SU712654A1 - Интерферометр - Google Patents

Description

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано, в частности, для измерения смещения некоторой контролируемой поверхности относительно опорной, для измерения изменения длины тела и изменения показателя преломления прозрачных объектов под влиянием различных воздействий.

Наиболее близким к изобретению по своей технической сущности является интерферометр, содержащий источник света, одинаковые плоскопараллельные прозрачные пластины, установленные так, что луч света падает на первую пластину под углом 45°, а вторая пластина расположена параллельно первой на пути луча, прошедшего первую пластину, опорное зеркало, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяющей центры плоскопараллельных прозрачных пластин, предметное зеркало и регистрирующий узел [1].

Известный интерферометр позволяет измерять смещение поверхностей. В этом случае опорное зеркало неподвижно, а предметное зеркало связывается с перемещаемой поверхностью. В этом интерферометре отражающие поверхности опорного и предметного зеркал перпендикулярны, что за2 трудняет измерение изменения длины тела под влиянием различных воздействий, например в дилатометре, т. е. ограничивает функциональные возможности интерферо5 метра.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей интерферометра, например возможности измерения с помощью одного и того же интерферометра смещения некоторой контролируемой поверхности относительно опорной, изменения длины тела и изменения показателя преломления прозрачных объектов под влиянием различных воздействий.

Цель достигается тем, что плоскопараллельные прозрачные пластины установлены под углом 90' одна к другой, а предметное зеркало расположено так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяющей центры этих пластин.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра в случае измерения смещения контролируемой поверхности объекта относительно опорной поверхности; на фиг. 2 — то же, в случае измерения изменения показателя преломления прозрачного объекта; на фиг. 3 — то же, в случае измерения изменения длины объекта.

Интерферометр содержит источник 1 света, одинаковые плоскопараллельные про- зрачные пластины 2 и 3, установленные под углом 90° одна к другой, опорное зеркало 4, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии 00', соединяющей центры пластин 2 и 3, предметное зеркало 5, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии 00', и регистрирующий узел 6.

Интерферометр работает следующим образом.

Луч света от источника 1 падает на пластину 2 под углом 45° и расщепляется на два параллельных луча, которые проходят пластину 3, после чего один из них (опорный) попадает на отражающую поверхность опорного зеркала 4, другой (предметный) — на отражающую поверхность предметного зеркала 5. Отраженные опорный и предметный лучи попадают на пластину 3 и после отражения от ее граней интерферируют. Интерференционную картину наблюдают с помощью регистрирующего узла 6.

В случае измерения смещения контролируемой поверхности объекта 7, связанного с зеркалом 5, относительно опорной поверхности зеркала 4 и измерения изменения длины объекта 7 (см. фиг. 1 и 3), разность хода интерферирующих лучей изменяется и происходит смещение интерференционной картины. По величине этого смещения мож712654 но рассчитать искомые величины по общепринятой методике.

При измерении изменения показателя преломления объекта 7 (см. фиг. 2) раз5 ность хода опорного и предметного лучей изменяется за счет изменения оптического хода луча, прошедшего через исследуемый объект 7.

Claims (1)

1. 3 2 и 3, зрачные штастины установленные под углом 90° одна к другой, опорное зеркало 4, расположенное так, что его отражающа  поверхность перпендикул рна к линии 00, соедин ющей центры пластин 2 и 3, предметное зеркало 5, расположенное так, что его отражающа  поверхность перпендикул рна к линии 00, и регистрирующий узел 6. Интерферометр работает следующим образом . Луч света от источника 1 падает на пластину 2 под углом 45° н расщепл етс  на два параллельных луча, которые проход т пластину 3, после чего один из них (опорный ) попадает на отражающую поверхность опорного зеркала 4, другой (предметный ) - на отражающую поверхность предметного зеркала 5. Отраженные опорный и предметный лучи попадают на пластину 3 и после отражени  от ее граней интерферируют. Интерференционную картину наблюдают с помощью регистрирующего узла 6. В случае измерени  смещени  контролируемой поверхности объекта 7, св занного с зеркалом 5, относительно опорной поверхности зеркала 4 и измерени  изменени  длины объекта 7 (см. фиг. 1 и 3), разность хода интерферирующих лучей измен етс  и происходит смещение интерференционной картины. Ио величине этого смещени  можно рассчитать искомые величины по общеприн той методике. При измерении изменени  показател  преломлени  объекта 7 (см. фиг. 2) разность хода опорного и предметного лучей измен етс  за счет изменени  оптического хода луча, прощедщего через исследуемый объект 7. Формула изобретени  Интерферометр, содержащий источник света, одинаковые плоскопараллельные прозрачные пластины, предметное зеркало, опорное зеркало, расположенное так, что его отражающа  поверхность перпендикул рна к линии, соедин ющей центры плоскопараллельных прозрачных пластин, и регистрирующий узел, отличающийс  тем, что, с целью расщирени  функциональных возможностей, плоскопараллельные прозрачные пластины установлены под углом 90° одна к другой, а предметное зеркало расположено так, что его отражающа  поверхность перпендикул рна к линии, соедин ющей центры этих пластин. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Коломийцов Ю. В. Интерферометры. Ленинград, «Мащиностроение, 1976,0.52- 55 (прототип).