JPS59211810A - 光ヘテロダイン干渉法による微小角度測定方法 - Google Patents
光ヘテロダイン干渉法による微小角度測定方法Info
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- JPS59211810A JPS59211810A JP8637883A JP8637883A JPS59211810A JP S59211810 A JPS59211810 A JP S59211810A JP 8637883 A JP8637883 A JP 8637883A JP 8637883 A JP8637883 A JP 8637883A JP S59211810 A JPS59211810 A JP S59211810A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
法による微小角度測定装置に関するものである、現在精
密機械産業においては、工作機械の加工状態の精密モニ
ター、加工物の精密測定の要求が高まり、その一分野と
して微小角度の非接触高精度測定器の実現が望まれてい
る。 ゛従来微小角度の測定としては、静止物体
では、オプティ力ルフラノ−トを用（・たニュートンリ
ング測定法、オートコリメータによる測定法などかあ簡
単な装置で非接触で高速に高精度に角度計測が可能な方
法というのは実用化されていないのが実情である。
密機械産業においては、工作機械の加工状態の精密モニ
ター、加工物の精密測定の要求が高まり、その一分野と
して微小角度の非接触高精度測定器の実現が望まれてい
る。 ゛従来微小角度の測定としては、静止物体
では、オプティ力ルフラノ−トを用（・たニュートンリ
ング測定法、オートコリメータによる測定法などかあ簡
単な装置で非接触で高速に高精度に角度計測が可能な方
法というのは実用化されていないのが実情である。
本発明は光ヘテロダイン干渉法により、通常の境環下で
非接触で０００１°のオーダの精度で計測が中米る微小
角度測定装置を実現することを目的とするものである。
非接触で０００１°のオーダの精度で計測が中米る微小
角度測定装置を実現することを目的とするものである。
以下光ヘテロダイン干渉法について説明する。
光ヘテロゲイン干渉は２つの異なる周波数成分を持つ光
を干渉させて、その強度を光電変換゛して、差の周波数
のビート信号を得る方法である、例えば周波数ｆ、’−
Ｗ２の光波なＥ、−’Ｅ、、とすれば Ｅ、 （ｔ）＝Ａ、 （ｔ）ｃｏｓ （２πｆ＋ ｔ
＋９６＋ （１）Ｅ２ （ｔ）＝Ａ’２ （ｔ）ｃｏｓ
（２πｆ ２ ’ｔ ＋１２Ｉ））ここで−Ａ、＋
Ａ２は振幅、メ１、〆２は位相を示す。
を干渉させて、その強度を光電変換゛して、差の周波数
のビート信号を得る方法である、例えば周波数ｆ、’−
Ｗ２の光波なＥ、−’Ｅ、、とすれば Ｅ、 （ｔ）＝Ａ、 （ｔ）ｃｏｓ （２πｆ＋ ｔ
＋９６＋ （１）Ｅ２ （ｔ）＝Ａ’２ （ｔ）ｃｏｓ
（２πｆ ２ ’ｔ ＋１２Ｉ））ここで−Ａ、＋
Ａ２は振幅、メ１、〆２は位相を示す。
この２つの光波を干渉させると、その強度Ｉ （ｔ）は
１ （ｉ）二ｌ Ｅｌ（ｔ） ＋ Ｅ２ （ｔ） ’
＋２ となる。
＋２ となる。
これを光検出器で電流ｉ’、（ｔ）に変換すると１（ｔ
）ｏｃＡ″、 ” ＋Ａ２” ＋２Ａ、 Ａ２ｃｏｓ（
２πΔｆｔ＋Δ９６）但し Δｆ−ｆ１−ｆ２− ΔＸ
＝グ、−グ。
）ｏｃＡ″、 ” ＋Ａ２” ＋２Ａ、 Ａ２ｃｏｓ（
２πΔｆｔ＋Δ９６）但し Δｆ−ｆ１−ｆ２− ΔＸ
＝グ、−グ。
なる電気信号が得られる。
ここでΔｆは１０’〜１０”Ｉ（ｚのオーダで十分に電
気的検出が可能で−このビート信号の周波数、位相の変
化を検出することにより、もとの光波が持っている光の
周波数領域での情報を高精度に取り出すことができる。
気的検出が可能で−このビート信号の周波数、位相の変
化を検出することにより、もとの光波が持っている光の
周波数領域での情報を高精度に取り出すことができる。
光へテロダイン干渉を行なわせる手段としては、ゼーマ
ンレーザを用いる方法、音響光学素子を用いる方法が一
般的であり２本発明による微小角度測定装置でぽ、音響
