JP3594335B2 - 干渉計及び光波長測定方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、波長が未知である信号の波長を測定するために使用される、又は、可動要素の位置を測定するために使用される、動的干渉計(dynamic interferometer)に係わる。
【0002】
【従来の技術】
米国特許第4,329,055号(Schaefer他)は、回転する透明平行六面体(rotating parallelepipedic transparent body)を使用する干渉計を説明する。図1に示されるように、Schaeferは、ビームスプリッタ4に入力ビームを送るレーザ源2の使用を開示する。ビームスプリッタ4は、位置4aにおいて、入射光ビームを2つの分枝ビームに分割する。これらの2つの分枝ビームは、回転する透明平行六面体5を通過し、鏡6、7によって反射される。この後で、これらの2つの分枝ビームは、ビームスプリッタ4内の位置4aに戻り、干渉信号ビームの形に再会合させられ、検出器8に送られる。検出器8で検出された干渉信号は、入力ビームの波長と、上記分枝ビーム相互間の光学経路長の差とに応じて決まる強度を有する。この光学経路長の差は、回転する透明平行六面体5内において生じさせられ、平行六面体透明体5の回転に応じて変化する。
【0003】
図1には、単一の入力信号が示されているだけであるが、Schaefer他は、基準分枝ビームに分割された既知の波長の入力信号と、未知の波長の分枝ビームに分割された未知の波長の入力信号との両方を使用することを開示している。既知の波長の入力信号の使用は、未知の波長の測定精度を向上させる。既知の波長の入力信号と未知の波長の入力信号とが、別々の光学経路に沿って平行に装置の中に送り込まれる。基準分枝ビームが、未知の波長の分枝ビームとは異なった光学経路を有するので、基準分枝ビームと未知の波長の分枝ビームは、平行六面体透明体5の反射表面に対して互いに異なった接触点を有し、この干渉計は、これらの反射表面の平面性の欠陥に対して敏感である。Schaefer他によって開示された干渉計の別の欠点は、回転する透明平行六面体5の屈折率が波長に依存しており、従って、異なった波長を有するビームは上記回転体内において異なった角度で屈折するということである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、精度が改善された波長計を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の原理によって、上記の目的とその他の目的とが、未知の波長の入力光ビームを使用する干渉計を用いることによって実現される。この干渉計は、既知の波長の入力光ビームを発生させるために使用される基準レーザと、入力光ビームを第1と第2の光学経路に沿った2つのビームに分割し且つ既知の波長の入力光ビームを第1の基準光学経路と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割するために使用されるビームスプリッタとを含む。更に、この干渉計は、少なくとも第1の光学経路の長さと、第2の基準光学経路の長さとを変化させるための回転ペリスコープを含む。この回転ペリスコープは、回転プラットフォーム上に第1の反射器と第2の反射器とを有する。これらの第1の反射器と第2の反射器は互いに概ね平行である。上記干渉計は、更に、少なくとも第1の光学経路内の光と第2の基準光学経路内の光を逆向きに反射して上記回転ペリスコープの中を再び通過させるための逆反射器手段を含み、更には、第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とを干渉信号の形に再会合させ、且つ第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とを基準干渉信号の形に再会合させるための手段を含む。これに加えて、上記干渉計は、上記干渉信号を検出するための検出器と、上記干渉基準信号を検出するための第2の干渉計とを有する。
【0006】
更に、本発明の原理によって、既知の波長の第2の光ビームを用いて、光源からの光ビームの波長を測定するための方法を使用することによって、上記の目的とその他の目的とが実現される。この方法は、
入力光ビームを第1と第2の光学経路に沿った2つのビームに分割し、及び、既知の波長の入力光ビームを第1の基準光学経路と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割する段階と、
上記2つの光学経路内の光と上記2つの基準光学経路内の光とを1対の平行反射器から反射させる段階と、
第1の光学経路内の光が第1の基準光学経路内の光とは反対方向に伝播し、且つ第2の光学経路内の光が第2の基準光学経路内の光とは反対方向に伝播することを可能にするために、第1の光学経路と第1の基準光学経路とが概ね同一であり且つ第2の光学経路と第2の基準光学経路とが概ね同一であるように、第1の光ビームと第2の光ビームとを配置する段階と、
上記反射器を回転させることによって、第1の光学経路の長さと第2の光学経路の長さを変化させ、且つ第1の基準光学経路の長さと第2の基準光学経路の長さを変化させる段階と、
第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とを干渉信号の形に再会合させる段階と、
第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とを基準干渉信号の形に再会合させる段階と、
上記干渉信号と上記基準干渉信号とを検出する段階と、
上記干渉信号と上記基準干渉信号とから上記光ビームの波長を測定する段階とを含む。
【0007】
添付図面では、各図間において同等の構造物は、同一の参照符号で示されている。
【0008】
【実施例】
図2は、平行反射器の中に送り込まれた光ビームに生じる横方向ずれ(shearing)と時間的ずれとを示す図である。光ビーム20は平行反射器22、24から反射される。光ビーム20は、そのビームが平行反射器22、24に入った時と同一の方向に平行反射器22、24を出ていくが、横方向のずれと時間的なずれとを伴っている。反射器22、24は距離dだけ互いに離れており、光ビーム20は、反射器24への法線に対して角度ψをなして反射器24上に入射する。横方向のずれは線分BCによって与えられ、時間的ずれは、線分CAと線分ABとによって与えられる。
【0009】
【数1】
【0010】
図3の(a)、図3の(b)、図3の(c)は、各々にペリスコープ方向θ=−8゜、0゜、8゜における、本発明のビームスプリッタ30と回転ペリスコープ32と逆反射器34、36とを示す略図である。この回転ペリスコープ32は、回転プラットフォーム上に取り付けられた概ね平行な反射器32a、32bを有する。これらの平行な反射器32a、32bは、空気によって互いに隔てられている。
