SU1397719A1 - Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  измерени  перемещений объектов. Цель изобретени  - повышение точности измерени  при расширении диапазона измер емых величин - достигаетс  путем стабилизации контраста интерференционной картины, св занного с длиной когерентности источника. Формируют опорный и измерительный оптические каналы, регистрируют количество интерференционных полос, по которым определ ют величину перемещени  объекта При достижении величиной перемещени  расчетного значени  дискретно измен ют длину опорного канала на такую же величину в направлении перемещени  объекта. При этом стабилизируютс  контраст картины и погрешность измерени  больших рассто ний. 1 ил.

Description

00 ;о

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  измерени  больших перемещений объектов.

Цель изобретени  - повышение точ- йости измерени  при расширении диапазона измep e ыx величин путем стабилизации контраста интерференционной картины, св занного с длиной когерентности источника.

На чертеже представлена оптическа  схема, по сн юща  способ.

Способ осуществл етс  следующим образом.

Пучок излучени  источника 1 моно- Кроматического света делитс  свето- делителем 2 на два, один из которых, Ьтразившись от зеркала 3 и зеркала 4, св занного с объектом, формирует Йзмерительньй канал 5 интерферометра , а другой, отразившись от зеркал 6 или 7, или 8, формирует опорный канал 9 интерферометра. Оба канала проход т через плоскопараллель- Ную пластину 10, предназначенную дл  перемещени  пучков параллельно самим себе. Пройд  каналы 5 и 9, йучки интерферируют на светоделителе 2, а интерференционна  картина регистрируетс  двум  фотоприемниками

11и 12 с двум  щелевыми диафрагмами 13 и 14.

С помощью диафрагм 13 и 14 выход- ;ные сигналы с фотоприемников 11 и

12сдвигаютс  по фазе друг относи- 1тельно друга на 90 , что позвол ет 1вести реверсивный счет интерференци- ioHHbix полос.

I При перемещении объекта регистрируют интерференционные полосы фотоприемниками 11 и 12 м по количеству N полос определ ют величину перемед

щени  объекта 1 N -, где

-Л длина волны света в воздухе ,

При больших перемещени х объекта снижаетс  контрастность интерференционных полос из-за конечной длины

когерентности источника света и соответственно увеличиваетс  погрешность измерени , поэтому осуществл ют непрерывное измерение разности хода интерферирующих пучков и при достиже- нии разности хода величины ,, где К - заданна  контрастность полосу L - длина когерентности источQ кика света, дискретно путем поворота пластины 10 измен ют длину опорного канала на величину S в направлении перемещени  объекта, при этом пучок канала 9 переходит с одного

5 из зеркал канала 9 на другое из зеркал этого же канала. Зеркала канала 9 расположены на рассто нии S одно от другого.

При изменении длины опорного ка0 нала 9 на величину S происходит стабилизаци  разности хода пучков, контрастности полос и погрешности измерени  больших перемещений.

Claims (1)

1. 5 Формула изобретени 

   Йнтерферометрический способ измерени  линейных перемещений объектов, заключакщийс  в том, что формируют 0 измерительный и опорный каналы, регистрируют интерференционную картину и по числу интерференционных полос суд т о величине перемещени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности при расширении диапазона измер емых величин, после регистрации интерференционной картины определ ют разность хода пучков измерительного и опорного каналов и при достижении этой раз5

   0

   ностью значени 

   S 0,8-fRc .,L

   где К - контрастность интерференционных полос; 45 L - длина когерентности источниника света

   дискретно измен ют длину опорноно .канала на величину S в направлении перемещени  объекта.