JP2005147824A - 真直・平面度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光源1と、該レーザ光源から出射するレーザ光1aの光路上に配置したウォラストンプリズム干渉器2と、該干渉器のウォラストンプリズムで直線偏光された干渉光1b,1cをウォラストンプリズムへ反射させる反射ミラー3とを備え、干渉器2を測定対象面上に沿い移動してその平面度,真直度を測定する平面・真直度測定装置において、前記ウォラストンプリズム干渉器を直線状のガイドレール6aと移動テーブル6bからなる水平ガイドモジュール6に、垂直ガイドレール7a,移動テーブル7bからなる垂直ガイドモジュール7を組み合わせたリニアガイド8に搭載するとともに、ガイドレール6aの両端にレーザ光源,反射ミラーを連結し、リニアガイドを被測定面上にセットした状態で干渉器を移動して測定対象の平面度,ないし真直度を測定する。
【選択図】 図1
Description
一方、検査対象の真直度,ないし平面度の高精度な測定にレーザ干渉計を採用した測定法が従来から知られている(例えば、特許文献1,特許文献2参照)。
図2はレーザ干渉計を応用した上記測定装置の従来構成図である。図において、1はレーザ光源、2はレーザ光源1から出射したレーザ光1aの光路上に配置したウォラストンプリズム干渉器、3は反射ミラー、4は干渉器2を搭載した移動テーブル、5は移動テーブル4の移動を案内するガイド板(定規)である。
ここで、前記したタービンケーシングなどの大形機器について、その製品の測定対象となる検査面の真直度,平面度を測定する場合には、測定対象となる加工面上の測定ポイントに沿ってガイド板5を配置した上で、このガイド板5の側方に添わせて配置した移動テーブル4に干渉器2を搭載し、さらに干渉器2のウォラストンプリズムに光路を合わせてその前後位置にレーザ光源1,反射ミラー4を配置し、さらに各光学機器の相互間で光軸を合わせるように調整した状態で、移動テーブル4をガイド板5に沿ってレーザ光の光路上を移動しながら次記のように検査面の平面度1を測定する。なお、平面度は真直度(1次元の幾何学量)を2次元に拡張したものであり、基本的には真直度の測定をその測定ポイントを変えて行なうことで平面度の測定が行える。
すなわち、図2に示した従来構成では、レーザ光源1,ウォラストンプリズム干渉器2,反射ミラー3の各光軸部品が分離独立していて個別に測定対象の経路にセットし、この状態で干渉器2をガイド板5に添わせて案内させながらレーザ光線1aの光路上を移動して測定を行うようにしている。このために、図4で表すように測定対象面10が平坦な直線状を呈してなく、レーザ光1aの光軸に沿った測定経路の途中に図2に示した移動テーブル4の外形サイズよりも大きな凹所(または穴)11あるいは不連続部12などが存在していると、測定を中断して干渉器2を凹所11,不連続部12を跨ぐように移し変えるなど、レーザ光の光路から外れないように移動して連続的に測定を行うことできなくなる。すなわち、レーザ干渉計による測定装置は、測定を途中で中断して干渉器を測定範囲を逸脱して移動したりすると、測定にエラーが生じて装置がリセットされてしまって、正しい測定データが得られないといった問題が生じる。
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、その目的は前記課題を解決し、測定装置に簡易な測定治具を組み合わせることにより、図4のような不連続の測定対象面に対しても支障なく測定が行え、また測定装置を別な測定箇所に移して測定を行う場合でもその都度光軸を合わせる調整作業を必要とせずに、測定作業を能率よく行えるように改良した真直・平面度測定装置を提供することにある。
前記ウォラストンプリズム干渉器を水平ガイドモジュールに垂直ガイドモジュールを組み合わせたリニアガイドに搭載し、該リニアガイドを被測定面上にセットした状態で干渉器を移動して真直度,ないし平面度の測定を行うようにする(請求項1)。
また、前記の構成において、リニアガイドの水平ガイドモジュールの両端に、ウォラストンプリズム干渉器と光路を合わせてレーザ光源,および反射ミラーを連結し、測定装置全体を一体化した構成とする(請求項2)。
また、前記水平ガイドモジュールの両端にウォラストンプリズム干渉器と光路を合わせてレーザ光源,および反射ミラーを連結し、測定装置全体を一体化した構成によれば、測定装置を別な測定箇所に移して測定を行う場合でも、従来装置のようにその準備作業として各光学部品の光軸を合わせる面倒な調整作業が不要となり、これにより測定作業を短時間で能率よく行える。
すなわち、図1に示す実施例の測定装置では、水平ガイドモジュール6と垂直ガイドモジュール7を組み合わせたリニアガイド8に、図示のようにレーザ光源1,ウォラストンプリズム干渉器2,および反射ミラー3を装着して一体化されている。ここで、水平ガイドモジュール6は真直度が高い(真っ直ぐ)直線状の長尺ガイドレール6aに可動テーブル6bを矢印H方向に案内支持した構成になる。また、垂直ガイドモジュール7は前記可動テーブル6bの側面に敷設した垂直方向のガイドレール7aに可動テーブル7bを矢印V方向へ移動自在に案内支持した構成になり、この可動テーブル7bに干渉器2が装着されている。なお、前記のガイドレール7aにはストッパを設けて可動テーブル7bの上下移動範囲を測定範囲(例えば±2mm)に規正するようにしている。一方、レーザ光源1,反射ミラー3は、干渉器2のウォラストンプリズムに光路を合わせて前記水平ガイドモジュール6のガイドレール6aの両端に連結されている。
また、測定装置を別な測定箇所に移して測定を行う場合でも、装置全体を組立状態のまま新たな測定位置に移してセッティングすることにより、従来装置のように測定に先立って行う光軸の調整作業が必要なく、直ちに測定を開始できる。
1a レーザ光
1b,1c 干渉光
2 ウォラストンプリズム干渉器
3 反射ミラー
6 水平ガイドモジュール
7 垂直ガイドモジュール
8 リニアガイド
Claims (2)
- レーザ光源と、該レーザ光源から出射するレーザ光の光路上に配置したウォラストンプリズム干渉器と、該干渉器のウォラストンプリズムで直線偏光された干渉光をウォラストンプリズムへ反射させる反射ミラーとを備え、前記干渉器を測定対象面上に沿い移動してその真直度,平面度を測定する真直・平面度測定装置において、