【0011】
光源40からの光は、ビームスプリッタ30によって経路Aと経路Bとに沿って分割される。これらの経路内の光は、平行な反射器32a、32bによって反射され、更に逆反射器34、36によって反射される。経路A、B内の光が、逆反射器34、36によって逆向きに反射されて回転ペリスコープ32の中を再び通過させられるので、光ビームの横方向ずれが取り除かれる。図3の(a)、図3の(b)、図3の(c)で各々にθ=−8゜、0゜、8゜において示されているように、経路A、B内の光がビームスプリッタ30に戻る時の出射方向は、回転ペリスコープ32の個々の方向θの範囲に関して概ね同一のままである。光学経路A、Bからの光が、ビームスプリッタ30において干渉信号の形に再会合させられる。この干渉信号は、検出器42に送られる。
【0012】
経路Aと経路Bとの間の経路長の差は、2(TSA−TSB)に等しく、前式中のTSAは経路Aの場合の時間的ずれであり、TSBは経路Bの場合の時間的ずれである。αは、図3の(b)に示すように、入力光ビームとビームスプリッタ法線と間の角度であり、θは、図3の(c)に示すように、ペリスコープ反射器法線とビームスプリッタ法線との間の角度として与えられる回転ペリスコープの方向である。経路長の差に関する方程式は、次式によって与えられる。
回転ペリスコープ32は、回転ペリスコープ方向θに応じて変化する経路長差を形成するように、第1の光学経路の長さと第2の光学経路の長さを変化させるために使用される。
【0013】
検出される干渉信号の強度は、次式で与えられ、
【0014】
【数2】
【0015】
前式中で、Rはビームスプリッタの反射率であり、Tはビームスプリッタ透過であり、I0は光源強度であり、λ0は真空中の光源波長であり、nは空気の屈折率であり、PDは光学経路長の差である。上記ペリスコープが方向θminから方向θmaxに回転する時の、光源の干渉信号のサイクル数のカウントCC0は、次式によって与えられる。Δは変比分を示す。
【0016】
【数3】
【0017】
既知の波長の光源光ビームが上記干渉計に入力される時には、検出された基準干渉信号のサイクルをカウントするために取り付けられたカウンタが、回転ペリスコープの方向θの正確な表示を与えるだろう。
【0018】
未知の光ビームの波長の正確な測定は、基準レーザの使用を必要とする。図4は、本発明の角度マイケルソン干渉計(angular Michelson interferometer)を示す3次元図である。未知の波長を有するレーザ46からの光が、反射器34、36、32a、32bに対して垂直な平面に関して上向きの角度βで、干渉計の中に送られる。ビームスプリッタ30は、入力光を経路Cと経路Dとに沿った2つの光に分割する。第1の光学経路内の光は、ビームスプリッタ30を通過して経路Cに沿って進み、中継反射器(relay reflector)50で反射し、回転プラットフォーム32c上の反射器32aで反射し、回転プラットフォーム32c上の反射器32bで反射し、逆反射器34で反射する。この後で、第1の光学経路内の光は、経路Aを通ってビームスプリッタ30に戻る。
【0019】
同様に、第2の光学経路内の光は、ビームスプリッタ30で反射されて経路Dに沿って進み、リレー反射器52で反射し、回転プラットフォーム32c上の平行反射器32b、32aで反射し、逆反射器36で反射する。この後で、第2の光学経路内の光は、経路Bを通ってビームスプリッタ30に戻る。
【0020】
ビームスプリッタ30上の点30aにおいて、第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とが干渉信号へと再会合させられる。この干渉信号は、検出器レンズ54を通過させられ、この検出器レンズは、未知の干渉信号を検出するための検出器56の上に干渉信号を集束させる。好ましい実施例では、干渉信号は、レンズ54によって集束される前には数ミリメートルの直径であり、検出器56においては、数100ミクロンの直径の回折限界スポットを形成する。検出器56は、検出器レンズ54の焦点面内に位置する。レンズ54の焦点面は、レンズ54から距離fd=dd/2βである。距離ddは、後で説明する未知干渉信号検出器56と基準干渉信号検出器58との間の距離である。こうして、レンズ54は、後で説明するように干渉信号と基準干渉信号とを集束させることが可能である。
【0021】
基準レーザ44が、入力信号の波長を更に正確に測定するために使用される。未知の入力ビームと基準レーザ信号とが、反射器32b、32a、34、36に垂直な平面に対して角度βで送られる。基準レーザ信号は、この平面の上方に入力され、未知の入力ビームはこの平面の下方に入力される。基準ビームは、ビームスプリッタ30において、第1と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割される。第1の基準光学経路内のビームは、第1の光学経路内のビームとは反対方向に伝播する(即ち、第1の基準光学経路内の光は、第1の光学経路内の未知の光信号とは反対の方向に伝播する)。第1の基準光学経路内の光は、経路Aに沿って逆反射器34に進み、経路Cに沿ってビームスプリッタ30に戻る。第2の基準光学経路内のビームは、第2の光学経路内のビームとは反対方向に伝播する(即ち、第2の基準光学経路内の光は、第2の光学経路内の未知の光信号とは反対の方向に伝播する)。第2の基準光学経路内の光は、経路Bに沿って逆反射器36に進み、経路Dに沿ってビームスプリッタ30に戻る。第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とが、ビームスプリッタ30上の点30bにおいて、基準干渉信号へと再会合させられる。基準干渉信号は検出器レンズ54によって基準干渉信号検出器58上に集束させられる。これに加えて、ビームスプリッタ30は、干渉信号を基準レーザ44に送ると共に基準干渉信号をレーザ46に送るが、これらの信号は、レーザ44、46に悪影響を与えない。
【0022】
基準レーザ44は、基準光学経路が未知の信号の光学経路と概ね同一であるように、未知の波長の入力ビームに対して相対的に配置される。基準光学経路内のビームが未知の信号の光学経路内のビームとは反対方向に伝播するので、基準光学経路間の光学経路長の差は、未知の信号の光学経路間の長さの差に等しい。この理由から、基準干渉信号は、干渉計の光学経路長の差の変化率の正確な表示として働く。これは、ペリスコープの高精度の動きの必要性を不要にする。基準レーザと未知のレーザとの上記の配置が、基準光学経路と未知の信号の光学経路とが互いに平行ではあるが相違している場合に比べて、未知の波長のより正確な表示を生じさせる。これに加えて、基準光学経路が未知の信号の光学経路と概ね同一であるので、これらの光学経路と鏡32a、32bとの接触点は、概ね同一である。この理由から、上記干渉計では、鏡32a、32bの平面性の欠如による影響を受ける度合いが、従来の干渉計よりも低い。
