SU1364866A1 - Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений - Google Patents
Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1364866A1 SU1364866A1 SU853880353A SU3880353A SU1364866A1 SU 1364866 A1 SU1364866 A1 SU 1364866A1 SU 853880353 A SU853880353 A SU 853880353A SU 3880353 A SU3880353 A SU 3880353A SU 1364866 A1 SU1364866 A1 SU 1364866A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- optical
- wedge
- rays
- slit diaphragm
- angular displacements
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, предназначено дл измерени угловых перемещений объекта и может быть использовано в машиностроении дл проверки угломерных устройств. Целью изобретени вл етс повышение точности за счет выполнени отражательного блока и использовани диафрагмы как вторичного источника . При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращаетс и оптический клин 5, внос щий сдвиг в оптическую разность хода лучей, прошедших клин 5 и отраженных от покрыти 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 измен ютс оптические пути лучей, дважды проход щих клин 5 и падающих на щелевую диафрагму 8, щели которой образуют вторичные источники излучени . Оптическа система 9 формирует интерференционную картину в плоскости щелевой диафрагмы 10. Изменение оптической разности хода интерферирующих лучей приводит к движению интерференционных полос на регистрирующей системе 11, котора преобразует полосы в импульсы фототока и производит их подсчет с последующим вычислением значени угла поворота. 1 ил. (Л
Description
00 Од
СХ) О) О)
11
Изобретение относитс к измерителной технике, предназначено дл измерени угловых перемещений объекта и может быть использовано в машиностроении дл проверки угломерных устройств.
Цель изобретени - повышение точности измерени за счет вьтолнени отражательного блока и использовани диафрагмы как вторичного источника.
На чертеже представлена оптическа схема устройства.
Интерференционное устройство содежит последовательно расположенные ос ветитель 1, включаю1ций лазер 2 и коллиматор 3, светоделитель 4 дл делени падающего излучени на два потока , в одном из которых установлен отражательный блок в виде оптическог клина 5, скрепл емый с объектом 6. На оптический клин 5 нанесено зеркалное покрытие 7 со стороны, обращаемо к объекту 6. Во втором потоке от светоделител 4 последовательно установлены двухщелева диафрагма 8, оптическа система 9, щелева диафрагма 10 и регистрирующа система 11.
Устройство работает следующим об- разом.
Излучение от лазера 2, пройд коллиматор 3 и светоделитель 4, делитс на два потока, один из которых направл етс на клин 5, другой.- на диафрагму 8.
При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращаетс и оптический клин 5, внос щий сдвиг в оптическую разность хода соответствующих лучей.
0
5 0
прошедших клин 5 и отраженных от по- , крыти 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 измен ютс оптические пути лучей, дважды проход щих клин 5 и падающих на щелевую диафрагму 8, щели которой образуют вторичные источники излучени . Оптическа система 9 формирует интерференционную картину в плоскости щелевой диафрагмы 10. Изменение оптической разности хода интерферирующих лучей, вызванное поворотом объекта 6, приводит к движению интерференционных полос на регистрирующей системе 11, котора преобразует их в импульсы фототока и производит их подсчет с последующим вычислением значени угла поворота .
Claims (1)
- Формула изобретениИнтерференционное устройство дл измерени угловых перемещений, содержащее последовательно расположенные осветитель и светоделитель дл делени падающего излучени на два потока , в одном из которых установлен отражательный блок, скрепл емый с объектом, в другом последовательно устано лены оптическа система, щелева диафрагма и регистрирующа система, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени , оно снабжено двухщелевой диафрагмой, установленной между оптическим блоком и светоделителем, а отражательный блок вьтолнен в виде оптического клина с зеркальным покрытием со стороны,обращаемой к объекту.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853880353A SU1364866A1 (ru) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853880353A SU1364866A1 (ru) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1364866A1 true SU1364866A1 (ru) | 1988-01-07 |
Family
ID=21171721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853880353A SU1364866A1 (ru) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1364866A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111121618A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种回转运动转台的零点位置检测系统 |
CN111121665A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于相移差动的光学瞄准与定向装置及方法 |
-
1985
- 1985-04-05 SU SU853880353A patent/SU1364866A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 697809, кл. G 01 В 11/26, 1975. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111121618A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种回转运动转台的零点位置检测系统 |
CN111121665A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于相移差动的光学瞄准与定向装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4969744A (en) | Optical angle-measuring device | |
US4436424A (en) | Interferometer using transverse deviation of test beam | |
JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
SU1518663A1 (ru) | Интерферометр дл измерени поперечных перемещений | |
SU1525445A1 (ru) | Интерферометр дл измерени перемещений | |
SU864002A1 (ru) | Интерференционный датчик углов поворота объекта | |
SU1693369A1 (ru) | Устройство дл определени нулевого положени объекта | |
SU1730531A1 (ru) | Двухкоординатный измеритель перемещений | |
SU1397718A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени | |
SU1506269A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта | |
SU352479A1 (ru) | ||
SU974112A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
SU1113671A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU949336A1 (ru) | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей | |
SU932220A1 (ru) | Устройство дл регистрации смещени объекта | |
SU1518666A1 (ru) | Способ измерени перемещени объекта и устройство дл его осуществлени | |
SU958852A1 (ru) | Устройство дл измерени углового перемещени объекта | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1464046A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний | |
SU1054677A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
SU1320657A1 (ru) | Створофиксатор | |
SU1534298A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объекта |