JP4810693B2 - 光波干渉測定装置 - Google Patents
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Description
前記光源部からの前記低可干渉光を平面波からなる照明用光束に変換して被検体に照射する照射部と、
前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上に配置され、該照明用光束の一部を透過しその余を反射する第1の光束分離基準平面を有する第1のハーフミラーと、
前記照明用光束の一部を透過しその余を反射する第2の光束分離基準平面を有し、前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上において、前記第2の光束分離基準平面が前記第1の光束分離基準平面と略平行となるように、前記第1のハーフミラーと前記被検体との間に配置される第2のハーフミラーと、
前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーおよび前記第2のハーフミラーを透過して前記被検体に照射された前記照明用光束のうち、前記被検体側から反射され前記第2のハーフミラーおよび前記第1のハーフミラーを透過する被検光の光路長が、前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーを透過した前記照明用光束のうち、前記第2の光束分離基準平面、前記第1の光束分離基準平面、および前記第2の光束分離基準平面で順次反射され、さらに前記第1のハーフミラーを透過する参照光の光路長と略一致するように、前記第1のハーフミラーと前記第2のハーフミラーとの間の相対的な距離を調整する光路長調整部と、
前記被検光と前記参照光との干渉により得られる干渉縞画像を撮像する干渉縞撮像部と、を備えてなることを特徴とする。
r2・r1・r2≒t2・r3・t2 …… (1)
ただし、r1=1−t1、r2=1−t2とする。
r2≒0.5 …… (2)
r1≒r3 …… (3)
r2・r1・r2≒t2・r3・t2 …… (1)
r2≒0.5 …… (2)
r1≒r3 …… (3)
n1・D1+L1≒n2・D2+L2 …… (4)
測定に先立って、上記第1および第2のハーフミラー2,3のアライメント調整を行う。このアライメント調整は、第1のハーフミラー2に関しては、まず、第1の光束分離基準平面21から反射された光により形成されるスポット像を上記撮像カメラ57により撮像し、このスポット像の画像平面上での位置を上記コンピュータ61により求める。次に、スポット像が画像平面の中心位置(光軸位置)に移動するように図示せぬ2軸傾きステージを用いて第1のハーフミラー2の傾きを調整し、第1の光束分離基準平面21が光軸に対して垂直となるようにする。第2のハーフミラー3に関しては、同様に、まず、第2の光束分離基準平面31から反射された光により形成されるスポット像を上記撮像カメラ57により撮像し、このスポット像の画像平面上での位置を上記コンピュータ61により求める。次に、スポット像が画像平面の中心位置(光軸位置)に移動するように図示せぬ2軸傾きステージを用いて第2のハーフミラー3の傾きを調整し、第2の光束分離基準平面31が光軸に対して垂直となるようにする。
2 第1のハーフミラー
3 第2のハーフミラー
4 光路長調整部
5 撮像部
5A 干渉縞撮像部
5B アライメントスポット撮像部
6 画像解析制御部
7 被検体
11 光源部
12,15,51 コリメータレンズ
13 収束レンズ
14,52 ビームスプリッタ
21 第1の光束分離基準平面
22 (第1のハーフミラーの)裏面
31 第2の光束分離基準平面
32 (第2のハーフミラーの)裏面
53,56 結像レンズ
54,57 撮像カメラ
55,58 撮像素子
61 コンピュータ
62 表示装置
63 入力装置
71 (被検体の)表面(被検面)
72 (被検体の)裏面
n1 第1のハーフミラーの屈折率
n2 第2のハーフミラーの屈折率
D1 第1のハーフミラーの厚み
D2 第2のハーフミラーの厚み
L1 第1のハーフミラーと第2のハーフミラーとの距離
L2 第2のハーフミラーと被検体との距離
Claims (3)
- 可干渉距離が短い低可干渉光を出力する光源部を備えた光波干渉測定装置であって、
前記光源部からの前記低可干渉光を平面波からなる照明用光束に変換して被検体に照射する照射部と、
前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上に配置され、該照明用光束の一部を透過しその余を反射する第1の光束分離基準平面を有する第1のハーフミラーと、
前記照明用光束の一部を透過しその余を反射する第2の光束分離基準平面を有し、前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上において、前記第2の光束分離基準平面が前記第1の光束分離基準平面と略平行となるように、前記第1のハーフミラーと前記被検体との間に配置される第2のハーフミラーと、
前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーおよび前記第2のハーフミラーを透過して前記被検体に照射された前記照明用光束のうち、前記被検体側から反射され前記第2のハーフミラーおよび前記第1のハーフミラーを透過する被検光の光路長が、前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーを透過した前記照明用光束のうち、前記第2の光束分離基準平面、前記第1の光束分離基準平面、および前記第2の光束分離基準平面で順次反射され、さらに前記第1のハーフミラーを透過する参照光の光路長と略一致するように、前記第1のハーフミラーと前記第2のハーフミラーとの間の相対的な距離を調整する光路長調整部と、
前記被検光と前記参照光との干渉により得られる干渉縞画像を撮像する干渉縞撮像部と、
を備えてなることを特徴とする光波干渉測定装置。 - 前記照明用光束に対して、前記第1の光束分離基準平面の透過率をt1、反射率をr1、前記第2の光束分離基準平面の透過率をt2、反射率をr2、前記被検体の被検面の反射率をr3とするとき、下式(1)を満足するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の光波干渉測定装置。
r2・r1・r2≒t2・r3・t2 …… (1)
ただし、r1=1−t1、r2=1−t2とする。 - 下式(2)、(3)を満足するように構成されていることを特徴とする請求項2記載の光波干渉測定装置。
r2≒0.5 …… (2)
r1≒r3 …… (3)
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