SU921305A1 - Интерферометр дл измерени рассто ний - Google Patents

Интерферометр дл измерени рассто ний Download PDF

Info

Publication number
SU921305A1
SU921305A1 SU803218107A SU3218107A SU921305A1 SU 921305 A1 SU921305 A1 SU 921305A1 SU 803218107 A SU803218107 A SU 803218107A SU 3218107 A SU3218107 A SU 3218107A SU 921305 A1 SU921305 A1 SU 921305A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
laser
mirror
interferometer
optical system
facing
Prior art date
Application number
SU803218107A
Other languages
English (en)
Inventor
А.С. Медовиков
М.Т. Прилепин
А.Б. Сергеев
С.Е. Солодов
Original Assignee
Московский Ордена Ленина Институт Инженеров Геодезии Аэрофотосъемки И Картографии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Ордена Ленина Институт Инженеров Геодезии Аэрофотосъемки И Картографии filed Critical Московский Ордена Ленина Институт Инженеров Геодезии Аэрофотосъемки И Картографии
Priority to SU803218107A priority Critical patent/SU921305A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU921305A1 publication Critical patent/SU921305A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ, содержащий источник . расположенные последовательно по ходу его лучей коллимирующую оптическую систему, светоделитель, концевые отражатели и регистратор интерференционной картины, отличающий с   тем, что, с. целью увеличени  диапазона изм  емых рассто ний, он снабжен полуйрозрачньм сферическим зеркалом, установленным между коллимирующей оптической системой и источником света, выполненным в виде полупроводникового лазера, а зеркало ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -И -перехода. 2. Интерферометр по п.1,о т л и чающийс  тем, что на грань (Л лазера, противоположную той, котора  обращена к зеркалу, нанесено отражающее покрытие.

Description

Изобретени относитс  к контрольно-измерительной texHHite и может быть предназначенЬ дл  измерени  больших рассто ний и использовано преимущественно при проведении измерений в геодезии.
Известны интерферометры дл  измерени  расСто ш1й, построенные по схе ме Майкельрона и реализук цие принцип счета йнтерференсционных полос, пересекающих чувствительную площадку фбтоприемникб ( при перемещении одного из концевых отргосателёй Ш .
Недостатками известных интерферометров  вл ютс  сложность измеремн  больших рассто ний, обусловленна  необходимостыь применени  высокочастотных ваправл клцих болыпбй длины дл перемещени  концевого отр катеп  а также низка  точностьизмерени  больших рассто ний обусловленна  необходимостью счета бот1ьшого числа интерференционных полос.
Наиболее близким йо технической сущности и решаемой задаче, к изобретению  вл етс  интерферометр дл  измерени  рассто ний, содержащий источник света, располож(э ные последовательно по ходу его луч(ей. кол имиРЗ/эдщу оптическую систему светодёлитель , концевые отраж)атели и регйст ратор интерферендноннгоЙ кгфт цы Г2 .
Недостатком данного ййтерферометра  вл етс  малый диапазон измер емых рассто ний, обуслоблейшйй большимн потер ми света, возникающими при измерении больших рассто {Шй..
Цель изобрете1П1  - увеличение диапазона изнер е Ь)1Х рассто ний.
Цель достигаетс  тем, что интерферометр снабжен полупрозрачным сферическим зеркалом, установленным между коллнмирующей оптической системой и источником света, вьшолиенным в виде полупроводникового лазера , а зеркало ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -Л -перехода.
Кроме того, на грань лазера, прот тивоположную той, котора  обращена к зеркалу, нанесеио отражающее пот крытие.
На чертеже приведена принципиальна  схема интерферометра дл  измереки  рассто ний.
Интерферометр содержит источник света, выполненный в виде полупроводникового лазера 1, полупрозрачное сферическое зеркало 2, коллимирующую оптическую систему, -выполненную в виде положительного объектива 3, светоделитель 4, раздел ющий излучение на рабочий пучок и пучок сравнени , концевой отражатель 5 установлен в рабочем цучке, концевой отражатель 6 - в пучке сравнени  регистратор 7 интерференхщонной картины и механизм 8 перемещени  отражател  6.
Сферическое зеркало 2 установлено объективом 3 и полупроводниковым лазером t и ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обрап екной к нему грани лазера в области егр р-П-перехода , т,е, центр кривиз ны сферического зеркала 2 совмещен с излучающей площадкой лазера 1 и С фокусом объектива 3
На грань лазера 1, противоположную той, котора  обращена к сферическому зеркалу 2, нанесено отражающее покрытие. . : Интерферометр работает следующим образом. .
Часть света от лазера 1 проходит сферическое зеркале 2, коллимируетс  объективом 3, проходит светоделитель 4 и поступает в рабочзпо ветвь интерферометра . Отражатель 5 возвращает падаю1ЦИЙ на него пучок в обратном направлении, а светоделитель 4 направл ет его в регистратор 7;
Друга  часть пучка света от лазера t многократно отражаетс  от сферического зеркала 2 и граней лазера 1, коллимируетс  объективом 3 и направл етс  светоделителем 4 в ветвь Сравнени  интерферометра. Отразившись от отражател  б, пучок проходит светоделитель 4 и поступает в регистратор 7. Втом С41учае, если длины оптических путей обоих пучков равны с точностью до длины когерентности излучени  лазера 1 в используемом режиме работы (50 мкм), йозникает интерференционна  картина, котора  фиксируетс  регистратором 7. Фиксаци  момента получени  максимального контраста позвол ет уравн т оптические; ; 1лины пучков.
Измерение рассто ний осуществл ют в следующей последовательности .
6 рабочую ветвь устанавливают вспомогательное плоское зеркало (на 39 чертеже показано пунктиром) в положение , от которого ведетс  отсчет измер емых рассто ний. Механизмом 8 перемещают отражатель 6 до по влени  интерференционной картины макси мального контраста на входе регистратбра 7 и снимают соответствуниций этому положению отражател  6 otC4eT Затем вспомогательное зеркало вьшод из хрда лучей, вновь перемещают отражатепь 6 до по влени  на входе регистратора 7 интерференционной картины максимального контраста и снимают соответствующий этому соложению отражател  6 отсчет X.i При этом вьтолн етс  равенство: . (Xo-Xi) W где L- оптическа  длина активной линии задержки, образованной трехзёркальным резонатором , состо щим из выходных граней лазера 1 и сферического зеркала 2j N - число прохождений лазерного пучка внутри трехзеркапьного резонатора; 3)- измер емое рассто ние. Значение N определ етс  из прилиженной оценки iT измер емого расто ни , например, с помощью светоальномера . При этом равно целой асти числа , . Искомое рассто ние JJ определ етс  з ф ормулы (1) следующим обваз ом: -(N-ll Xo-Xi) (2) Снабжение-интерферометра полупрозрачным сферическим зеркалом 2. позвол ет увеличить диапазон измер емых рассто ний за счет того, что при многократных отражени х пучка внзггри активной линии задержки потерь света не происходит. Увеличение диапазона измер емых рассто ний достигаетс  также за счет того, что на одну из выходных граней лазера 1 нанесено отражающее Покрытие, увеличивающее полезную мощность его излучени .

