JPS5887447A - 群屈折率の高精度測定法 - Google Patents
群屈折率の高精度測定法Info
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- JPS5887447A JPS5887447A JP18659981A JP18659981A JPS5887447A JP S5887447 A JPS5887447 A JP S5887447A JP 18659981 A JP18659981 A JP 18659981A JP 18659981 A JP18659981 A JP 18659981A JP S5887447 A JPS5887447 A JP S5887447A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、詳層折率を高精度に欄定する方法に、＊する
もＯである。
もＯである。
１ｉＩｌ＊度な干渉針−の場合、一般に空気の位相屈折
率が必要であるが、２腋長の合成波長による干渉針掬の
場合、以下に詳述するように＊ｍ折率が必要である。こ
の群層折率は、現在、 ｓｍｒｉ−などにおいても不可
欠なものであ参％従うて、このＩＰ屈折率の値を高精度
に糊定可能とすること（二は技術的に大きな意義がある
。
率が必要であるが、２腋長の合成波長による干渉針掬の
場合、以下に詳述するように＊ｍ折率が必要である。こ
の群層折率は、現在、 ｓｍｒｉ−などにおいても不可
欠なものであ参％従うて、このＩＰ屈折率の値を高精度
に糊定可能とすること（二は技術的に大きな意義がある
。
本発明は、このような群屈折率を極めて簡単な手段によ
り高精度に欄定する方法を提供しようとする４のであり
、波長λｌとそれよりも少し小さい波長λ２の光束をそ
れらの光軸をそろえて干渉針に入射し、両光束による干
渉縞を同一検出器で同時化検出し、その検出器出力に基
づいて群屈折率を求めることを特徴とするものである。
り高精度に欄定する方法を提供しようとする４のであり
、波長λｌとそれよりも少し小さい波長λ２の光束をそ
れらの光軸をそろえて干渉針に入射し、両光束による干
渉縞を同一検出器で同時化検出し、その検出器出力に基
づいて群屈折率を求めることを特徴とするものである。
以下に本発明の方法Ｃ二ついてさらに詳細に説明する。
２光束干渉針において、波長λ１とそれよりも少撃小さ
い波長λ雪の光束の強度干渉仁よる干渉縞を−じ検出器
で同時に検出すると、モアレ縞的にλ１とλ２との合成
波長 λＳ−λ１λ２／（λ、−λ２） １：対応する正弦状の干渉縞信号が生じる。
い波長λ雪の光束の強度干渉仁よる干渉縞を−じ検出器
で同時に検出すると、モアレ縞的にλ１とλ２との合成
波長 λＳ−λ１λ２／（λ、−λ２） １：対応する正弦状の干渉縞信号が生じる。
この合成波長λＩによる干渉縞は、分散特性を持つ友透
過媒質中において１位相屈折率ではなく、群屈折率によ
りて規定される。
過媒質中において１位相屈折率ではなく、群屈折率によ
りて規定される。
即ち、媒質中における合成液長−は、町、亀３及びｎｌ
をそれぞれ液長λｈ２雪、及び合成液長４Ｃ二ついての
屈折率としたと自。
をそれぞれ液長λｈ２雪、及び合成液長４Ｃ二ついての
屈折率としたと自。
て−ｉ
４二よって与えられ、ここでλ茸がλ１よ参少しだけ７
１％さいことから、 λ１＝λ、十δλ 町二ζ−ａル と置くと。
１％さいことから、 λ１＝λ、十δλ 町二ζ−ａル と置くと。
となり、従つて―記屈折率Ｉ＆ＩＦｉ、霞７ ” ａｘ
十λ：（−） δλ によって与えられ、この式の右辺は群屈折率そのもＯで
ある。従って合成液長λ１１：ついての媒質中における
屈折率が（λ１＋λ意）／２の＃！長における群屈折率
によって規定されることがわかる。
十λ：（−） δλ によって与えられ、この式の右辺は群屈折率そのもＯで
ある。従って合成液長λ１１：ついての媒質中における
屈折率が（λ１＋λ意）／２の＃！長における群屈折率
によって規定されることがわかる。
第１図は上述した原理に基づいて空気の鮮屈折率を＃ｊ
定する干渉針の構成を示すもので、゛波長λｌのレーザ
光１１１１及び波長λ意のレーザ光源２を備え、これら
の光源からのレーザ光は／・−７ミ２−等か’ｂなるビ
ーム拠金ＩＩ３において混合される。上記レーザ光源１
．２としては１例えば０．６３μＩＩ Ｈａ −Ｎ−レ
ーザと０．６１ ＃ＩＩＨ１−Ｎ＃ Ｌ／−ザを用い、
あるいは０．５１μｍＡｒイオンレーザと０．４９μ罵
Ａｙイオンレーザな用いることができ、さらに色素レー
ザなどの２波長一時発振レーザな用いることもできる。
定する干渉針の構成を示すもので、゛波長λｌのレーザ
光１１１１及び波長λ意のレーザ光源２を備え、これら
の光源からのレーザ光は／・−７ミ２−等か’ｂなるビ
ーム拠金ＩＩ３において混合される。上記レーザ光源１
．２としては１例えば０．６３μＩＩ Ｈａ −Ｎ−レ
ーザと０．６１ ＃ＩＩＨ１−Ｎ＃ Ｌ／−ザを用い、
あるいは０．５１μｍＡｒイオンレーザと０．４９μ罵
Ａｙイオンレーザな用いることができ、さらに色素レー
ザなどの２波長一時発振レーザな用いることもできる。
これらの光源からのレーザ光は、光軸をそろえて干渉針
感二人射され、即ちコリメータ４ｔｔ経て／・−７ミラ
ー等からなるビー五分割儀５に投射され、ここで参照鏡
６に向う反射光と反射鏡７に至る透過光に分割される。
感二人射され、即ちコリメータ４ｔｔ経て／・−７ミラ
ー等からなるビー五分割儀５に投射され、ここで参照鏡
６に向う反射光と反射鏡７に至る透過光に分割される。
分割され九一方の光路即ちビーム分割器５と反射鏡７と
の間には、空気についての絢定を行うために真空ポンプ
８（：ＩＩＩ！続した真空セル９を配設しているが、一
般的にＦｉ鈎定しようとする試料が配設され、光束の一
部がこの試料１中を透過する。参照鏡６及び反射鏡７か
らの反射）木はそれぞれもとの光路を戻ってビーム分割
＠５に入や、このビーム分割６１５を透過または反射し
て光軸が一致し、集光レンズ１Ｇで集光される。
の間には、空気についての絢定を行うために真空ポンプ
８（：ＩＩＩ！続した真空セル９を配設しているが、一
般的にＦｉ鈎定しようとする試料が配設され、光束の一
部がこの試料１中を透過する。参照鏡６及び反射鏡７か
らの反射）木はそれぞれもとの光路を戻ってビーム分割
＠５に入や、このビーム分割６１５を透過または反射し
て光軸が一致し、集光レンズ１Ｇで集光される。
このようにして、波長λ１と２３０光束による各干渉が
生じ、真空セル９を透過し九光束による干渉縞は反射鏡
