SU1073565A1

SU1073565A1 - Устройство дл контрол направл ющих

Info

Publication number: SU1073565A1
Application number: SU823473239A
Authority: SU
Inventors: Виктор Михайлович Архипов
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1982-07-21
Filing date: 1982-07-21
Publication date: 1984-02-15

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НАПРАВЛЯЮЩИХ, содержащее источник света, два интерферометра Фабри-Перо, состо щих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхност ми, при этом Одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направл ющей, а другие, им соответствующие , закреплены неподвижно, и систему отсчета смещени интерференционных полос , отличающеес тем, что, с целью повыщени точности контрол , в устройство дополнительно введены две прозрачные пластины , одна из которых соединена с контролируемой подвижной направл ющей, а друга установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри-Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижкой направл ющей, а соответствующие им две другие пластины закреплены ортогонально одна другой клинь ми на прозрачной пластине, установленной неподвижно .

Description

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в интерферометрических устройствах контроля для изготовления высокоточных направляющих интерференционных приборов. ^:

Известно устройство для контроля направляющих , содержащее источник света, двойной интерферометр Майкельсона и систему отсчета смещения интерференционных полос [1]. 1

Недостатком данного устройства является ограничение точности контроля свойствами двухлучевого интерферометра, что не позволяет определить отклонение от прямолинейности с точностью, достаточной для создания сканирующего интерферометра. 1

Наиболее близким к изобретению техническим решением является устройство для контроля направляющих, содержащее источник света, два интерферометра Фабри—Перо, состоящих из пластин, обращенных одна ²к другой отражающими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие. закреплены неподвижно, и систе- ₂му отсчета смещения интерференционных полос [2].

Недостатком известного устройства является ограничение точности контроля из-за отсутствия общего начала координат оптических осей интерферометров и пучка з сравнения.

Цель изобретения — повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее источник света, 3 два интерферометра Фабри—Перо, состоявших из пластин, обращенных одна к другой· отражающими поверхностями, при этом одни пластины обойх интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, ⁴закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая ₄установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри—Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижной направляющей, а соответствую- £ щие им две пластины закреплены ортого. нально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно.

На чертеже представлена схема устройства для контроля направляющих.

Устройство содержит источник света 1, ’ зеркала 2 и 3, объективы 4 и 5, прозрачные пластины 6 и 7, клиновидные пластины 8, 9 и 10, 11, образующие два интерферометра Фабри—Перо, объективы 12 и 13 и систему отсчета смещения интерференционных полос О 14. Прозначная пластина 6 соединена с контролируемой подвижной направляющей 15. Клиновидные пластины 8 и 10 установлены параллельно одна другой на прозрачной пластине 6, соединенной с контролируемой подрижной направляющей 15, а клиновид5 ныё пластины 9 и 11 закреплены на прозрачной пластине 7, установленной неподвижно.

Устройство работает следующим образом.

Монохроматический световой поток от источника света 1 падает на два отклоняющих зеркала 2 и 3 и направляется на объективы 4 и 5, после которых два параллельных пучка лучей проходят прозрачную пластину 6, соединенную с контролируемой подвижной направляющей 15. Далее оба пуч5 ка лучей входят в два интерферометра Фабри— Перо, образованных клиновидными пластинами 8, 9 и 10, 11, попарно закрепленных на прозрачных пластинах 6 и 7 и образуют две системы интерференционных полос, ортогонально расположенных в исходном по0 ложении. Наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 параллельны одна другой, а наружные отражающие поверх• ности пластин 9 и 11 расположены под углом одна к другой, а их следы в плоскости, проходящей через наружные поверхности пластин 8 и 10, ортогональны в исходном положении. Объективами 12 и 13 системы полос проектируются на плоскости системы, отсчета смещения интерференционных полос. При движении контролируемой направляющей 15 наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 наклоняются на один и тот же угол. Так как в исходном положении интерференционных полосы ортогональны то смещение полос фиксируется относительно этого положения. Проводя последовательно измерения положения полос при движении контролируемой направляющей 15, определяют сразу по двум координатам их разворот.

Устройство может быть использовано для контроля при изготовлении высокоточных направляющих для многолучевого Фурье-спектрометра.

Claims

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НАПРАВЛЯЮЩИХ, содержащее источник света, два интерферометра Фабри—Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом Одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, в устройство дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри—Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижной направляющей, а соответствующие им две другие пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно.

, SU ,.„1073565