CN111121618A - 一种回转运动转台的零点位置检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括用于支撑回转运动转台的轴套、设置在轴套上的第一基准面、设置在轴套上的第二基准面、分别与第一基准面和第二基准面刚性抵靠的基座、固定连接在基座上的自准直组件、设置在回转运动转台轴系上的第三基准面、设置在第三基准面上的反射镜、设置在回转运动转台上的第一编码器、以及处理器，自准直组件根据脉冲信号中断锁定编码器记录当前输出的位置值并将位置值确定为编码器的零点位置值，通过第一基准面和第二基准面的刚性抵靠以及与第三基准面之间的位置关系，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用，不需要重新进行零点检测，操作简便，降低调试工作量。

Description

一种回转运动转台的零点位置检测系统

技术领域

本发明涉及自动化领域，特别涉及一种回转运动转台的零点位置检测系统。

背景技术

自准直仪是利用光学自准直原理，用于小角度测量或可转换为小角度测量的一种常用计量测试仪器。它在实现小角度的多维、非接触测量中具有独特的优点，被广泛用于光学元件的角度检测、平台平面度检测、机械轴系的晃动及精密导轨的直线度检测等精密测量中。

由单轴或多轴系统组成的自动化设备系统，在设备调试和维护过程中，需要建立设备工作基准。由于编码器是回转移动位置信息输出仪器，编码器的安装位置将是系统轴移动的唯一角度基准，不可丢失，否则将重新调试设备，再找回零点基准。例如：当编码器发生损坏时，零点基准也就丢失，新更换的编码器在设备零点找不到，需重新建立设备的检测系统来找零点基准，来确定编码器的零点，系统的调试工作量数倍的增加。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种回转运动转台的零点位置检测系统，可以准确找到回转运动转台的零点位置，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用，方便更换编码器，不需要重新进行零点检测，操作简便。

本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括用于支撑回转运动转台的轴套、设置在所述轴套上并预先校准的第一基准面、设置在所述轴套上并预先校准的第二基准面、分别与所述第一基准面和所述第二基准面刚性抵靠的基座、固定连接在所述基座上的自准直组件、设置在所述回转运动转台轴系上的第三基准面、设置在所述第三基准面上的反射镜、设置在所述回转运动转台上的第一编码器、以及处理器，所述第一基准面和所述第二基准面互成角度，所述自准直组件包括光源、分光镜、准直透镜、第一相移光电接收器，所述光源发出的光线透过所述分光镜进入所述准直透镜，所述光线经过准直后照射到所述反射镜上，经过所述反射镜的反射，反射光沿原光路返回，所述反射光经过所述反光镜反射到所述第一相移光电接收器，所述第一相移光电接收器根据所述反射光触发第一脉冲信号，所述处理器根据所述第一脉冲信号中断锁定所述第一编码器记录当前输出的第一位置值并将所述第一位置值确定为所述第一编码器的零点位置值。

可选地，所述第一相移光电接收器包括狭缝、比较触发器、第一光电接收器和第二光电接收器，所述第一光电接收器和所述第二光电接收器沿光的扫描方向设置，在所述反射镜跟随所述回转运动转台转动过程中，平行光照射在所述反射镜上，由所述反射镜反射产生的反射光的汇聚交点在狭缝面上移动并经过所述狭缝，经狭缝时光线穿过狭缝面先后照射到第一光电接收器及第二光电接收器，所述第一光电接收器根据所述反射光生成第一光电信号，所述第二光电接收器根据所述反射光生成第二光电信号，所述第一路信号和所述第二路信号存在相位差，所述比较触发器在所述第一路光信号的幅值达到第一幅值或所述第二路光信号达到第二幅值时触发脉冲信号，所述第一路光信号和所述第二路光信号交于第一重合点，利用所述第一重合点确定为所述第一编码器的的零点位置。

