SU949336A1 - Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей - Google Patents
Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей Download PDFInfo
- Publication number
- SU949336A1 SU949336A1 SU803221487A SU3221487A SU949336A1 SU 949336 A1 SU949336 A1 SU 949336A1 SU 803221487 A SU803221487 A SU 803221487A SU 3221487 A SU3221487 A SU 3221487A SU 949336 A1 SU949336 A1 SU 949336A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- diffraction grating
- diffraction
- measuring surface
- measuring
- reflecting mirror
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
(5) УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ ПОВЕРХНОСТЕЙ
1
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к устройствам дл измерени пр молинейности поверхностей любой прот женности, и может быть использовано при монтаже и наладке крупногабаритного и уникального оборудовани в машиностроении , судостроении, станкостроении и т.п.
Известно устройство дл измерени пр молинейности поверхностей, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучени , коллиматор, установленную нормально падающему лучу дифракционную решетку, оптическую систему дл образовани интерференционной картины и блок регистрации, причем дифракционна решетка в процессе измерени перемещаетс по контролируемой поверхности LOНедостатком устройства вл етс низка производительность и .точность измерени .
Наиболее близким к изобретению . вл етс устройство 2 дл измерени пр молинейности поверхностей, содержащее последовательно расположенные источник когерентного света, коллиматор, дифракционную решетку, установленную перпендикул рно световому лучу, отражающее зеркало и блок эегистрации. Устройство содержит также вторую дифракционную решетку,
ш установленную как и перва перпендикул рно световому лучу. Дифракционные решетки закреплены на одном основании и св заны собой соотношением
15
1-1
где Т
период второй дифракционной решетки;
т период первой дифракционной решетки;
20
РЗ. пор док дифракции лучей на - второй решетке.
Недостатком известной конструкции вл етс технологически сложное изготовление двух дифракционных решеток с высокой точностью, период которых удовлетвор л бы соотношение Целью изобретени вл етс упроще ние конструкции. Поставленна цель достигаетс тем, что в устройстве дл измерени пр молинейности поверхностей, содержащем последовательно расположенные источник когерентного света, коллиматор , дифракционную решетку, установленную перпендикул рно световому лучу, отражающее зеркало и блок регистрации , дифракционна решетка выполнена полупрозрачной, отражающее зеркало жестко св зано с дифракционной решеткой и установлено к падающе му на него световому лучу под углом, равным половине угла дифракции, а ус ройство снабжено отражающим оптичес КИМ элементом, расположенным за дифракционной решеткой на пути светового луча нулевого пор дка дифракции. На чертеже изображена принципиаль на схема устройства дл измерени пр молинейности поверхностей. Устройство содержит последователь но расположенные источник 1 когерент ного света, коллиматор 2, дифракцион ную решетку 3 жестко закрепленную на основании 4, отражающее зеркало 5, отражающий оптический элемент 6, блок 7 регистрации, включающий светоделитель 8, два фотодатчика 9 и узел 10 вывода информации на световое табло или самописец (на чертеже не показаны). Отражающее зеркало 5 св зано с дифракционной решеткой 3 с помощью жесткой св зи 11. Устройство работает следующим образом . Источник 1 когерентного света, установленный на одном конце контролируемой поверхности 12, например на направл ющих станка, через коллиматор 2 освещает дифракционную решетку 3 пучком параллельных лучей, падающих нормально к ее плоскости. Пучок лучей, попав на дифракционную решетку 3. дифрагирует на множест-, во проход щих и отраженных Е симметричных пор дков. Нулевой пор док Е дифракции, т.