【0023】
角度βが固定され且つ光学経路長が変化するので、基準光学経路と未知の信号の光学経路との間に僅かな相違が生じる可能性がある。しかし、この相違は、光学経路長の差に大きな悪影響を与えない。
【0024】
更に、回転ペリスコープ32の反射器32a、32bの間に適切な平行関係がある場合には、干渉計の角度位置合せは、ペリスコープの方向の影響を受けない。この理由から、ペリスコープの動揺、軸受けの遊び、又は、回転軸の位置合せ不良は、干渉計の方向又は位置合せに悪影響を与えない。
【0025】
上記検出器からの光電流は次式の形式を有する。
【0026】
【数4】
【0027】
前式中のλrefは既知の基準レーザの波長であり、λ?は未知の波長の入力ビームの波長である。Irefは、基準干渉信号の強度であり、I?は干渉信号の波長である。I0rとI0?は強度定数である。
【0028】
ペリスコープが一定の角速度Ωで均一に回転させられる場合には、検出器信号の周波数は次式で与えられる。
【0029】
【数5】
【0030】
「未知の入力波長」対「既知の基準波長」の比率は、検出器信号の周波数の比率に反比例する。即ち、
【0031】
【数6】
【0032】
基準干渉信号frefの周波数と干渉信号f?の周波数とが回転ペリスコープの方向θに基づいて変化するとしても、frefとf?の両方は比例的に変化する。従って、未知の入力信号の波長は、カウンタを用いて測定されることが可能である。「未知の信号の波長」対「基準信号の波長」の比率は、「干渉信号のサイクル数CC?」対「基準干渉信号のサイクル数CCref」の比率に比例する。更に、フェーズロックループ方式により、フルサイクル(full cycle)よりも小さい分数サイクル数を測定することが可能である。
【0033】
その一方のタブ57が図に示されている1対の同期タブが、回転ペリスコープ32上に互いに180゜の間隔を置いて配置される。回転ペリスコープ32の方向を検出し、且つ、干渉信号と基準干渉信号とが有効である方向範囲内に回転ペリスコープ32がある時に回路60にゲート信号(gating signal)を与えるために、スロット付きのゲート検出器59が上記タブを使用する。
【0034】
任意に、回転プラットフォームの方向を正確に測定するための回路61が、基準干渉検出器58からの検出基準干渉信号を受信するために接続される。この回路61は、間隔dと角度αと波長λrefとが正確に知られている場合に、回転ペリスコープの方向θの正確な表示を与える。回路61は、単純なサイクルカウンタであることが可能である。
【0035】
回転ペリスコープ32内で光学経路の1つだけが変化させられる場合は、上記干渉計は依然として動作するが、光学経路長の差はより一層小さい。反射器52が位置52’に移動させられる場合には、第2の光学経路の長さは回転ペリスコープ32によって変化させられない。第2の光学経路内の光は、経路D’に沿って位置52’の反射器に進み、経路B’に沿ってビームスプリッタ30に戻る。干渉信号は依然としてビームスプリッタ30上の位置30aに形成される。この干渉信号は検出器56に送られる。
【0036】
約100万分の1の精度で未知の信号の波長を測定するために使用される干渉計の実施例の1つでは、その波長計の実際上の寸法は、
ペリスコープ間隔 d = 38mm
ペリスコープ角度範囲 − θmax < θ < θmax、θmax = 8゜
ビーム分離角 β = 10mrad
ビームスプリッタ入射角 α = 45゜
ペリスコープ回転速度 Ω = 2π × 5Hz
基準HeNeレーザの波長 λref = 0.63299088 μ (真空)
PDmax = 8d sinαsinθmax = 30mm
τmax = 100 psec
fref = (8dn/λref)Ωsinαcosθ = 10.67 MHz
【0037】
−30mmから30mmという光学経路差の範囲は、約95,000の基準サイクルを与える。100万分の1の分解能を得るためには、周波数比カウンタ(ratioing frequency counter)は、繰り返しカウント方式又はフェーズロックループ方式のどちらかによって、1サイクルの約11分の1を補間しなければならない。5Hzの回転速度は、1秒当たり10回の測定を可能にする。
【0038】
未知の信号の波長を測定するための回路60は、図7に示されるような単純なサイクルカウンタ100、102であってよい。カウンタ102、100は、図4に示される検出器56から検出干渉信号を受け取るために、及び、図4に示される検出器58から検出基準干渉信号を受け取るために、接続される。カウンタ102、100は、図4に示されるゲート検出器59からのゲート信号によってゲートされる。更に、1サイクルより小さいサイクルカウント精度を得るために任意に使用されることが可能である(周波数逓倍をおこなう)フェーズロックループ回路104a、104bが、図7に示されている。
【0039】
或いは、回路60は、図6に示されるようなディジタル複素ダウンコンバータ(digital complex down converter)であってもよい。ライン61上の検出干渉信号がKestrelチップ62に送られる。このKestrelチップ62は、干渉信号の周波数を2つのより低周波数の方形信号にダウンシフトするために局部発振器(複素LO)64を使用する。これらの2つの信号はOspreyチップ66、68に送られ、これらのOspreyチップ66、68において、上記2つの信号がフィルタ67、68内で濾波され、サンプリング回路71、73内でディジタル方式でサブサンプリング(sub−sampled)される。これらの2つの信号が検出干渉信号よりも低い周波数を有するので、小域複素高速フーリエ変換のために必要な標本の数は、より少ない。この後で、Ospreyチップ66、68の2つのディジタル出力信号が、小域複素高速フーリエ変換回路70に送られる。小域複素高速フーリエ変換回路の出力は、フィルタ67、69内での通過帯域低下を補償するために、イコライザ72に送られる。更に、ポート74におけるスペクトルが、未知の干渉信号の波長の何らかの表示を与える。
【0040】
Kestrelチップ62と、Ospreyチップ66、68と、小域複素高速フーリエ変換回路70との全てが、基準干渉信号の周波数の2倍のクロック速度でクロック制御されるということに留意されたい。クロック発振回路76は、図4に示される基準干渉信号検出器58からライン63を介して検出基準干渉信号を入力され、図6のライン77上にクロック信号を供給する。クロック信号の周波数が、検出干渉信号の周波数の変化に比例して変化するので、ポート74におけるスペクトルは、回転ペリスコープの様々な方向θにおける干渉信号周波数の変化によっては影響を受けない。