可选地，所述光源为半导体激光器，所述分光镜为偏振分光镜，所述系统还包括四分之一波片，所述四分之一波片设置在所述第一基准面上，由所述半导体激光器发出的水平振动的偏振光进入所述偏振分光镜，经过所述四分之一波片后形成圆偏振光，所述圆偏振光进入所述准直透镜进行准直后平行照射在所述反射镜上，经过所述反射镜的反射形成的所述反射光，所述反射光经过所述准直透镜、所述四分之一波片后经过所述偏振分光镜反射汇聚进入所述第一相移光电接收器。

可选地，所述回转运动转台与所述轴套互相垂直。

可选地，所述回转运动转台包括X轴转台、X轴转台支架以及Y轴转台，所述第三基准面设置在所述X轴转台上，所述X轴转台安装在所述X轴转台支架上，所述X轴转台支架安装在所述Y轴转台上，所述Y轴转台的轴线与所述第一基准面垂直，所述X轴转台的轴线与所述Y轴转台的轴线互相垂直，所述第三基准面和所述X轴转台的轴线、所述Y轴转台的轴线共面。

可选地，所述自准直组件还包括第二相移光电接收器和消偏振分光棱镜，所述消偏振分光棱镜设置在所述偏振分光镜和所述第一相移光电接收器之间，所述第二相移光电接收器设置在所述消偏振分光棱镜的反射方向上，所述第二偏振光经过所述偏振反射镜反射到所述消偏振分光棱镜，经过所述消偏振分光棱镜透射照在所述第一相移光电接收器，经过所述消偏振分光棱镜反射到第二相移光电接收器。

可选地，还包括第二编码器，所述第二编码器与所述处理器电连接，所述第二相移光电接收器根据接收到的所述第二偏振光触发脉冲信号，所述处理器根据所述脉冲信号中断锁定所述第二编码器记录当前输出的第二位置值并将所述第二位置值确定为所述第二编码器的零点位置值。

可选地，所述第一编码器安装在所述X轴转台的轴系上，所述第二编码器设置在所述Y轴转台的轴系上。

可选地，所述第一基准面和所述第二基准面互相垂直。

可选地，所述回转运动转台轴系上还设有第四基准面，所述第三基准面和所述第四基准面互相垂直，所述反射镜支撑在所述第四基准面上。

本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括用于支撑回转运动转台的轴套、设置在所述轴套上并预先校准的第一基准面、设置在所述轴套上并预先校准的第二基准面、分别与所述第一基准面和所述第二基准面刚性抵靠的基座、固定连接在所述基座上的自准直组件、设置在所述回转运动转台轴系上的第三基准面、设置在所述第三基准面上的反射镜、设置在所述回转运动转台上的第一编码器以及处理器，所述第一基准面抵靠在所述第二基准面上，所述自准直组件包括光源、分光镜、准直透镜、第一相移光电接收器，所述光源发出的光线透过所述分光镜进入所述准直透镜，所述光线经过准直后照射到所述反射镜上，经过所述反射镜的反射，反射光沿原光路返回，所述反射光经过所述反光镜反射到所述第一相移光电接收器，所述第一相移光电接收器根据所述反射光触发第一脉冲信号，所述处理器根据所述第一脉冲信号中断锁定所述第一编码器记录当前输出的第一位置值并将所述第一位置值确定为所述第一编码器的零点位置值，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用，方便更换编码器，不需要重新进行零点检测，操作简便，降低调试工作量。

附图说明

图1是本发明实施例的回转运动转台的零点位置检测系统一种实施例的结构示意图；

图2是本发明实施例的回转运动转台的零点位置检测系统中第一光电接收器的结构示意图；

图3是本发明实施例的回转运动转台的零点位置检测系统中一种实施例的结构示意图；

图4是本发明实施例的回转运动转台的零点位置检测系统中另一种实施例的结构示意图。

附图标记：

光源1，偏振分光镜2，四分之一波片3，准直透镜4，第一相移光电接收器5，第一光电接收器51，第二光电接收器52，比较触发器53，狭缝54，消偏振分光棱镜6，第二相移光电接收器7，反射镜8，第一编码器9，第二编码器10，处理器11，基座12，轴套13，第三基准面14，第二基准面15，第一基准面16，第四基准面17。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