Claims (2)

  1. ¢54) 1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей коллимирующую оптическую систему, светоделитель, концевые отражатели и регистратор интерференционной картины, отличающий с я тем, что, с. целью увеличения диапазона измеряемых расстояний, он снабжен полупрозрачным сферическим зеркалом, установленным между коллимирующей оптической системой и источником света, выполненным в виде полупроводникового лазера, а зеркало ориентировано так, что центр его Кри визны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -П -перехода.
  2. 2. Интерферометр по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что на грань лазера, противоположную той, которая обращена к зеркалу, нанесено отражающее покрытие.
SU803218107A 1980-10-14 1980-10-14 Интерферометр дл измерени рассто ний SU921305A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803218107A SU921305A1 (ru) 1980-10-14 1980-10-14 Интерферометр дл измерени рассто ний

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803218107A SU921305A1 (ru) 1980-10-14 1980-10-14 Интерферометр дл измерени рассто ний

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU921305A1 true SU921305A1 (ru) 1985-03-15

Family

ID=20931981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803218107A SU921305A1 (ru) 1980-10-14 1980-10-14 Интерферометр дл измерени рассто ний

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU921305A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4729654A (en) * 1986-02-28 1988-03-08 Nippon Seiko Kabushiki Kaisha Laser interferometer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1.1 д:о шйцов Ю.В. Интерферометр ры. Л,, Машиностроение, 1976, с. t89194. 2.Кондрашков А.В. Интерференци сйёта « ее применение в геодезии. М., Геодезиэдат. 1956. с. . (прототип). *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4729654A (en) * 1986-02-28 1988-03-08 Nippon Seiko Kabushiki Kaisha Laser interferometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4969736A (en) Integrated fiber optic coupled proximity sensor for robotic end effectors and tools
JP2755757B2 (ja) 変位及び角度の測定方法
JP3594335B2 (ja) 干渉計及び光波長測定方法
US5715057A (en) Reference interferometer with variable wavelength and folded measurement beam path
JPH07239208A (ja) 干渉応用測定装置
US5011287A (en) Interferometer object position measuring system and device
SU921305A1 (ru) Интерферометр дл измерени рассто ний
WO2001088474A1 (fr) Dispositif de mesure de surfaces et dispositif de mesure de formes
JPH058769B2 (ru)
SU1168800A1 (ru) ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности
US3419331A (en) Single and double beam interferometer means
JPH0961298A (ja) 低コヒーレンスリフレクトメータ
SU1000747A1 (ru) Интерферометр дл измерени рассто ний
SU1132147A1 (ru) Лазерный интерферометр перемещений
SU1288498A1 (ru) Интерферометр
SU1506269A1 (ru) Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта
SU1587327A1 (ru) Интерферометр
RU2152588C1 (ru) Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов
RU1768961C (ru) Способ определени толщины стенки стекл нной трубки и устройство дл его осуществлени
SU1730531A1 (ru) Двухкоординатный измеритель перемещений
SU1518663A1 (ru) Интерферометр дл измерени поперечных перемещений
SU1397719A1 (ru) Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов
GB1184080A (en) Single Optical Block Interferometer Means
SU1739188A1 (ru) Интерференционный компаратор дл измерени линейных перемещений
SU1425434A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта