SU1290061A1 - Интерферометр дл измерени углов поворота объекта - Google Patents

Интерферометр дл измерени углов поворота объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1290061A1
SU1290061A1 SU853848891A SU3848891A SU1290061A1 SU 1290061 A1 SU1290061 A1 SU 1290061A1 SU 853848891 A SU853848891 A SU 853848891A SU 3848891 A SU3848891 A SU 3848891A SU 1290061 A1 SU1290061 A1 SU 1290061A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
streams
beam splitter
interferometer
radiation
interference pattern
Prior art date
Application number
SU853848891A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Сергеевич Горлов
Елена Александровна Ефимова
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4149
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4149 filed Critical Предприятие П/Я Г-4149
Priority to SU853848891A priority Critical patent/SU1290061A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1290061A1 publication Critical patent/SU1290061A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  измерени  угловых перемеш,ений. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  путем получени  четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины. Излучение от лазера 1, пройд  через светоделитель 2, делитс  на два потока, равных по интенсивности, попадает на два уголковых отражател  3 и 4, после отражени  от которых потоки интерферируют и направл ютс  на светоделители 5 и 6. Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, 12, 13 и 14, вырезают участки интерференционных полос, при повороте объекта (на чертеже не обозначен) происходит перемещение интерференционной картины. 1 ил. 12 С/) 8 5 11 7 TDТ / ч/ 1№ Ф .7 :Л 1 - 10 Ш

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  измерени  угловых перемещений.
Цель изобретени  - повышение точности измерени  путем получени  четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины.
На чертеже представлена схема предлагаемого интерферометра.
Интерферометр содержит последовательно расположенные лазер 1 и светоделитель 2, два уголковых отражател  3 и 4, предназначенные дл  скреплени  с объектом (не обозначен), фоторегистрирующий блок в виде двух светоделителей 5 и 6, четырех диафрагм 7, 8, 9 и 10 и четырех фотоприемников 11, 12, 13 и 14.
Устройство работает следующим образом.
Излучение от лазера 1, пройд  через светоделитель 2, делитс  на два потока, равных по интенсивности, попадает на уголковые отражатели 3 и 4, обеспечивающие пространственное разнесение двух потоков.
После отражени  от уголковых отражателей 3 и 4 светоделитель 2 соедин ет отраженные интерферируемые потоки и направл ет их на светоделители 5 и 6.
Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, .12, 13 и 14, вырезают участки интерферирующих полос, сдвинутых друк относительно друга на 1/4 щирины полосы.
При повороте объекта длина одного плеча интерферометра уменьщаетс , а другого увеличиваетс , что приводит к перемещению интерференционной картины.
10

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Интерферометр дл  измерени  углов поворота объекта, содержащий последовательно расположенные лазер и светоделитель излучени  на два потока с расположенными в каждом из них уголковым отражателем , каждый из которых предназначен дл  С1 реплени  с объектом, и фоторегистрирующий блок, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  точности измерени , фоторегистрирующий блок выполнен в виде двух идентичных фотоэлектрических преобразователей, каждый из которых состоит соответственно из светоделител , дел щего излучение на два потока, двух диафрагм и двух фотоприемников , установленных в каждом из потоков от светоделител .
SU853848891A 1985-01-17 1985-01-17 Интерферометр дл измерени углов поворота объекта SU1290061A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853848891A SU1290061A1 (ru) 1985-01-17 1985-01-17 Интерферометр дл измерени углов поворота объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853848891A SU1290061A1 (ru) 1985-01-17 1985-01-17 Интерферометр дл измерени углов поворота объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1290061A1 true SU1290061A1 (ru) 1987-02-15

Family

ID=21160410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853848891A SU1290061A1 (ru) 1985-01-17 1985-01-17 Интерферометр дл измерени углов поворота объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1290061A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Крылов К. И. и др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978, с. 241-244. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE89411T1 (de) Positionsmesseinrichtung.
SU1290061A1 (ru) Интерферометр дл измерени углов поворота объекта
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU1130736A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени
SU756194A1 (ru) Устройство для измерения параметров движения . объекта
SU1506269A1 (ru) Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта
SU1173177A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объектов и показателей преломлени прозрачных сред
SU1275205A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта
SU1384936A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений
SU853378A1 (ru) Интерференционное устройство измерени лиНЕйНыХ и углОВыХ пЕРЕМЕщЕНий
SU1427168A1 (ru) Интерферометр
FR2235354A1 (en) Photoelectric optical test sensor - measures displacement of a diffraction screen with constant spacing in the test sensor plane
SU767508A1 (ru) Интерференционный компаратор дл измерени плоско-параллельных концевых мер длины
SU1113671A1 (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений
SU1330455A1 (ru) Интерферометр дл измерени рассто ни
SU1413415A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий
SU1649262A1 (ru) Интерференционный преобразователь угла
SU1054677A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
SU1073567A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
RU2047085C1 (ru) Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола
SU1397719A1 (ru) Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов
SU1425434A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта
SU983449A1 (ru) Интерферометр дл измерени углов поворота объекта
SU1288498A1 (ru) Интерферометр
SU1472754A1 (ru) Интерференционный способ измерени линейных перемещений