结合图1、3和4所示，本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括用于支撑回转运动转台的轴套13、设置在所述轴套13上并预先校准的第一基准面16、设置在所述轴套13上并预先校准的第二基准面15、分别与所述第一基准面16和所述第二基准面15刚性抵靠的基座12、固定连接在基座12上的自准直组件、设置在所述回转运动转台轴系上的第三基准面14、设置在所述第三基准面14上的反射镜8、设置在所述回转运动转台上的第一编码器9、以及处理器11，第一基准面16和第二基准面15互成角度，互成的角度可以是锐角、直角或钝角，第一基准面16和第二基准面15不平行，第一基准面16刚性抵靠在所述第二基准面15上，即第一基准面16和第二基准面15无缝靠齐，保证基准，自准直组件包括光源1、准直透镜4、第一相移光电接收器5，所述第三基准面14与所述回转运动转台的X轴和/或Y轴重合，所述光源1发出的光经过分光镜后进入准直透镜4准直照射到反射镜8上，经过反射镜8的反射，反射光沿原光路返回，所述反射光经过所述分光镜反射到所述第一相移光电接收器5，所述第一相移光电接收器5根据反射光确定所述反射镜8是否处于零点位置并当所述反射镜8处于零点位置时触发脉冲信号，所述处理器11根据所述脉冲信号中断锁定所述第一编码器9记录当前输出的第一位置值并将所述第一位置值确定为第一编码器的零点位置值，具体地，第一相移光电接收器5利用相移差动原理实现对零点位置的检测，通过利用相移光电接收器在反射镜处于零点位置时候触发脉冲信号，使得处理器锁定编码器的位置值即可确定回转运动转台的零点位置，将所述零点位置值作为新更换的编码器的零点，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用，方便更换编码器，不需要重新进行零点检测，操作简便，降低调试工作量。

基座12采用平板结构且具有安装平面，基座12通过安装平面分别与第一基准面16和第二基准面15靠紧，回转运动转台轴系上还设有第四基准面17，第三基准面15和第四基准面17互相垂直，反射镜8的背面抵靠在第三基准面15上，反射镜8的底部抵靠在第四基准面17上，确保反射镜8的安装位置保持唯一。

第一基准面12、第二基准面15、第三基准面14以及第四基准面17在预先进行校准，保证光路的准确性，第一编码器就是作为更换的编码器，通过第一基准面和第二基准面的抵靠将原本需要重新利用监测系统标定编码器零点的方式，改变为利用外部的第一基准面、第二基准面、第三基准面和第四基准面作为编码器零点检测，当需要更换新的编码器时候，只需要将器件按照相应基准面安装好再检测脉冲信号即可实现转台定向基准的获得，进而也获得了新的编码器的零点位置。

本实施例中，第一基准面16沿着X-Z方向设置，第二基准面15沿着Y-Z方向方向设置，即第一基准面16和第二基准面15垂直，相应地，基座12的侧边也采用直角设计，使得基座12和第一基准面16、第二基准面15靠齐。

结合图2所示，第一相移光电接收器5包括狭缝54、比较触发器53、第一光电接收51器和第二光电接收器52，所述第一光电接收器51和所述第二光电接收器52沿光的扫描方向设置，在回转运动转台转动过程中，反射镜8同步转动，所述反射光的汇聚交点在狭缝面上移动，经过所述狭缝54，反射光先后照射到所述第一光电接收器51和所述第二光电接收器52产生相位差，所述第一光电接收器51根据所述反射光生成第一光电信号，所述第二光电接收器52根据所述反射光生成第二光电信号，实现相移过程，因为所述第一路信号和所述第二路信号存在相位差，所述比较触发器53在所述第一路光信号的幅值达到第一幅值或所述第二路光信号达到第二幅值时开始工作，所述第一路光信号和所述第二路光信号交于第一重合点，实现差动过程，利用所述第一重合点确定为回转运动转台的定向基准位置，也就是第一编码器的零点位置得到确定。

