не измен етс , а при перемещении в направлении , перпендикул рном пучку Е .лучей, происходит изменение интенсивности интерференционной картины, которое регистрируетс  фотодатчиками 9- Эта информаци  выводитс  на световое табло или самописец.

Claims (2)

1.Патент США IT 3726595,

кл. 6 01 8 9/02, опублик. lO.Oi.yB.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 7561977. кл. G 01 В 11/30, 30.10.78 (прототип). f c,f 1