SU1397719A1 - Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов - Google Patents
Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1397719A1 SU1397719A1 SU864022246A SU4022246A SU1397719A1 SU 1397719 A1 SU1397719 A1 SU 1397719A1 SU 864022246 A SU864022246 A SU 864022246A SU 4022246 A SU4022246 A SU 4022246A SU 1397719 A1 SU1397719 A1 SU 1397719A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- objects
- movement
- contrast
- length
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл измерени перемещений объектов. Цель изобретени - повышение точности измерени при расширении диапазона измер емых величин - достигаетс путем стабилизации контраста интерференционной картины, св занного с длиной когерентности источника. Формируют опорный и измерительный оптические каналы, регистрируют количество интерференционных полос, по которым определ ют величину перемещени объекта При достижении величиной перемещени расчетного значени дискретно измен ют длину опорного канала на такую же величину в направлении перемещени объекта. При этом стабилизируютс контраст картины и погрешность измерени больших рассто ний. 1 ил.
Description
00 ;о
Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл измерени больших перемещений объектов.
Цель изобретени - повышение точ- йости измерени при расширении диапазона измep e ыx величин путем стабилизации контраста интерференционной картины, св занного с длиной когерентности источника.
На чертеже представлена оптическа схема, по сн юща способ.
Способ осуществл етс следующим образом.
Пучок излучени источника 1 моно- Кроматического света делитс свето- делителем 2 на два, один из которых, Ьтразившись от зеркала 3 и зеркала 4, св занного с объектом, формирует Йзмерительньй канал 5 интерферометра , а другой, отразившись от зеркал 6 или 7, или 8, формирует опорный канал 9 интерферометра. Оба канала проход т через плоскопараллель- Ную пластину 10, предназначенную дл перемещени пучков параллельно самим себе. Пройд каналы 5 и 9, йучки интерферируют на светоделителе 2, а интерференционна картина регистрируетс двум фотоприемниками
11и 12 с двум щелевыми диафрагмами 13 и 14.
С помощью диафрагм 13 и 14 выход- ;ные сигналы с фотоприемников 11 и
12сдвигаютс по фазе друг относи- 1тельно друга на 90 , что позвол ет 1вести реверсивный счет интерференци- ioHHbix полос.
I При перемещении объекта регистрируют интерференционные полосы фотоприемниками 11 и 12 м по количеству N полос определ ют величину перемед
щени объекта 1 N -, где
-Л длина волны света в воздухе ,
При больших перемещени х объекта снижаетс контрастность интерференционных полос из-за конечной длины
когерентности источника света и соответственно увеличиваетс погрешность измерени , поэтому осуществл ют непрерывное измерение разности хода интерферирующих пучков и при достиже- нии разности хода величины ,, где К - заданна контрастность полосу L - длина когерентности источQ кика света, дискретно путем поворота пластины 10 измен ют длину опорного канала на величину S в направлении перемещени объекта, при этом пучок канала 9 переходит с одного
5 из зеркал канала 9 на другое из зеркал этого же канала. Зеркала канала 9 расположены на рассто нии S одно от другого.
При изменении длины опорного ка0 нала 9 на величину S происходит стабилизаци разности хода пучков, контрастности полос и погрешности измерени больших перемещений.
Claims (1)
- 5 Формула изобретениЙнтерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов, заключакщийс в том, что формируют 0 измерительный и опорный каналы, регистрируют интерференционную картину и по числу интерференционных полос суд т о величине перемещени , отличающийс тем, что, с целью повышени точности при расширении диапазона измер емых величин, после регистрации интерференционной картины определ ют разность хода пучков измерительного и опорного каналов и при достижении этой раз50ностью значениS 0,8-fRc .,Lгде К - контрастность интерференционных полос; 45 L - длина когерентности источниника светадискретно измен ют длину опорноно .канала на величину S в направлении перемещени объекта.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864022246A SU1397719A1 (ru) | 1986-02-11 | 1986-02-11 | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864022246A SU1397719A1 (ru) | 1986-02-11 | 1986-02-11 | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1397719A1 true SU1397719A1 (ru) | 1988-06-15 |
Family
ID=21221623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864022246A SU1397719A1 (ru) | 1986-02-11 | 1986-02-11 | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1397719A1 (ru) |
-
1986
- 1986-02-11 SU SU864022246A patent/SU1397719A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Зарубежна радиоэлектроника, 1984. № 5, с. 91-96. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07181007A (ja) | 干渉計応用測定装置 | |
US4436424A (en) | Interferometer using transverse deviation of test beam | |
US3680963A (en) | Apparatus for measuring changes in the optical refractive index of fluids | |
US6462823B1 (en) | Wavelength meter adapted for averaging multiple measurements | |
SU1397719A1 (ru) | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов | |
SU1416860A1 (ru) | Интерферометр дл измерени перемещений объектов | |
US4606639A (en) | Broad bandwidth interferometric gauging system | |
SU1666918A1 (ru) | Способ определени перемещений | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
US3486824A (en) | System for the measurement of scale divisions including a mirror located external to an optical maser cavity | |
JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
SU1073565A1 (ru) | Устройство дл контрол направл ющих | |
SU938660A1 (ru) | Устройство дл дистанционного измерени рассто ний | |
SU921305A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
SU1052856A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
SU1525445A1 (ru) | Интерферометр дл измерени перемещений | |
SU1118852A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений | |
SU1397718A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени | |
SU1288498A1 (ru) | Интерферометр | |
Bennett | Length and displacement measurement by laser interferometry | |
SU1435935A1 (ru) | Способ определени геометрических размеров отражающих объектов | |
JP3149421B2 (ja) | リフレクトメータ | |
SU1603189A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр |