SU1384936A1

SU1384936A1 - Интерферометр дл измерени линейных перемещений

Info

Publication number: SU1384936A1
Application number: SU854139862A
Authority: SU
Inventors: Владимир Яковлевич Бараш; Геннадий Степанович Пресняков; Александр Леонидович Резников
Original assignee: Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Метрологической Службы
Priority date: 1985-10-28
Filing date: 1985-10-28
Publication date: 1988-03-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к измерени м перемещений при вибрации. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности. Излучение от источника 1 раздел етс светоделителем 2 на два потока, один из которых направл етс на основание отражател 3. После отражени от боковой грани oVpaжaтeл 3 поток направл ют снова на основание отражател 3. Последний из отраженных лучей потока направл ют через срез 5 отражател 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделител 2 направл ют на основа- ние отражател 6. После отражени от боковой грани которого поток направл ют на основание отражател 7. После отражени от боковой грани отражател 7 поток снова направл ют на основание отражател 6, последний из отраженных лучей потока направл ют через срез 8 отражател 7 на светоделитель 2, где он оборачиваетс на 90&deg; и направл етс на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделител 2. 1 ил. i (Л

Description

7v /

00

00 со

со

О5

Л./

Изо.бретение относитс к измерительной технике, в частности к измерени м перемещений при вибрации.

Цель изобретени - повышение чувствительности интерферометра.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучени , светоделитель 2 дл разделени излучени на два потока, в одном из потоков последовательно установлены два трехгранных уголковых отражател 3 и 4, ориентированных основани ми навстречу друг к другу, вершина 5 отражател 4 усечена плоскостью , параллельной основанию, в потоке излучени , проход щего через светоделитель 2, также два трехгранных уголковых отражател 6 и 7, верщина 8 третьего отражател 7 усечена плоскостью, параллельной основанию, и во втором потоке от светоделител 2 - фотоприемник 9.

Интерферометр работает следующим образом .

Излучение от источника 1 раздел етс светоделителем 2 на два потока, один из которых направл етс на основание отражател 3. После отражени от боковой грани отражател 3 поток направл ют снова на основание отражател 3. Последний из отраженных лучей потока направл ют через срез (верщину) 5 отражател 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделител 2 на0

5

0

5

0

правл ют на основание отражател 6. После отражени от боковой грани отражател 6 поток направл ют на основание отражател 7, а после отражени от боковой грани отражател 7 поток снова направл ют на основание отражател 6. Последний из отраженных лучей потока направл ют через срез (верщину) 8 отражател 7 - на светоделитель 2, где он оборачиваетс на 90° и направл етс на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделител 2.

Claims

Формула изобретени

Интерферометр дл измерени линейных перемещений, содержащий последовательно расположенные источник излучени и светоделитель дл разделени излучени на два потока, последовательно установленные в одном из них два трехгранных уголковых отражател , ориентированные основани ми навстречу друг другу, и верщина одного из которых усечена плоскостью, параллельной основанию, и установленный в другом потоке фотоприемник, отличающийс тем, что, с целью повыщени чувствительности, он снабжен третьим и четвертым трехгранными уголковыми отражател ми, последовательно установленными в потоке излучени , проход щего через светоделитель, и ориентированными основани ми навстречу друг к другу, а верщина третьего отражател усечена плоскостью , параллельной основанию.