JP4203831B2 - 光学材料の群屈折率精密計測方法 - Google Patents
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Description
の式により群屈折率を求めることを特徴とする。
光路106:D−LS+2d (13)
光路107:D−LS+2ngLs+2d (14)
光路108:D+LS+2Δ+2d (15)
光路109:D−LS−2d (16)
光路110:D−LS−2Δ−2LC+2ngLC−2d (17)
光路111:D−LS−2Δ−2LC−2d (18)
となる。光路106を通った光と光路111を通った光が干渉するときの、被測定試料の中心位置をd1とすると、式(13)と式(18)が等しくなるときなので、
d1=(−Δ−LC)/2 (19)
となる。光路107を通った光と光路110を通った光が干渉するときの、被測定試料の中心位置をd2とすると、式(14)と式(17)が等しくなるときなので、
d2={−Δ−LC−ng(LS−LC)}/2 (20)
となる。光路108を通った光と光路109を通った光が干渉するときの、被測定試料の中心位置をd3とすると、式(15)と式(16)が等しくなるときなので、
d3=(−Δ−LS)/2 (21)
となる。式(19)から式(20)を引くと、
d1−d2=ng(LS−LC)/2 (22)
となる。式(19)から式(21)を引くと、
d1−d3=(LS−LC)/2 (23)
となる。式(22)を式(23)で割ると、
(d1−d2)/(d1−d3)=ng (24)
となり、群屈折率ngが求められる。
102 光検出器
103 ビームスプリッター
104 被測定試料
105 補償板
106 光路
107 光路
108 光路
109 光路
110 光路
111 光路
Claims (3)
- 光源に低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計に対して、群屈折率を測定したい被測定光学材料と1枚の補償板を用い、被測定光学材料と1枚の補償板を一体として光軸方向に走査しつつ、低コヒーレンス干渉縞の発生する位置を測定して、群屈折率を計算することを特徴とする光学材料の群屈折率精密計測方法。
- ビームスプリッタと第1鏡と第2鏡により三角光路干渉計を構成し、入射した低コヒーレンス光を前記ビームスプリッタで2分し、互いに逆向きに前記両鏡で反射する光を同一軸線でビームスプリッタから光検出器に導き、
前記第1鏡と第2鏡間の光路に、被測定試料と、該被測定試料と同一材質からなる補償板とを平行に、且つ一体的に光軸方向に移動可能に配置し、
被測定試料の表面で反射する光の光路と補償板の裏面で反射する光の光路とが一致するときの被測定試料の中心位置d1を計測し、
被測定試料を表面側から通過しその裏面で反射する光の光路と、補償板の裏面から通過しその表面で反射する光の光路とが一致するときの被測定試料の中心位置d2を計測し、
被測定試料を通過せず補償板の表面で反射した光の光路と、補償板を通過せず被測定試料の裏面で反射した光の光路とが一致するときの被測定試料の中心位置d3を計測し、
群屈折率ng=(d1−d2)/(d1−d3)
の式により群屈折率を求めることを特徴とする光学材料の群屈折率精密計測方法。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計と、
前記三角光路干渉計に組み込んだ群屈折率を測定したい被測定光学材料、及び1枚の補償板とからなり、
被測定光学材料と1枚の補償板を一体として光軸方向に走査しつつ、低コヒーレンス干渉縞の発生する位置を測定して、群屈折率を計算することを特徴とする光学材料の群屈折率精密計測装置。
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