前記ウォラストンプリズム干渉器を水平ガイドモジュールに垂直ガイドモジュールを組み合わせたリニアガイドに搭載し、該リニアガイドを被測定面上にセットした状態で干渉器を移動して真直度,ないし平面度の測定を行うようにしたことを特徴とする真直・平面度測定装置。 - 請求項1に記載の真直・平面度測定装置において、リニアガイドの水平ガイドモジュールの両端に、ウォラストンプリズム干渉器と光路を合わせてレーザ光源,および反射ミラーを連結して装置全体を一体化した構成としたことを特徴とする真直・平面度測定装置。
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JP2003384975A JP2005147824A (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | 真直・平面度測定装置 |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100430692C (zh) * | 2006-08-30 | 2008-11-05 | 河南省高远公路养护设备有限公司 | 激光路面构造深度检测仪 |
CN102252638A (zh) * | 2011-04-29 | 2011-11-23 | 大连海事大学 | 用于测量超大平面平面度的数据拼接技术 |
CN105115451A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-12-02 | 浙江保利电梯导轨制造有限公司 | 用于测量电梯导轨精度的检测装置及测量方法 |
CN105403189A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-16 | 华中科技大学 | 一种导轨平行度测量方法及装置 |
CN105423925A (zh) * | 2015-12-09 | 2016-03-23 | 苏州承乐电子科技有限公司 | 激光导轨测长装置 |
CN108775877A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-11-09 | 郑州玖意优创商贸有限公司 | 一种建筑用墙面智能测量装置 |
CN109631805A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-16 | 浙江理工大学 | 渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置 |
CN110542369A (zh) * | 2019-10-10 | 2019-12-06 | 上海紫燕合金应用科技有限公司 | 一种平面度和直线度检测装置 |
CN113551635A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-26 | 浙江威肯特智能机械有限公司 | 一种导轨平行度检测机构 |
CN114923441A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-19 | 北京博大新元房地产开发有限公司 | 一种建筑用模块化箱房安装平整度测试装置及方法 |
-
2003
- 2003-11-14 JP JP2003384975A patent/JP2005147824A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100430692C (zh) * | 2006-08-30 | 2008-11-05 | 河南省高远公路养护设备有限公司 | 激光路面构造深度检测仪 |
CN102252638A (zh) * | 2011-04-29 | 2011-11-23 | 大连海事大学 | 用于测量超大平面平面度的数据拼接技术 |
CN105115451A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-12-02 | 浙江保利电梯导轨制造有限公司 | 用于测量电梯导轨精度的检测装置及测量方法 |
CN105423925A (zh) * | 2015-12-09 | 2016-03-23 | 苏州承乐电子科技有限公司 | 激光导轨测长装置 |
CN105403189A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-16 | 华中科技大学 | 一种导轨平行度测量方法及装置 |
CN108775877A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-11-09 | 郑州玖意优创商贸有限公司 | 一种建筑用墙面智能测量装置 |
CN109631805A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-16 | 浙江理工大学 | 渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置 |
CN109631805B (zh) * | 2018-12-21 | 2020-08-04 | 浙江理工大学 | 渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置 |
CN110542369A (zh) * | 2019-10-10 | 2019-12-06 | 上海紫燕合金应用科技有限公司 | 一种平面度和直线度检测装置 |
CN113551635A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-26 | 浙江威肯特智能机械有限公司 | 一种导轨平行度检测机构 |
CN114923441A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-19 | 北京博大新元房地产开发有限公司 | 一种建筑用模块化箱房安装平整度测试装置及方法 |
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