е. луч, прошедший дифракционную решетку 3 без изменени направлени , попадает на отражающий оптический элемент 6, отразившись от которого направл етс обратно на дифракционную решетку 3 в область первичной ди фракции и дифрагирует на множество проход щих Е , и отраженных Е jl симметричных пор дков, которые интерферируют с отраженными и проход щими дифракционными максимумами первичной дифракции. Отражающее зеркало 5 установлено к падающему на него световому лучу под углом 3L- , равным половине угла дифракций (на чертеже не показан). Таким образом, отражающее зеркало 5 установленное на пути любых интерферирующих пучков fj , h|| , отражает эти пучки параллельно основному лучу Е. На пути этих интерферирующих пучков устанавливаетс блок 7 регистрации , включающий светоделитель 8 дл разделени пучка на два луча, два фотодатчика 9 и узел 10 вывода информации на световое табло или самописец. Разделение пучка на два необходимо дл определени направлени перемещени дифракционной решетки 3- При перемещении отражающего оптического элемента 6 по контролируемой поверхности 12 измен етс разность хода интерферирующих пучков и в плоскости регистрации фотодатчиков 9 проход т интерференционные полосы. Число , К интерференционных полос св зано с измер емой длиной L участка контролируемой поверхности соотношением 1 .1/ ьак U -1 о .. измер ема длина участка; число интерференционных полос; длина волны источников когерентного света в вакууме , равна 0,632991tl мкм; показатель преломлени окружающего воздуха. Таким образом, перемеща отражающий оптический элемент 6, можно измерить длину участка контролируемой поверхности. При перемещении дифракционной решетки 3 до контролируемой поверхности 12 параллельно падающему пучку Е лучей интерференционна картина в плоскости регистрации не измен етс , а при перемещении в направлении , перпендикул рном пучку Е .лучей, происходит изменение интенсивности интерференционной картины, которое регистрируетс фотодатчиками 9- Эта информаци выводитс на световое табло или самописец.
Claims (2)
1.Патент США IT 3726595,
кл. 6 01 8 9/02, опублик. lO.Oi.yB.
2.Авторское свидетельство СССР
№ 7561977. кл. G 01 В 11/30, 30.10.78 (прототип). f c,f 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803221487A SU949336A1 (ru) | 1980-12-18 | 1980-12-18 | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803221487A SU949336A1 (ru) | 1980-12-18 | 1980-12-18 | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU949336A1 true SU949336A1 (ru) | 1982-08-07 |
Family
ID=20933263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU803221487A SU949336A1 (ru) | 1980-12-18 | 1980-12-18 | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU949336A1 (ru) |
-
1980
- 1980-12-18 SU SU803221487A patent/SU949336A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4930895A (en) | Encoder for forming interference fringes by re-diffracted lights from an optical type scale and photoelectrically converting the interference fringes to thereby detect the displacement of the scale | |
SU1450761A3 (ru) | Устройство дл измерени относительных перемещений двух объектов | |
US5120132A (en) | Position measuring apparatus utilizing two-beam interferences to create phase displaced signals | |
US5249032A (en) | Optical position-detecting apparatus | |
JPS63153408A (ja) | 相対変位測定装置 | |
GB1516536A (en) | Measuring apparatus | |
EP0311144A3 (en) | Optical instrument for measuring displacement | |
KR950001277A (ko) | 변이의 측정방법 및 측정장치 | |
CN112444194B (zh) | 二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 | |
US5127733A (en) | Integrated optical precision measuring device | |
US3861801A (en) | Device for sampling laser beams | |
US4436424A (en) | Interferometer using transverse deviation of test beam | |
JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
CN112304213B (zh) | 单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法 | |
SU949336A1 (ru) | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей | |
US5184014A (en) | Opto-electronic scale reading apparatus | |
Dobosz | Application of a divergent laser beam in a grating interferometer for high-resolution displacement measurements | |
US9739598B2 (en) | Device for interferential distance measurement | |
JP2503561B2 (ja) | レ―ザ―干渉式エンコ―ダ | |
EP0272297A1 (en) | OPTO-ELECTRONIC DEVICE FOR READING A GRADUATED SCALE. | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU974112A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
SU1464046A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний | |
GB2096784A (en) | Optical fibre temperature sensors | |
SU756197A1 (ru) | Устройство для измерения прямолинейности поверхностей 1 |