【0041】
或いは、Kestrelチップ62とOspreyチップ66、68は、米国Harris CorporationのHarris Semiconductor Divisionから入手可能なHSP50016 DDCのような信号ディジタルダウンコンバータチップで置き換えられることが可能である。このチップは、D.B.Chester及びG.Phillipsの論文「Single Chip Digital Down Converter Simplifies RF DSP Applications」(RF Design, Nov.92, pp.39−46)に説明されている。
【0042】
図5は、2方向反射器80、82と2つのビームスプリッタ84、86とを示す干渉計の別の実施例の3次元図である。これらの2方向反射器80、82と2つのビームスプリッタ84、86は、単に図解上の目的から、一緒に示されている。2方向反射器を有する干渉計の好ましい実施例は、1つのビームスプリッタだけを使用する。2方向反射器80、82の使用は、第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが回転ペリスコープ32を通して4回反射されるので、光学経路長の差を拡大する。反射器32a、32b、34、36に対して垂直な平面に対して角度βの光源88からの光が、第1のビームスプリッタ86に送られ、このビームスプリッタ86は、その光を第1の光学経路と第2の光学経路とに沿った2つのビームに分割する。光が下向きに角度βで入るので、2方向反射器80は、下記のように、第2の光学経路内の光を反射して戻し、回転ペリスコープの3回目と4回目の通過のために回転ペリスコープの中にその光を送り込む。第2の光学経路内の光は、2方向反射器80の区域80aで反射する。この区域80aは、第2の光学経路内の光が回転ペリスコープの中に送り込まれるような第1の方向を有する反射器である。第2の光学経路は2方向反射器80に戻り、区域80bで反射する。区域80bは、第2の光学経路内の光が回転ペリスコープの中に3回目に戻るように方向付けられる。第2の光学経路内の光は、光が第2のビームスプリッタ84に反射されるような第1の方向を有する区域80cにおいて2方向反射器80に戻る。
【0043】
説明を分かり易くするために、第1の光学経路は図5に示されていない。第1の光学経路内の光も、回転ペリスコープ32を4回通過する。第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが、第2のビームスプリッタ84内で干渉信号の形に再会合させられる。2つのビームスプリッタ86、84の使用は、この干渉計をマッハ・ツェンダー干渉計にする。干渉信号は検出器90で検出される。上記で説明されたのと同様に、基準レーザ81が、第2の検出器91において検出される干渉信号を発生させるために使用される。
【0044】
第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが回転ペリスコープ32を4回通過するので、光学経路長の差は−16dsinαsinθに等しい。光学経路長の差の増大によって、所与のペリスコープ角度範囲に関する検出干渉信号サイクル数が2倍になり、それによって、干渉計の周波数分解能が増大する。2方向反射器80、82の使用上の欠点は、各々の光学経路内の光が、図4に示される干渉計では反射器での反射が7回であるのに対して、この干渉計では13回の反射が生じるということである。これは、図5に示される反射器が、有効な干渉信号が得られるように反射器表面に起因する波面収差を±λ/4の範囲内に保つために、より一層高い平面性を持たなければならないということを意味する。
【0045】
上記の実施と方法の様々な詳細は、単に本発明を例示するためのものである。本発明の範囲内に様々な詳細部分の変更が含まれることが可能であり、本発明の範囲は添付クレームによってのみ限定されなければならない。
【0046】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明を実施した干渉計出は、光学経路を変化させても光学経路が空気であるので、波長依存性を持たず、かつ、基準光ビームと未知光ビームの光学経路が実質的に同じになるので、基準光ビームと未知光ビームの波長比の測定が高精度でおこなえる。また、干渉計自身も波長依存性が少ないという特長を備える。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の干渉計の概略的な説明図である。
【図2】平行な反射器の中に送り込まれる光ビームに生じる横方向のずれと時間的ずれとを説明する説明図である。
【図3】(a)は、ペリスコープ方向θ=−8°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
(b)は、ペリスコープ方向θ=0°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
(c)は、ペリスコープ方向θ=8°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
【図4】本発明の角度マイケルソン干渉計を示す3次元図である。
【図5】2方向反射器と2つのビームスプリッタとを示す、本発明の干渉計の別の実施例を示す3次元図である。
【図6】本発明の1つの実施例に使用するためのダウンコンバータ回路の説明図である。
【図7】本発明の1つの実施例で使用するための、カウンタを用いる波長測定回路の説明図である。
【符号の説明】
20 光ビーム
22、24、32a、32b 平行反射器
30 ビームスプリッタ
32 回転ペリスコープ
34、36 逆反射器
40 光源
50、52 リレー反射器
54 検出器レンズ
56 未知干渉信号検出器
58 基準干渉信号検出器
【産業上の利用分野】
本発明は、波長が未知である信号の波長を測定するために使用される、又は、可動要素の位置を測定するために使用される、動的干渉計(dynamic interferometer)に係わる。
【0002】
【従来の技術】
米国特許第4,329,055号(Schaefer他)は、回転する透明平行六面体(rotating parallelepipedic transparent body)を使用する干渉計を説明する。図1に示されるように、Schaeferは、ビームスプリッタ4に入力ビームを送るレーザ源2の使用を開示する。ビームスプリッタ4は、位置4aにおいて、入射光ビームを2つの分枝ビームに分割する。これらの2つの分枝ビームは、回転する透明平行六面体5を通過し、鏡6、7によって反射される。この後で、これらの2つの分枝ビームは、ビームスプリッタ4内の位置4aに戻り、干渉信号ビームの形に再会合させられ、検出器8に送られる。検出器8で検出された干渉信号は、入力ビームの波長と、上記分枝ビーム相互間の光学経路長の差とに応じて決まる強度を有する。この光学経路長の差は、回転する透明平行六面体5内において生じさせられ、平行六面体透明体5の回転に応じて変化する。
【0003】
図1には、単一の入力信号が示されているだけであるが、Schaefer他は、基準分枝ビームに分割された既知の波長の入力信号と、未知の波長の分枝ビームに分割された未知の波長の入力信号との両方を使用することを開示している。既知の波長の入力信号の使用は、未知の波長の測定精度を向上させる。既知の波長の入力信号と未知の波長の入力信号とが、別々の光学経路に沿って平行に装置の中に送り込まれる。基準分枝ビームが、未知の波長の分枝ビームとは異なった光学経路を有するので、基準分枝ビームと未知の波長の分枝ビームは、平行六面体透明体5の反射表面に対して互いに異なった接触点を有し、この干渉計は、これらの反射表面の平面性の欠陥に対して敏感である。Schaefer他によって開示された干渉計の別の欠点は、回転する透明平行六面体5の屈折率が波長に依存しており、従って、異なった波長を有するビームは上記回転体内において異なった角度で屈折するということである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、精度が改善された波長計を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の原理によって、上記の目的とその他の目的とが、未知の波長の入力光ビームを使用する干渉計を用いることによって実現される。この干渉計は、既知の波長の入力光ビームを発生させるために使用される基準レーザと、入力光ビームを第1と第2の光学経路に沿った2つのビームに分割し且つ既知の波長の入力光ビームを第1の基準光学経路と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割するために使用されるビームスプリッタとを含む。更に、この干渉計は、少なくとも第1の光学経路の長さと、第2の基準光学経路の長さとを変化させるための回転ペリスコープを含む。この回転ペリスコープは、回転プラットフォーム上に第1の反射器と第2の反射器とを有する。これらの第1の反射器と第2の反射器は互いに概ね平行である。上記干渉計は、更に、少なくとも第1の光学経路内の光と第2の基準光学経路内の光を逆向きに反射して上記回転ペリスコープの中を再び通過させるための逆反射器手段を含み、更には、第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とを干渉信号の形に再会合させ、且つ第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とを基準干渉信号の形に再会合させるための手段を含む。これに加えて、上記干渉計は、上記干渉信号を検出するための検出器と、上記干渉基準信号を検出するための第2の干渉計とを有する。
【0006】
更に、本発明の原理によって、既知の波長の第2の光ビームを用いて、光源からの光ビームの波長を測定するための方法を使用することによって、上記の目的とその他の目的とが実現される。この方法は、
入力光ビームを第1と第2の光学経路に沿った2つのビームに分割し、及び、既知の波長の入力光ビームを第1の基準光学経路と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割する段階と、
上記2つの光学経路内の光と上記2つの基準光学経路内の光とを1対の平行反射器から反射させる段階と、
第1の光学経路内の光が第1の基準光学経路内の光とは反対方向に伝播し、且つ第2の光学経路内の光が第2の基準光学経路内の光とは反対方向に伝播することを可能にするために、第1の光学経路と第1の基準光学経路とが概ね同一であり且つ第2の光学経路と第2の基準光学経路とが概ね同一であるように、第1の光ビームと第2の光ビームとを配置する段階と、
上記反射器を回転させることによって、第1の光学経路の長さと第2の光学経路の長さを変化させ、且つ第1の基準光学経路の長さと第2の基準光学経路の長さを変化させる段階と、
第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とを干渉信号の形に再会合させる段階と、
第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とを基準干渉信号の形に再会合させる段階と、
上記干渉信号と上記基準干渉信号とを検出する段階と、
上記干渉信号と上記基準干渉信号とから上記光ビームの波長を測定する段階とを含む。
【0007】
添付図面では、各図間において同等の構造物は、同一の参照符号で示されている。
【0008】
【実施例】
図2は、平行反射器の中に送り込まれた光ビームに生じる横方向ずれ(shearing)と時間的ずれとを示す図である。光ビーム20は平行反射器22、24から反射される。光ビーム20は、そのビームが平行反射器22、24に入った時と同一の方向に平行反射器22、24を出ていくが、横方向のずれと時間的なずれとを伴っている。反射器22、24は距離dだけ互いに離れており、光ビーム20は、反射器24への法線に対して角度ψをなして反射器24上に入射する。横方向のずれは線分BCによって与えられ、時間的ずれは、線分CAと線分ABとによって与えられる。
【0009】
【数1】
【0010】
図3の(a)、図3の(b)、図3の(c)は、各々にペリスコープ方向θ=−8゜、0゜、8゜における、本発明のビームスプリッタ30と回転ペリスコープ32と逆反射器34、36とを示す略図である。この回転ペリスコープ32は、回転プラットフォーム上に取り付けられた概ね平行な反射器32a、32bを有する。これらの平行な反射器32a、32bは、空気によって互いに隔てられている。
【0011】
光源40からの光は、ビームスプリッタ30によって経路Aと経路Bとに沿って分割される。これらの経路内の光は、平行な反射器32a、32bによって反射され、更に逆反射器34、36によって反射される。経路A、B内の光が、逆反射器34、36によって逆向きに反射されて回転ペリスコープ32の中を再び通過させられるので、光ビームの横方向ずれが取り除かれる。図3の(a)、図3の(b)、図3の(c)で各々にθ=−8゜、0゜、8゜において示されているように、経路A、B内の光がビームスプリッタ30に戻る時の出射方向は、回転ペリスコープ32の個々の方向θの範囲に関して概ね同一のままである。光学経路A、Bからの光が、ビームスプリッタ30において干渉信号の形に再会合させられる。この干渉信号は、検出器42に送られる。