结合图1和图3所示，当光源采用半导体激光器时，为了提高光利用率，分光镜需要采用偏振分光镜2，增加四分之一波片3，四分之一波片3设置在所述第一基准面上，本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括光源1、偏振分光镜2、四分之一波片3、准直透镜4、第一相移光电接收器5、设置在所述回转运动转台的轴系上的反射镜8、设置在所述回转运动转台上的第一编码器9以及处理器11，所述光源1发出的水平振动的第一偏振光进入所述偏振分光镜2以及所述四分之一波片3后调整为圆偏振光，所述圆偏振光进入所述准直透镜4准直照射到所述反射镜8上，经过所述反射镜8的反射，反射光沿原光路返回，所述反射光经过所述四分之一波片3后调整为垂直振动的第二偏振光，所述第二偏振光经过所述偏振分光镜2反射到所述第一相移光电接收器5，所述第一相移光电接收器5根据所述第二偏振光确定所述反射镜8是否处于零点位置并当所述反射镜8处于零点位置时触发脉冲信号，所述处理器11根据所述脉冲信号中断锁定所述第一编码器9记录当前输出的位置值并将所述位置值确定为所述回转运动转台的零点位置值。

需要说明的是，本方案中对于四分之一波片可以选用，也可以不使用，不影响本系统进行编码器零点检测的进行。

可选地，偏振分光镜2即具有偏振镜功能也具有反射功能，在偏振分光镜2中呈45度角设置分光镜面，这样偏振分光镜2可以有选择地让某个方向振动的光线，并可以将反射回光线进行再次反射，改变光路，使得第一相移光电接收器5可以接收到第二偏振光，第一相移光电接收器5设置在所述偏振分光镜2的反射面呈45度的位置，第一相移光电接收器5的朝向与光源1的激光发射方向垂直。

回转运动转台安装在所述轴套13上，轴套13水平放置，回转运动转台沿竖直方向设置在轴套13上，所述轴套13设有水平延伸的第一安装面，在所述第一安装面上设置第一基准面12，所述第一基准面12在X方向、Y方向的安装面，与所述回转运动转台的轴套13固定连接，确保安装的重复性，所述光源1、所述偏振分光镜2、所述四分之一波片3、所述准直透镜4、所述第一相移光电接收器5设置在所述第一基准面12上，准直透镜4可以将发散的光以平行的方式出射，所述光源1、所述偏振分光镜2、所述四分之一波片3、所述准直透镜4与所述反射镜8的安装位置共线，即所述光源1、所述偏振分光镜2、所述四分之一波片3、所述准直透镜4呈直线排列，所述回转运动转台的轴系上设有第二安装面，所述第二安装面与所述轴系的轴线平行，第二安装面设置在回转运动转台的上半部分，在回转运动转台的下半部分安装第一编码器9，第一编码器9与处理器11连接。

结合图4所示，前面提到的回转运动转台不仅可以用在单轴转台，还可以用在多轴转台上，以双轴转台为例，回转运动转台包括X轴转台、X轴转台支架以及Y轴转台，可以进行X轴方向和Y轴方向的翻转，第三基准面14设置在所述X轴转台上，所述X轴转台安装在所述X轴转台支架上，所述X轴转台支架安装在所述Y轴转台上，Y轴转台的轴线与第一基准面12垂直，所述X轴转台的轴线与所述Y轴转台的轴线互相垂直，，所述Y轴转台的轴线与所述第一基准面垂直，所述X轴转台的轴线与所述Y轴转台的轴线互相垂直，所述第三基准面和所述X轴转台的轴线、所述Y轴转台的轴线共面，即第三基准面14和所述X轴转台的轴线、所述Y轴转台的轴线靠齐，X轴转台转动带动反射进行竖直方向上的摆动，Y轴转台转动可以带动整个X轴转台在水平方向进行摆动。