光学素子を用いて、前記ビート信号のうちのΔｆは一定
としておき、位相の変化を電気的に検出して、その位相
の変化から角度を算出するものである。
ンレーザを用いる方法、音響光学素子を用いる方法が一
般的であり２本発明による微小角度測定装置でぽ、音響
光学素子を用いて、前記ビート信号のうちのΔｆは一定
としておき、位相の変化を電気的に検出して、その位相
の変化から角度を算出するものである。
第１図に本発明による光へテロダイン干渉法による微小
角度測定装置の′システムブロック線図ヲ示す。
角度測定装置の′システムブロック線図ヲ示す。
ＨｅＴＮｅレーザ管あるいは半導体レーザ等によるレー
ザ発振部１００がら放射された周波数−ｆｏめ光ビーム
（１本）１０１は音響光学素子（Ａ・０）１０λに入射
される。Ａ・０１０６はｆｍなる周波数の正弦波発振器
１１１を入力裏するＡ・０ドライバー１１２によって超
音波進行波をその内部に発生させ、光と超音波の相互作
用により光ヘテロノ゛イン干渉の基礎となる周波数の異
なる２本の光ビーム（２ビーム）１０４及びここでＡ・
０ドライバー１１２は■ＣＯ１高周波パワーアンプ。平
衡変調器等から一構成され、ある高周波信号の周波数ｆ
ａに対してＡＭ変調を行ない、キャリアー周波数ｆａ成
分を抑圧して一イドバンドバクを発生させることが必要
である。
ザ発振部１００がら放射された周波数−ｆｏめ光ビーム
（１本）１０１は音響光学素子（Ａ・０）１０λに入射
される。Ａ・０１０６はｆｍなる周波数の正弦波発振器
１１１を入力裏するＡ・０ドライバー１１２によって超
音波進行波をその内部に発生させ、光と超音波の相互作
用により光ヘテロノ゛イン干渉の基礎となる周波数の異
なる２本の光ビーム（２ビーム）１０４及びここでＡ・
０ドライバー１１２は■ＣＯ１高周波パワーアンプ。平
衡変調器等から一構成され、ある高周波信号の周波数ｆ
ａに対してＡＭ変調を行ない、キャリアー周波数ｆａ成
分を抑圧して一イドバンドバクを発生させることが必要
である。
この様にしてビーム１０４はｆｏ＋ｆａ−ｆ、ｍ、ビー
ム１０５はｆｏ＋ｆａ＋ｆｍなる周波数成分を有する。
ム１０５はｆｏ＋ｆａ＋ｆｍなる周波数成分を有する。
１０２は偏光ビームスプリッタ−及び１／４波長板から
構成される光アイソレータで、Ａ・０素子１０６と測定
する物体面１０７０間に設置する。
構成される光アイソレータで、Ａ・０素子１０６と測定
する物体面１０７０間に設置する。
２ビーム１０４及び１０５は光アイソレータ１０２で２
つの方向に分割する。一方は物体面１０７に照射しない
参照光１０４′、１０５′となし、他方は集光用レンズ
１０６を通して物体面１０７に照射する、物体面１０し
からの反射光を再び集光用レンズ１０６を通して光アイ
ソレータ１０２により再び進路を曲げ物体反射光１２０
，１２１とする。１２２及び１２６は参照光１０４．１
０５′及び物体反射光１２０．１２１の干渉を行なわせ
る光電変換部で例えばＰＩＮフォトダイオード等で構成
され、得られたビート電流信号の電流−電圧変換等を行
なわせる。
つの方向に分割する。一方は物体面１０７に照射しない
参照光１０４′、１０５′となし、他方は集光用レンズ
１０６を通して物体面１０７に照射する、物体面１０し
からの反射光を再び集光用レンズ１０６を通して光アイ
ソレータ１０２により再び進路を曲げ物体反射光１２０
，１２１とする。１２２及び１２６は参照光１０４．１
０５′及び物体反射光１２０．１２１の干渉を行なわせ
る光電変換部で例えばＰＩＮフォトダイオード等で構成
され、得られたビート電流信号の電流−電圧変換等を行
なわせる。
さらに得られた電圧信号の直流カットをすれば得られる
交流電圧信号１２４及び１２５は各々Ａ、 Ｃ０３（２
ｙｔ １１２ ｆｍｔ＋θ１）Ａ２ＣＯ３（２π・２ｆ
ｍｔ十θ２） で表わされる。
交流電圧信号１２４及び１２５は各々Ａ、 Ｃ０３（２
ｙｔ １１２ ｆｍｔ＋θ１）Ａ２ＣＯ３（２π・２ｆ
ｍｔ十θ２） で表わされる。
θ１は参照信号の初期位相で一定量であり、θ２はビー
ム１０４及び１０５が照射されたときの物体面１０７の
角度状態に起因する幾何学的形状によって起こる２ビ一