【0012】
経路Aと経路Bとの間の経路長の差は、2(TSA−TSB)に等しく、前式中のTSAは経路Aの場合の時間的ずれであり、TSBは経路Bの場合の時間的ずれである。αは、図3の(b)に示すように、入力光ビームとビームスプリッタ法線と間の角度であり、θは、図3の(c)に示すように、ペリスコープ反射器法線とビームスプリッタ法線との間の角度として与えられる回転ペリスコープの方向である。経路長の差に関する方程式は、次式によって与えられる。
回転ペリスコープ32は、回転ペリスコープ方向θに応じて変化する経路長差を形成するように、第1の光学経路の長さと第2の光学経路の長さを変化させるために使用される。
【0013】
検出される干渉信号の強度は、次式で与えられ、
【0014】
【数2】
【0015】
前式中で、Rはビームスプリッタの反射率であり、Tはビームスプリッタ透過であり、I0は光源強度であり、λ0は真空中の光源波長であり、nは空気の屈折率であり、PDは光学経路長の差である。上記ペリスコープが方向θminから方向θmaxに回転する時の、光源の干渉信号のサイクル数のカウントCC0は、次式によって与えられる。Δは変比分を示す。
【0016】
【数3】
【0017】
既知の波長の光源光ビームが上記干渉計に入力される時には、検出された基準干渉信号のサイクルをカウントするために取り付けられたカウンタが、回転ペリスコープの方向θの正確な表示を与えるだろう。
【0018】
未知の光ビームの波長の正確な測定は、基準レーザの使用を必要とする。図4は、本発明の角度マイケルソン干渉計(angular Michelson interferometer)を示す3次元図である。未知の波長を有するレーザ46からの光が、反射器34、36、32a、32bに対して垂直な平面に関して上向きの角度βで、干渉計の中に送られる。ビームスプリッタ30は、入力光を経路Cと経路Dとに沿った2つの光に分割する。第1の光学経路内の光は、ビームスプリッタ30を通過して経路Cに沿って進み、中継反射器(relay reflector)50で反射し、回転プラットフォーム32c上の反射器32aで反射し、回転プラットフォーム32c上の反射器32bで反射し、逆反射器34で反射する。この後で、第1の光学経路内の光は、経路Aを通ってビームスプリッタ30に戻る。
【0019】
同様に、第2の光学経路内の光は、ビームスプリッタ30で反射されて経路Dに沿って進み、リレー反射器52で反射し、回転プラットフォーム32c上の平行反射器32b、32aで反射し、逆反射器36で反射する。この後で、第2の光学経路内の光は、経路Bを通ってビームスプリッタ30に戻る。
【0020】
ビームスプリッタ30上の点30aにおいて、第1の光学経路からの光と第2の光学経路からの光とが干渉信号へと再会合させられる。この干渉信号は、検出器レンズ54を通過させられ、この検出器レンズは、未知の干渉信号を検出するための検出器56の上に干渉信号を集束させる。好ましい実施例では、干渉信号は、レンズ54によって集束される前には数ミリメートルの直径であり、検出器56においては、数100ミクロンの直径の回折限界スポットを形成する。検出器56は、検出器レンズ54の焦点面内に位置する。レンズ54の焦点面は、レンズ54から距離fd=dd/2βである。距離ddは、後で説明する未知干渉信号検出器56と基準干渉信号検出器58との間の距離である。こうして、レンズ54は、後で説明するように干渉信号と基準干渉信号とを集束させることが可能である。
【0021】
基準レーザ44が、入力信号の波長を更に正確に測定するために使用される。未知の入力ビームと基準レーザ信号とが、反射器32b、32a、34、36に垂直な平面に対して角度βで送られる。基準レーザ信号は、この平面の上方に入力され、未知の入力ビームはこの平面の下方に入力される。基準ビームは、ビームスプリッタ30において、第1と第2の基準光学経路に沿った2つのビームに分割される。第1の基準光学経路内のビームは、第1の光学経路内のビームとは反対方向に伝播する(即ち、第1の基準光学経路内の光は、第1の光学経路内の未知の光信号とは反対の方向に伝播する)。第1の基準光学経路内の光は、経路Aに沿って逆反射器34に進み、経路Cに沿ってビームスプリッタ30に戻る。第2の基準光学経路内のビームは、第2の光学経路内のビームとは反対方向に伝播する(即ち、第2の基準光学経路内の光は、第2の光学経路内の未知の光信号とは反対の方向に伝播する)。第2の基準光学経路内の光は、経路Bに沿って逆反射器36に進み、経路Dに沿ってビームスプリッタ30に戻る。第1の基準光学経路からの光と第2の基準光学経路からの光とが、ビームスプリッタ30上の点30bにおいて、基準干渉信号へと再会合させられる。基準干渉信号は検出器レンズ54によって基準干渉信号検出器58上に集束させられる。これに加えて、ビームスプリッタ30は、干渉信号を基準レーザ44に送ると共に基準干渉信号をレーザ46に送るが、これらの信号は、レーザ44、46に悪影響を与えない。
【0022】
基準レーザ44は、基準光学経路が未知の信号の光学経路と概ね同一であるように、未知の波長の入力ビームに対して相対的に配置される。基準光学経路内のビームが未知の信号の光学経路内のビームとは反対方向に伝播するので、基準光学経路間の光学経路長の差は、未知の信号の光学経路間の長さの差に等しい。この理由から、基準干渉信号は、干渉計の光学経路長の差の変化率の正確な表示として働く。これは、ペリスコープの高精度の動きの必要性を不要にする。基準レーザと未知のレーザとの上記の配置が、基準光学経路と未知の信号の光学経路とが互いに平行ではあるが相違している場合に比べて、未知の波長のより正確な表示を生じさせる。これに加えて、基準光学経路が未知の信号の光学経路と概ね同一であるので、これらの光学経路と鏡32a、32bとの接触点は、概ね同一である。この理由から、上記干渉計では、鏡32a、32bの平面性の欠如による影響を受ける度合いが、従来の干渉計よりも低い。
【0023】
角度βが固定され且つ光学経路長が変化するので、基準光学経路と未知の信号の光学経路との間に僅かな相違が生じる可能性がある。しかし、この相違は、光学経路長の差に大きな悪影響を与えない。
【0024】
更に、回転ペリスコープ32の反射器32a、32bの間に適切な平行関係がある場合には、干渉計の角度位置合せは、ペリスコープの方向の影響を受けない。この理由から、ペリスコープの動揺、軸受けの遊び、又は、回転軸の位置合せ不良は、干渉計の方向又は位置合せに悪影響を与えない。
【0025】
上記検出器からの光電流は次式の形式を有する。
【0026】
【数4】
【0027】
前式中のλrefは既知の基準レーザの波長であり、λ?は未知の波長の入力ビームの波長である。Irefは、基準干渉信号の強度であり、I?は干渉信号の波長である。I0rとI0?は強度定数である。