结合图4所示，采用双轴转台时候，本方案还包括第二相移光电接收器7和消偏振分光棱镜6，消偏振分光棱镜6设置在所述偏振分光镜2和所述第一相移光电接收器5之间，所述第二相移光电接收器7设置在所述消偏振分光棱镜6的反射方向上，所述第二偏振光经过所述偏振分光镜2反射到所述消偏振分光棱镜6，经过所述消偏振分光棱镜6照射在所述第一相移光电接收器5，经过所述消偏振分光棱镜6反射到第二相移光电接收器7。

结合图4所示，采用双轴转台时候，本方案还包括第二编码器10，所述第二相移光电接收器7根据接收到的所述第二偏振光触发脉冲信号，所述处理器根据所述脉冲信号中断锁定所述第二编码器10记录当前输出的第二位置值并将所述第二位置值确定为所述第二编码器10的零点位置值，所述第二编码器10与所述处理器11电连接。

需要说明的是，对于第一编码器9和第二编码器10还可以采用其他测角器件代替，对此不做限定。

结合图4所示，采用双轴转台时候，第一编码器9安装在X轴转台的轴系上，第二编码器10设置在Y轴转台的轴系上，处理器11用于在所述第一相移光电接收器5根据所述第二偏振光确定所述反射镜8是否处于零点位置并当所述反射镜8处于零点位置时触发第一脉冲信号，所述处理器11根据所述第一脉冲信号中断锁定所述第一编码器9记录当前输出的第一位置值并将所述第一位置值确定为所述X轴转台的零点位置值，将所述X轴转台的零点位置值作为第一编码器9的零点；所述处理器11还用于在所述第二相移光电接收器7根据所述第二偏振光的反射光确定所述反射镜8是否处于零点位置并当所述反射镜8处于零点位置时触发第二脉冲信号，所述处理器11根据所述第二脉冲信号中断锁定所述第二编码器10记录当前输出的第二位置值并将所述输出位置值确定为所述Y轴转台的零点位置值，将所述Y轴转台的零点位置值作为第二编码器10的零点。

对于相移光电传感器的原理进行介绍，所以反射镜8反射的反射光经过准直透镜4、四分之一波片3后调整为垂直振动偏振光，偏振光经过偏振分光镜2反射到相移光电接收器上，由于转台在转动中反射镜8也随之转动，相移光电接收器具有两路接收器和比较器，分光镜没有与光路对正时两路接收器接收的反射光信号存在不同，此时回转运动转台没有处于零点位置，继续转动反射镜8当两路接收器接收的反射光信号相同时候则比较器触发脉冲信号，表明此时回转运动转台处于零点位置，处理器11可以中断锁定编码器输出的位置值，通过位置值确定编码器的零点位置，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用。

本发明提供的回转运动转台的零点位置检测系统，包括用于支撑回转运动转台的轴套、设置在所述轴套上并预先校准的第一基准面、设置在所述轴套上并预先校准的第二基准面、分别与所述第一基准面和所述第二基准面刚性抵靠的基座、固定连接在所述基座上的自准直组件、设置在回转运动转台轴系上的第三基准面、设置在第三基准面上的反射镜、设置在回转运动转台上的第一编码器以及处理器，第一基准面刚性抵靠在所述第二基准面上，自准直组件根据脉冲信号中断锁定编码器记录当前输出的位置值并将位置值确定为编码器的零点位置值，通过第一基准面和第二基准面的刚性抵靠以及与第三基准面之间的位置关系，在更换新的编码器时候可将该零点位置值作为零点位置使用，不需要重新进行零点检测，操作简便，降低调试工作量。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