ム間の光路差によって生じる位相差で状態によって変化
する量である。このθ１−０２の差を位相比較器１１４
によって検出し、得られた位相差データをマイクロプロ
セッサ−等を用いたデータ処理部１２６によって角度に
換算する。
ム１０４及び１０５が照射されたときの物体面１０７の
角度状態に起因する幾何学的形状によって起こる２ビ一
ム間の光路差によって生じる位相差で状態によって変化
する量である。このθ１−０２の差を位相比較器１１４
によって検出し、得られた位相差データをマイクロプロ
セッサ−等を用いたデータ処理部１２６によって角度に
換算する。
電気的に得られた位相データを角度データに変換するに
は光ヘテロダイン干渉を行なわせる光学系に依存する。
は光ヘテロダイン干渉を行なわせる光学系に依存する。
第２図は本発明による微小角度測定装置に用いる光学系
の一実施例を示す模式図であり−１６０及び１３４はシ
リンドリカルレンズで各々の焦点距離は１１ とする、
１６１及び１３２は平凸レン蕃 ズで各々の焦点距離は
１２とする。１６６は偏光ビームスプリンター、１６５
はｌ／４波長板−１０６はレーザ集光レンズで焦点距離
はｌ。とする。
の一実施例を示す模式図であり−１６０及び１３４はシ
リンドリカルレンズで各々の焦点距離は１１ とする、
１６１及び１３２は平凸レン蕃 ズで各々の焦点距離は
１２とする。１６６は偏光ビームスプリンター、１６５
はｌ／４波長板−１０６はレーザ集光レンズで焦点距離
はｌ。とする。
一般にＡ・０１０３は光と超音波の相互作用により、光
波の変調を行なうもので、Ａ−０１０３に入射する光の
ビーム幅は広いのが好ましいためシリンドリカルレンズ
１６０と平凸レンズ１６１の組み合せで幅の広いだ円ビ
ームを発生させる。
波の変調を行なうもので、Ａ−０１０３に入射する光の
ビーム幅は広いのが好ましいためシリンドリカルレンズ
１６０と平凸レンズ１６１の組み合せで幅の広いだ円ビ
ームを発生させる。
さらに直線偏光レーザな用いることにより、偏光ビーム
スプリッタ−１１３３と１／４波長板１３５の組み合せ
から参照光と物体光の分離を行なう。
スプリッタ−１１３３と１／４波長板１３５の組み合せ
から参照光と物体光の分離を行なう。
ビート信号１２４と１２５は一般に振幅が異なり、待相
比較器１１４にはできるだけ振幅が近い状態の電気信号
を入力するのが好ましいため、照射する物体の反射率に
応じて、例えばレーザ管を回転させ直線偏光の軸を調整
すればよ℃・。あるいは偏光板を回転させて直線偏光軸
を回転してもよい。
比較器１１４にはできるだけ振幅が近い状態の電気信号
を入力するのが好ましいため、照射する物体の反射率に
応じて、例えばレーザ管を回転させ直線偏光の軸を調整
すればよ℃・。あるいは偏光板を回転させて直線偏光軸
を回転してもよい。
さらにビート信号のＳ／Ｎ比を良（するため、偏光ビー
ムスプリッタ−１６６は干渉光がだ円ビームとなる場所
に設置するのが好ましい。
ムスプリッタ−１６６は干渉光がだ円ビームとなる場所
に設置するのが好ましい。
第２図の実施例では−Ａ−０１０３によって分離された
２ビームは図示していないが、実際には非常に接近した
２ビームに分離している。
２ビームは図示していないが、実際には非常に接近した
２ビームに分離している。
この２ビ一ム分離を与える周波数をｆｍとし、たとき、
物体面１０７上での２ビームの分離距離ｄは
。
物体面１０７上での２ビームの分離距離ｄは
。
で与えられる。
但し■はＡ・０１０６を伝わる超音波の速度である。
■はＡ−０１０３の媒質で決まる。λはレーザの波長で
Ｈｅ ＝ Ｎ ｅレーザの場合は０．６３２８ミクロン
メートルである。例えば■二３．’ ８ ｋｍ ／ ｓ
ｅｃ、ｆ 、 ＝’１５ｍｍ−’ｆ、、 ＝ ５０’
Ｏｍｎ、 ｆ（、＝７’ｗとすれば、ｆｍ＝１００ｋ
Ｈｚで、−ｄ＝７μｍである、また物体照射面でのビー
ムスポット径は集光レンズ１０６に入射されるビームの
径（こσ）ときシま円形ガウスビームに変換されている
）とレンズ１０６の焦点距離ｌ。に関係するが、小さく
・ビーム径及び２ビームの間かくｄをより小さくするに
は、シリンドリカルレンズ１６４と焦光レンズ１６６の
間にビームエクスノくンダーを入れればよ（・０ 以上説明した光学系を用いて角度測定を行なう実施例を
以下に説明する。
Ｈｅ ＝ Ｎ ｅレーザの場合は０．６３２８ミクロン
メートルである。例えば■二３．’ ８ ｋｍ ／ ｓ
ｅｃ、ｆ 、 ＝’１５ｍｍ−’ｆ、、 ＝ ５０’
Ｏｍｎ、 ｆ（、＝７’ｗとすれば、ｆｍ＝１００ｋ
Ｈｚで、−ｄ＝７μｍである、また物体照射面でのビー
ムスポット径は集光レンズ１０６に入射されるビームの
径（こσ）ときシま円形ガウスビームに変換されている
）とレンズ１０６の焦点距離ｌ。に関係するが、小さく
・ビーム径及び２ビームの間かくｄをより小さくするに
は、シリンドリカルレンズ１６４と焦光レンズ１６６の
間にビームエクスノくンダーを入れればよ（・０ 以上説明した光学系を用いて角度測定を行なう実施例を
以下に説明する。
第３図は微小角度２だけ傾斜の付℃・た斜面角の計測例
を示す模式図オ゛ある。６１に示す平面を基準状態面、
６２に示す平面を測定状態面とする。
を示す模式図オ゛ある。６１に示す平面を基準状態面、
６２に示す平面を測定状態面とする。
第１図での説明で明らかな如く、参照信号と物体反射信
号の各々の位相θ３、θ２の絶対値は意味を持たず、従
ってその差θ１−θ２だけも意味を持たず、意味がある
のは（θ１−０２ ）の状態変化による変化量である、
斜面角ダを求めるのに、まず基準となる状態面６１の平
面に２ビームを照射してそのときの位相角を測定する。
号の各々の位相θ３、θ２の絶対値は意味を持たず、従
ってその差θ１−θ２だけも意味を持たず、意味がある
のは（θ１−０２ ）の状態変化による変化量である、
斜面角ダを求めるのに、まず基準となる状態面６１の平
面に２ビームを照射してそのときの位相角を測定する。
前述の如く位相差（θ１−θ２ ）は任意量であるため
、θ１−θ２＝０とするのがよい。θ１−θ２二〇とす
るには参照信号の位相を調整すればよく、第２図で説明
した光学系において、偏光ビームスプリッタ−１６６に
より進路を曲げられた参照光のだ円ビームに対して光電
変換受光器１２２の位置を移動させて位置調整さすこと
ができる。位相は光電検出器１２２の移動に対して直線
的に変化する。
、θ１−θ２＝０とするのがよい。θ１−θ２二〇とす
るには参照信号の位相を調整すればよく、第２図で説明
した光学系において、偏光ビームスプリッタ−１６６に
より進路を曲げられた参照光のだ円ビームに対して光電
変換受光器１２２の位置を移動させて位置調整さすこと
ができる。位相は光電検出器１２２の移動に対して直線
的に変化する。
次に測定状態面６２に２ビームを照射してそのときの位
相角を測定する。
相角を測定する。
このときは明らかに角度グによる段差があるため、２ビ
一ム間に光路差が生じて位相に変化が起こる。
一ム間に光路差が生じて位相に変化が起こる。
今、２ビ一ム間にＺなる段差があれば、ＺはＺ−λ・θ
／４π で表わされる。
／４π で表わされる。
λはレーザ光源の波長、θは位相差である。
レーザとしてＨｅ −Ｎ ｅレーザを用いれば−０，１
５８、ｇ Ｚ−； ０．−Ｌ５一番キイロンメートルが
一度に測ることができる限界である。位相差θ二１゜当
すのＺは、８８オングストロームであり、電気的にｌｏ
の位相測定は十分に可能である。
５８、ｇ Ｚ−； ０．−Ｌ５一番キイロンメートルが
一度に測ることができる限界である。位相差θ二１゜当
すのＺは、８８オングストロームであり、電気的にｌｏ
の位相測定は十分に可能である。
位相差θ−によりＺが求められるため、角度２は第４図
の模式図により、メ＝ｊａｎ−’ Ｚ ／ ｄで求めら
れる。
の模式図により、メ＝ｊａｎ−’ Ｚ ／ ｄで求めら
れる。
ｄは２ビ一ム間の距離で前述の如（発振周波数ｆｍ及び
使用するレンズの焦点距離から求められる。
使用するレンズの焦点距離から求められる。
基準面６１及び斜面６２が鏡面でなく粗面の場合は、Ｚ
として各々の表面の微小粗さをふくむため、各々の面に
つし・て何回かの測定を行ない統計がある。
として各々の表面の微小粗さをふくむため、各々の面に
つし・て何回かの測定を行ない統計がある。
第３図の場合ではｄ＝７μｍの場合に測定できる最大角
度は±１，３°である。
度は±１，３°である。
例えば０．５°程度の微小角度測定においては、測定精
度は位相角１°の誤差につき０００７°である。この様
に非常に高精度計測が可能である。
度は位相角１°の誤差につき０００７°である。この様
に非常に高精度計測が可能である。
本例の場合は測定対象物の２ビ一ム照射位置を変えて測
定する必要があるが、Ａ−０１０３に可変直流電圧を印
加してＡ−０１０６の偏向角を変えて位置を変えること
もでき、またＸＹステージの移動によって位置を変えて
もよい。
定する必要があるが、Ａ−０１０３に可変直流電圧を印
加してＡ−０１０６の偏向角を変えて位置を変えること
もでき、またＸＹステージの移動によって位置を変えて
もよい。
第５図は第２の角度計測例を示す模式図であり、基準面
５１が回転して面状態５２となちたときの角度差グを求
めるもので、例えば工作機械の加工ヘッドの運動状態を
検出する場合である。
５１が回転して面状態５２となちたときの角度差グを求
めるもので、例えば工作機械の加工ヘッドの運動状態を
検出する場合である。
本計測例の場合も基準となす状態の基準面５１０位相差
を測定しておき、次に角度ダだけ回転したときに生じる
光路差による位相変化を測定すれば、第３図の計測例で
説明した様な演算をすれば角度グが求められる。
を測定しておき、次に角度ダだけ回転したときに生じる
光路差による位相変化を測定すれば、第３図の計測例で
説明した様な演算をすれば角度グが求められる。
第６図は第３の計測例を示す模式図であり、物体の変形
量網側の場合で、鍵形前の基準面６１σ）各部分につい
ての位相を計測し一変形後の状態面６２の位相を計測し
て、変形角から変形量の計測が可能である。
量網側の場合で、鍵形前の基準面６１σ）各部分につい
ての位相を計測し一変形後の状態面６２の位相を計測し
て、変形角から変形量の計測が可能である。
以上述べた如く本発明による微小角度測定装置は非接触
−高速、１−精１し計１肋峰同゛能で、光ヘテロダイン
干渉法の利点を生かし通常境環下で使用されるために、
オンライン−オフライン共に計測できる方法で効果が太
きい。
−高速、１−精１し計１肋峰同゛能で、光ヘテロダイン
干渉法の利点を生かし通常境環下で使用されるために、
オンライン−オフライン共に計測できる方法で効果が太
きい。
第１図は本発明の実施例による微小角度測定装置のブロ
ック線図、第２図は第１図の微小角度測定装置に用℃・
られる光ヘテロダイン干渉法の光学系の説明用の模式図
−第３図、第５図及び第６図はそれぞれ本発明の微小角
度測定装置による各μ度泪測例を示す各模式図、第４図
は角度算出説す用の模式図。 １００・・・・・・レーザ発振部、 １０３・・・・・・音響光学素子− １０２・・・・・・光アイソレータ− １０７・・・・・・物体面、１１４・・・・・・位相比
較器、１２２．１２６・・・・・・光電変換部、１２６
・・・・・・データ処理部。 １６３・・・・・・偏光ビームスプリンター、１３５・
・・・・・１／４波長板。
ック線図、第２図は第１図の微小角度測定装置に用℃・
られる光ヘテロダイン干渉法の光学系の説明用の模式図
−第３図、第５図及び第６図はそれぞれ本発明の微小角
度測定装置による各μ度泪測例を示す各模式図、第４図
は角度算出説す用の模式図。 １００・・・・・・レーザ発振部、 １０３・・・・・・音響光学素子− １０２・・・・・・光アイソレータ− １０７・・・・・・物体面、１１４・・・・・・位相比
較器、１２２．１２６・・・・・・光電変換部、１２６
・・・・・・データ処理部。 １６３・・・・・・偏光ビームスプリンター、１３５・
・・・・・１／４波長板。
Claims (1)
- レーザ発振部から出射された光を音響光学素子により周
波数の異なる２つの光線に分割し、該２つの周波数成分
を有する２つの光を物体面に照射する光へテロダイン干
渉法による微小角度測定装置にオ６いて、前記音響光学
素子と物体面の間に、偏光ビームスプリッタ−と１／４
波長板から成る光アイソレータを設け、該２つの周波数
成分を有する２つの光線を、前記光アイソレータにより
２つの方向に分割し、一方は物体面に照射しない参照光
となし、他方は物体面に照射し、その反射光を前記光ア