１１で反射して検出器１２によ）検出され、真空セル９
を透過しない光束による干渉ｉｉは検出器１３により検
出される。
生じ、真空セル９を透過し九光束による干渉縞は反射鏡
１１で反射して検出器１２によ）検出され、真空セル９
を透過しない光束による干渉ｉｉは検出器１３により検
出される。
波長λ！及びλ寞の光束Ｃ二よる干渉縞をそれぞれ同時
に検出した各検出ｌ１１２ 、１３０出力は、増幅１１
１４゜１５．２乗算器１６ 、１７、−一部（スフイル
タ１８ 、１９を通す仁とによりコントラストを強めて
レコーダ加に送られ、参照鏡を掃引装置２１で掃引する
こと（二よって生じる干渉縞信号Ｓがレコーダ２０仁記
帰される。そして、これらの干渉縞の位相差から空気の
群鳳折率を＾ｌ１１１直に求めることができる。
に検出した各検出ｌ１１２ 、１３０出力は、増幅１１
１４゜１５．２乗算器１６ 、１７、−一部（スフイル
タ１８ 、１９を通す仁とによりコントラストを強めて
レコーダ加に送られ、参照鏡を掃引装置２１で掃引する
こと（二よって生じる干渉縞信号Ｓがレコーダ２０仁記
帰される。そして、これらの干渉縞の位相差から空気の
群鳳折率を＾ｌ１１１直に求めることができる。
以上に詳述したところから明らかなように、本発明によ
れば、極めて簡単な手Ｒ（二よって容易（二群屈折率を
欄定することができ、しか４光技干渉ｒ［用しているの
でその評肩折率を極めて高精度４二求めることができる
。
れば、極めて簡単な手Ｒ（二よって容易（二群屈折率を
欄定することができ、しか４光技干渉ｒ［用しているの
でその評肩折率を極めて高精度４二求めることができる
。
１′４、図面の簡単な説明
第１図は本発明の実施に用いる装置の構成図である。
１２ 、１３６・会検出器。
Claims (1)
- １、 波長λｌとそれよりも少し小さい波長λ鵞の光束
をそれらの光軸をそろえて干渉針に入射し、両大束によ
る干渉縞を同一検出器で一時４：検出し、東の検出器出
力櫨二島づいてＩＩＦ屈折率を求めること４４１黴とす
る榔履折率０ｊｌＩｌｉ１１直欄定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18659981A JPS5887447A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 群屈折率の高精度測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18659981A JPS5887447A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 群屈折率の高精度測定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887447A true JPS5887447A (ja) | 1983-05-25 |
| JPS6338091B2 JPS6338091B2 (ja) | 1988-07-28 |
Family
ID=16191372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18659981A Granted JPS5887447A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 群屈折率の高精度測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887447A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134543A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分散測定方法およびその装置 |
| CN106248623A (zh) * | 2015-06-10 | 2016-12-21 | 佳能株式会社 | 折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法 |
| CN108318420A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-07-24 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种用于高精度气体折射率测量的光路结构 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4051443B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2008-02-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光学材料の群屈折率精密計測方法及び装置 |
| JP4203831B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2009-01-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光学材料の群屈折率精密計測方法 |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP18659981A patent/JPS5887447A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134543A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分散測定方法およびその装置 |
| CN106248623A (zh) * | 2015-06-10 | 2016-12-21 | 佳能株式会社 | 折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法 |
| CN108318420A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-07-24 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种用于高精度气体折射率测量的光路结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338091B2 (ja) | 1988-07-28 |
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