【0028】
ペリスコープが一定の角速度Ωで均一に回転させられる場合には、検出器信号の周波数は次式で与えられる。
【0029】
【数5】
【0030】
「未知の入力波長」対「既知の基準波長」の比率は、検出器信号の周波数の比率に反比例する。即ち、
【0031】
【数6】
【0032】
基準干渉信号frefの周波数と干渉信号f?の周波数とが回転ペリスコープの方向θに基づいて変化するとしても、frefとf?の両方は比例的に変化する。従って、未知の入力信号の波長は、カウンタを用いて測定されることが可能である。「未知の信号の波長」対「基準信号の波長」の比率は、「干渉信号のサイクル数CC?」対「基準干渉信号のサイクル数CCref」の比率に比例する。更に、フェーズロックループ方式により、フルサイクル(full cycle)よりも小さい分数サイクル数を測定することが可能である。
【0033】
その一方のタブ57が図に示されている1対の同期タブが、回転ペリスコープ32上に互いに180゜の間隔を置いて配置される。回転ペリスコープ32の方向を検出し、且つ、干渉信号と基準干渉信号とが有効である方向範囲内に回転ペリスコープ32がある時に回路60にゲート信号(gating signal)を与えるために、スロット付きのゲート検出器59が上記タブを使用する。
【0034】
任意に、回転プラットフォームの方向を正確に測定するための回路61が、基準干渉検出器58からの検出基準干渉信号を受信するために接続される。この回路61は、間隔dと角度αと波長λrefとが正確に知られている場合に、回転ペリスコープの方向θの正確な表示を与える。回路61は、単純なサイクルカウンタであることが可能である。
【0035】
回転ペリスコープ32内で光学経路の1つだけが変化させられる場合は、上記干渉計は依然として動作するが、光学経路長の差はより一層小さい。反射器52が位置52’に移動させられる場合には、第2の光学経路の長さは回転ペリスコープ32によって変化させられない。第2の光学経路内の光は、経路D’に沿って位置52’の反射器に進み、経路B’に沿ってビームスプリッタ30に戻る。干渉信号は依然としてビームスプリッタ30上の位置30aに形成される。この干渉信号は検出器56に送られる。
【0036】
約100万分の1の精度で未知の信号の波長を測定するために使用される干渉計の実施例の1つでは、その波長計の実際上の寸法は、
ペリスコープ間隔 d = 38mm
ペリスコープ角度範囲 − θmax < θ < θmax、θmax = 8゜
ビーム分離角 β = 10mrad
ビームスプリッタ入射角 α = 45゜
ペリスコープ回転速度 Ω = 2π × 5Hz
基準HeNeレーザの波長 λref = 0.63299088 μ (真空)
PDmax = 8d sinαsinθmax = 30mm
τmax = 100 psec
fref = (8dn/λref)Ωsinαcosθ = 10.67 MHz
【0037】
−30mmから30mmという光学経路差の範囲は、約95,000の基準サイクルを与える。100万分の1の分解能を得るためには、周波数比カウンタ(ratioing frequency counter)は、繰り返しカウント方式又はフェーズロックループ方式のどちらかによって、1サイクルの約11分の1を補間しなければならない。5Hzの回転速度は、1秒当たり10回の測定を可能にする。
【0038】
未知の信号の波長を測定するための回路60は、図7に示されるような単純なサイクルカウンタ100、102であってよい。カウンタ102、100は、図4に示される検出器56から検出干渉信号を受け取るために、及び、図4に示される検出器58から検出基準干渉信号を受け取るために、接続される。カウンタ102、100は、図4に示されるゲート検出器59からのゲート信号によってゲートされる。更に、1サイクルより小さいサイクルカウント精度を得るために任意に使用されることが可能である(周波数逓倍をおこなう)フェーズロックループ回路104a、104bが、図7に示されている。
【0039】
或いは、回路60は、図6に示されるようなディジタル複素ダウンコンバータ(digital complex down converter)であってもよい。ライン61上の検出干渉信号がKestrelチップ62に送られる。このKestrelチップ62は、干渉信号の周波数を2つのより低周波数の方形信号にダウンシフトするために局部発振器(複素LO)64を使用する。これらの2つの信号はOspreyチップ66、68に送られ、これらのOspreyチップ66、68において、上記2つの信号がフィルタ67、68内で濾波され、サンプリング回路71、73内でディジタル方式でサブサンプリング(sub−sampled)される。これらの2つの信号が検出干渉信号よりも低い周波数を有するので、小域複素高速フーリエ変換のために必要な標本の数は、より少ない。この後で、Ospreyチップ66、68の2つのディジタル出力信号が、小域複素高速フーリエ変換回路70に送られる。小域複素高速フーリエ変換回路の出力は、フィルタ67、69内での通過帯域低下を補償するために、イコライザ72に送られる。更に、ポート74におけるスペクトルが、未知の干渉信号の波長の何らかの表示を与える。
【0040】
Kestrelチップ62と、Ospreyチップ66、68と、小域複素高速フーリエ変換回路70との全てが、基準干渉信号の周波数の2倍のクロック速度でクロック制御されるということに留意されたい。クロック発振回路76は、図4に示される基準干渉信号検出器58からライン63を介して検出基準干渉信号を入力され、図6のライン77上にクロック信号を供給する。クロック信号の周波数が、検出干渉信号の周波数の変化に比例して変化するので、ポート74におけるスペクトルは、回転ペリスコープの様々な方向θにおける干渉信号周波数の変化によっては影響を受けない。
【0041】
或いは、Kestrelチップ62とOspreyチップ66、68は、米国Harris CorporationのHarris Semiconductor Divisionから入手可能なHSP50016 DDCのような信号ディジタルダウンコンバータチップで置き換えられることが可能である。このチップは、D.B.Chester及びG.Phillipsの論文「Single Chip Digital Down Converter Simplifies RF DSP Applications」(RF Design, Nov.92, pp.39−46)に説明されている。
【0042】