イツレ〜りにより再び進路を曲げ物体反射光となし一前
記参照光と物体反射光を各々光電変換してビート信号を
作成する各光電変換部と、該各光電変換部からの信号相
互の位相差を検出する位相比較器と、該位相比較器から
の位相差データに基づき、前記物体面の基準となる状態
の位相と、該基準となφ状態から変化して（・る状態の
位相とを得て、角度を演算するデータ処理部とからなる
ことを特徴とする光ヘテロダイン干渉法による微小角度
測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8637883A JPS59211810A (ja) | 1983-05-17 | 1983-05-17 | 光ヘテロダイン干渉法による微小角度測定方法 |
| US06/608,744 US4650330A (en) | 1983-05-13 | 1984-05-10 | Surface condition measurement apparatus |
| GB08412312A GB2146116B (en) | 1983-05-13 | 1984-05-14 | Surface condition measurement apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8637883A JPS59211810A (ja) | 1983-05-17 | 1983-05-17 | 光ヘテロダイン干渉法による微小角度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59211810A true JPS59211810A (ja) | 1984-11-30 |
| JPH0339563B2 JPH0339563B2 (ja) | 1991-06-14 |
Family
ID=13885211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8637883A Granted JPS59211810A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-17 | 光ヘテロダイン干渉法による微小角度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59211810A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1306245C (zh) * | 2005-02-08 | 2007-03-21 | 王治平 | 激光数字式角度测量方法及其装置 |
| JP2014071432A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Astro Design Inc | レーザー走査顕微鏡装置 |
| CN110006367A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-12 | 北京信息科技大学 | 偏摆角、俯仰角测量方法和装置 |
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| JPS5536922A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-14 | Hitachi Metals Ltd | Manufacturing of ferrite |
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1983
- 1983-05-17 JP JP8637883A patent/JPS59211810A/ja active Granted
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|---|---|
| JPH0339563B2 (ja) | 1991-06-14 |
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