以上对本发明所提供的一种回转运动转台的零点位置检测系统进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，包括用于支撑回转运动转台的轴套、设置在所述轴套上并预先校准的第一基准面、设置在所述轴套上并预先校准的第二基准面、分别与所述第一基准面和所述第二基准面刚性抵靠的基座、固定连接在所述基座上的自准直组件、设置在所述回转运动转台轴系上的第三基准面、设置在所述第三基准面上的反射镜、设置在所述回转运动转台上的第一编码器、以及处理器，所述第一基准面和所述第二基准面互成角度，所述自准直组件包括光源、分光镜、准直透镜、第一相移光电接收器，所述光源发出的光线透过所述分光镜进入所述准直透镜，所述光线经过准直后照射到所述反射镜上，经过所述反射镜的反射，反射光沿原光路返回，所述反射光经过所述反光镜反射到所述第一相移光电接收器，所述第一相移光电接收器根据所述反射光触发第一脉冲信号，所述处理器根据所述第一脉冲信号中断锁定所述第一编码器记录当前输出的第一位置值并将所述第一位置值确定为所述第一编码器的零点位置值。

2.根据权利要求1所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述第一相移光电接收器包括狭缝、比较触发器、第一光电接收器和第二光电接收器，所述第一光电接收器和所述第二光电接收器沿光的扫描方向设置，在所述反射镜跟随所述回转运动转台转动过程中，平行光照射在所述反射镜上，由所述反射镜反射产生的反射光的汇聚交点在狭缝面上移动并经过所述狭缝，经狭缝时光线穿过狭缝面先后照射到第一光电接收器及第二光电接收器，所述第一光电接收器根据所述反射光生成第一光电信号，所述第二光电接收器根据所述反射光生成第二光电信号，所述第一路信号和所述第二路信号存在相位差，所述比较触发器在所述第一路光信号的幅值达到第一幅值或所述第二路光信号达到第二幅值时触发脉冲信号，所述第一路光信号和所述第二路光信号交于第一重合点，利用所述第一重合点确定为所述第一编码器的零点。

3.根据权利要求1所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述光源为半导体激光器，所述分光镜为偏振分光镜，所述系统还包括四分之一波片，所述四分之一波片设置在所述第一基准面上，由所述半导体激光器发出的水平振动的偏振光进入所述偏振分光镜，经过所述四分之一波片后形成圆偏振光，所述圆偏振光进入所述准直透镜进行准直后平行照射在所述反射镜上，经过所述反射镜的反射形成的所述反射光，所述反射光经过所述准直透镜、所述四分之一波片后经过所述偏振分光镜反射汇聚进入所述第一相移光电接收器。

4.根据权利要求3所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述回转运动转台与所述轴套互相垂直。

5.根据权利要求4所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述回转运动转台包括X轴转台、X轴转台支架以及Y轴转台，所述第三基准面设置在所述X轴转台上，所述X轴转台安装在所述X轴转台支架上，所述X轴转台支架安装在所述Y轴转台上，所述Y轴转台的轴线与所述第一基准面垂直，所述X轴转台的轴线与所述Y轴转台的轴线互相垂直，所述第三基准面和所述X轴转台的轴线、所述Y轴转台的轴线共面。

6.根据权利要求5所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述自准直组件还包括第二相移光电接收器和消偏振分光棱镜，所述消偏振分光棱镜设置在所述偏振分光镜和所述第一相移光电接收器之间，所述第二相移光电接收器设置在所述消偏振分光棱镜的反射方向上，所述第二偏振光经过所述偏振反射镜反射到所述消偏振分光棱镜，经过所述消偏振分光棱镜透射照在所述第一相移光电接收器，经过所述消偏振分光棱镜反射到第二相移光电接收器。

7.根据权利要求6所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，还包括第二编码器，所述第二编码器与所述处理器电连接，所述第二相移光电接收器根据接收到的所述第二偏振光触发脉冲信号，所述处理器根据所述脉冲信号中断锁定所述第二编码器记录当前输出的第二位置值并将所述第二位置值确定为所述第二编码器的零点位置值。

8.根据权利要求7所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述第一编码器安装在所述X轴转台的轴系上，所述第二编码器设置在所述Y轴转台的轴系上。

9.根据权利要求1所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述第一基准面和所述第二基准面互相垂直。

10.根据权利要求1所述的回转运动转台的零点位置检测系统，其特征在于，所述回转运动转台轴系上还设有第四基准面，所述第三基准面和所述第四基准面互相垂直，所述反射镜支撑在所述第四基准面上。

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