JP5574226B2 - 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
11 光源
12 照明用ハーフミラー
13 検出器
20,30,40,50 干渉対物レンズ
21,51 対物レンズ系
22,52 試料
23,43,53 光路分割プリズム(光路分割部材)
24 参照鏡(裏面反射鏡)
24a 基板部材
24b 反射膜
25,35 光路差補正部材
43a 試料側部材(光路差補正部材)
43b 参照鏡側部材
54 参照鏡(表面反射鏡)
Claims (4)
- 対物レンズ系と、前記対物レンズ系より試料側に配置され、前記対物レンズ系を経て入射した白色光源からの光を、互いの光軸が略垂直になるように分割する光路分割部材と、前記光路分割部材によって分割された一方の光路中に配置される参照鏡とを有し、
前記光路分割部材によって分割された他方の光路中に位置する前記試料からの反射光と、前記参照鏡からの反射光とを干渉させて干渉縞を生成する干渉対物レンズにおいて、
前記参照鏡は、ガラス材料からなる透明の基板部材の裏面に反射膜が形成された裏面反射鏡であり、
前記光路分割部材より前記試料側に、前記裏面反射鏡の前記基板部材によって生じた光路差を補正する光路差補正部材を有し、
前記光路差補正部材は、前記基板部材と同一のガラス材料により形成され且つ同一の光路長を有することを特徴とする干渉対物レンズ。 - 前記光路差補正部材は、前記光路分割部材に接合して配置されるか、もしくは前記光路分割部材から間隔をあけて配置されることを特徴とする請求項1に記載の干渉対物レンズ。
- 対物レンズ系と、前記対物レンズ系より試料側に配置され、前記対物レンズ系を経て入射した白色光源からの光を、互いの光軸が略垂直になるように分割する光路分割部材と、前記光路分割部材によって分割された一方の光路中に配置される参照鏡とを有し、
前記光路分割部材によって分割された他方の光路中に位置する前記試料からの反射光と、前記参照鏡からの反射光とを干渉させて干渉縞を生成する干渉対物レンズにおいて、
前記参照鏡は、ガラス材料からなる透明の基板部材の裏面に反射膜が形成された裏面反射鏡であり、
前記光路分割部材は、前記基板部材と同一のガラス材料により形成された試料側部材と参照鏡側部材とからなり、
前記試料側部材は、その光路長が前記裏面反射鏡の前記基板部材の光路長と前記参照鏡側部材の光路長との総和に相当するように形成されていることを特徴とする干渉対物レンズ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の干渉対物レンズを有する顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010066168A JP5574226B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011197534A JP2011197534A (ja) | 2011-10-06 |
JP2011197534A5 JP2011197534A5 (ja) | 2013-04-25 |
JP5574226B2 true JP5574226B2 (ja) | 2014-08-20 |
Family
ID=44875783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010066168A Active JP5574226B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5574226B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5786270B2 (ja) * | 2013-03-06 | 2015-09-30 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
WO2016084239A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8304213A (nl) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Philips Nv | Enkelvoudige lens met een asferisch oppervlak. |
JPH0524163Y2 (ja) * | 1987-08-24 | 1993-06-21 | ||
JP2520950Y2 (ja) * | 1988-03-11 | 1996-12-18 | 株式会社ニコン | 二光束干渉用対物レンズ |
JPH05288992A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-05 | Laser Tec Kk | 透過型顕微鏡 |
JP3210111B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
JP3587562B2 (ja) * | 1994-07-18 | 2004-11-10 | オリンパス株式会社 | 干渉顕微鏡 |
JP3672951B2 (ja) * | 1994-12-13 | 2005-07-20 | オリンパス株式会社 | 画像表示装置 |
JP2009015180A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Nikon Corp | 干渉対物レンズ |
JP2009236655A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Nikon Corp | 変位検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
-
2010
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011197534A (ja) | 2011-10-06 |
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