図5は、2方向反射器80、82と2つのビームスプリッタ84、86とを示す干渉計の別の実施例の3次元図である。これらの2方向反射器80、82と2つのビームスプリッタ84、86は、単に図解上の目的から、一緒に示されている。2方向反射器を有する干渉計の好ましい実施例は、1つのビームスプリッタだけを使用する。2方向反射器80、82の使用は、第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが回転ペリスコープ32を通して4回反射されるので、光学経路長の差を拡大する。反射器32a、32b、34、36に対して垂直な平面に対して角度βの光源88からの光が、第1のビームスプリッタ86に送られ、このビームスプリッタ86は、その光を第1の光学経路と第2の光学経路とに沿った2つのビームに分割する。光が下向きに角度βで入るので、2方向反射器80は、下記のように、第2の光学経路内の光を反射して戻し、回転ペリスコープの3回目と4回目の通過のために回転ペリスコープの中にその光を送り込む。第2の光学経路内の光は、2方向反射器80の区域80aで反射する。この区域80aは、第2の光学経路内の光が回転ペリスコープの中に送り込まれるような第1の方向を有する反射器である。第2の光学経路は2方向反射器80に戻り、区域80bで反射する。区域80bは、第2の光学経路内の光が回転ペリスコープの中に3回目に戻るように方向付けられる。第2の光学経路内の光は、光が第2のビームスプリッタ84に反射されるような第1の方向を有する区域80cにおいて2方向反射器80に戻る。
【0043】
説明を分かり易くするために、第1の光学経路は図5に示されていない。第1の光学経路内の光も、回転ペリスコープ32を4回通過する。第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが、第2のビームスプリッタ84内で干渉信号の形に再会合させられる。2つのビームスプリッタ86、84の使用は、この干渉計をマッハ・ツェンダー干渉計にする。干渉信号は検出器90で検出される。上記で説明されたのと同様に、基準レーザ81が、第2の検出器91において検出される干渉信号を発生させるために使用される。
【0044】
第1の光学経路内の光と第2の光学経路内の光とが回転ペリスコープ32を4回通過するので、光学経路長の差は−16dsinαsinθに等しい。光学経路長の差の増大によって、所与のペリスコープ角度範囲に関する検出干渉信号サイクル数が2倍になり、それによって、干渉計の周波数分解能が増大する。2方向反射器80、82の使用上の欠点は、各々の光学経路内の光が、図4に示される干渉計では反射器での反射が7回であるのに対して、この干渉計では13回の反射が生じるということである。これは、図5に示される反射器が、有効な干渉信号が得られるように反射器表面に起因する波面収差を±λ/4の範囲内に保つために、より一層高い平面性を持たなければならないということを意味する。
【0045】
上記の実施と方法の様々な詳細は、単に本発明を例示するためのものである。本発明の範囲内に様々な詳細部分の変更が含まれることが可能であり、本発明の範囲は添付クレームによってのみ限定されなければならない。
【0046】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明を実施した干渉計出は、光学経路を変化させても光学経路が空気であるので、波長依存性を持たず、かつ、基準光ビームと未知光ビームの光学経路が実質的に同じになるので、基準光ビームと未知光ビームの波長比の測定が高精度でおこなえる。また、干渉計自身も波長依存性が少ないという特長を備える。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の干渉計の概略的な説明図である。
【図2】平行な反射器の中に送り込まれる光ビームに生じる横方向のずれと時間的ずれとを説明する説明図である。
【図3】(a)は、ペリスコープ方向θ=−8°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
(b)は、ペリスコープ方向θ=0°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
(c)は、ペリスコープ方向θ=8°の場合の本発明のビームスプリッタと回転ペリスコープと逆反射器とを示す概略的な説明図である。
【図4】本発明の角度マイケルソン干渉計を示す3次元図である。
【図5】2方向反射器と2つのビームスプリッタとを示す、本発明の干渉計の別の実施例を示す3次元図である。
【図6】本発明の1つの実施例に使用するためのダウンコンバータ回路の説明図である。
【図7】本発明の1つの実施例で使用するための、カウンタを用いる波長測定回路の説明図である。
【符号の説明】
20 光ビーム
22、24、32a、32b 平行反射器
30 ビームスプリッタ
32 回転ペリスコープ
34、36 逆反射器
40 光源
50、52 リレー反射器
54 検出器レンズ
56 未知干渉信号検出器
58 基準干渉信号検出器
Claims (3)
- 波長が未知である被測定光ビームの波長を測定するための干渉計であって、既知の波長の基準光ビームを発生させるために使用される基準レーザと、前記被測定光ビーム及び前記基準光ビームのそれぞれについて別個の第1及び第2の光学経路を構成するよう分割するビームスプリッタと、回転プラットフォーム上に設けられ、前記ビームスプリッタから入射される分割されたそれぞれ光の前記第1及び第2の光学経路を回転プラットフォームの回転角によって変化させる光学経路変更装置と、該光学経路変更装置からの出射光を逆向きに反射させて再度前記光学経路変更装置内を通過させる逆反射手段と、前記第1及び第2の光学経路を成す前記被測定光ビーム及び前記基準光ビームのそれぞれを干渉信号の形にする再会合手段と、前記被測定光ビーム及び前記基準光ビームの前記干渉信号を検出する検出手段と、検出信号を処理する信号処理手段を含む干渉計において、
前記光学経路変更装置は、前記回転プラットフォーム上に空気層を挟んで固定され該回転プラットフォームと共に回転可能とされる対向反射器を備えた回転ペリスコープ構造を有し、少なくとも該回転ペリスコープ構造における前記被測定光ビームの前記第1及び第2の光学経路と前記基準光ビームの前記第1及び第2の光学経路とを高さ方向に並べて設定し、
前記対向反射器とは別個に、前記回転プラットフォームの方向を検出して前記信号処理手段に方向検出信号を送信する方向検出手段を更に有することを特徴とする干渉計。 - 前記回転プラットフォームの前記ビームスプリッタ側に、前記光学経路変更装置から戻る方向に出射された光を、再び前記光学経路変更装置を通過させるようにする追加の反射器手段を更に有することを特徴とする、請求項1に記載の干渉計。
- 前記追加の反射器は、2方向反射器の一部とされ、前記ビームスプリッタは2つ設けられることを特徴とする、請求項2に記載の干渉計。
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