JPH0524163Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、干渉対物レンズ装置の改良に関する
ものである。

［考案の概要］ 本考案は、対物レンズと被検出体との間にプリ
ズムを配置してなる従来の干渉対物レンズ装置に
おいて、前記プリズムに代えてハーフミラーを配
置することにより、装置の小型化を図つたもので
ある。

［従来の技術］ 第３図は従来の干渉対物レンズ装置の構成を示
したものである。同図において、１は対物レン
ズ、２は対物レンズと被検出体の間に配置された
プリズム、３は被検出体（ワーク）、４は光軸に
対し45°の傾斜角度で配置されたハーフミラー、
６はシヤツターである。

［考案が解決しようとする問題点］ 上記の干渉対物レンズ装置においては、対物レ
ンズ１と被検出体３の間に厚いプリズム２が配置
されているので、装置の小型化を図ることが難し
い。また、厚いプリズム２を使用しているので、
球面収差等の光学的な収差が劣化するという欠点
もある。

［問題点を解決するための手段］ 本考案は、被検出体と対物レンズの間に配置し
たハーフミラーと、そのハーフミラーに対して上
記被検出体と対称位置に配置した参照ミラーと、
参照ミラーの上記ハーフミラー側に参照ミラーを
覆うように挿脱自在に臨ませたシヤツターとから
構成することにより、上記問題点の解決を図つた
ものである。

［作用］ 上記構成の干渉対物レンズ装置においては、対
物レンズの上方からの照明光は、対物レンズで収
束され、被検出体上に集中して照明され、その被
検出体からの反射光束が対物レンズを通り、接眼
レンズの焦点に実像を結ぶことにより、被検出体
が拡大結像される。さらに、ハーフミラーにより
参照ミラーも被検出体と同様に拡大結像されるこ
とにより、被検出体からの光束と参照ミラーから
の光束が干渉して接眼レンズの焦点には干渉縞が
発生し、この干渉縞によつて、被検出体の平面度
及び取付姿勢すなわち取付時の傾き等を測定する
ことができる。

なお、シヤツターによつて、参照光、すなわ
ち、参照ミラーからの光束を遮蔽することによ
り、干渉縞が消え、被検出体のみが拡大結像され
る。

［実施例］ 第１図及び第２図は、本考案の一実施例を示し
たもので、１０は対物レンズ、１１は被検出体、
１２は対物レンズと被検出体との間に配置された
ハーフミラー、１３は前記ハーフミラー１２に対
して前記被検出体と対称位置に配置した参照ミラ
ー、１４は回転又は移動自在にしたシヤツター、
１５は透明な平面ガラスによる照明ミラー支持
体、Ｌは光束である。参照ミラー１３は、ほぼ70
％の反射率を有する反射ミラーが用いられている
が、異なる反射率を有する参照ミラーを用いるこ
ともできる。

上記構成の干渉対物レンズ装置において、対物
レンズ１０の上方から照射される照明光は対物レ
ンズ１０によつて収束され、その照明光の一部は
ハーフミラー１２を通過し、被検出体１１上に集
中して照明され、前記被検出体１１の反射光束は
ハーフミラー１２から対物レンズ１０を通り、接
眼レンズ（図示していない）の焦点に実像を結
ぶ。一方、前記対物レンズ１０を通過した照明光
の一部はハーフミラー１２によつて反射して参照
ミラー１３に達し、参照ミラー１３による反射光
束は再び前記ハーフミラー１２で反射して対物レ
ンズ１０を通り、接眼レンズの焦点に結像する。
このため、前記被検出体１１からの光束と参照ミ
ラー１３からの光束が干渉して、接眼レンズの焦
点に、干渉縞を発生させる。この干渉縞によつ
て、被検出体１１の平面度や取付姿勢すなわち取
付時の傾き等を検出することができるが、干渉縞
を発生させるためには、ハーフミラー１４に対し
て、被検出体１１と参照ミラー１３をミクロンオ
ーダの位置合わせにより、対称の位置に配置する
ことが必要となる。

上記構成の対物レンズは、被検出体の平面度等
の検出用途以外に、通常のレンズと同じように被
検出体の観察用として用いることもできる。その
場合、被検出体の１１を顕微鏡のように、かなり
の倍率に拡大することとなるため、干渉縞を発生
させた状態のままで被検出体の１１の観察を行う
ことは困難である。そこで、この干渉縞を消すた
めには、前記参照ミラー１３の前記ハーフミラー
１２側をシヤツター１４により覆えばよい。その
ため前記シヤツター１４は前記参照ミラー１３の
の前記ハーフミラー１２側に、回転又は移動が自
在に行えるように配置されている。

［考案の効果］ 以上に述べたように、本考案によれば、被検出
体と対物レンズの間に配置したハーフミラーと、
そのハーフミラーに対して上記被検出体と対称位
置に配置した参照ミラーと、参照ミラーの上記ハ
ーフミラー側に参照ミラーを覆うように挿脱自在
に臨ませたシヤツターとからなる構成に特徴を有
するので、プリズムを使用している従来の干渉対
物レンズ装置に比べて、大幅な小型化を図ること
ができる上、球面収差等の光学的な収差の劣化を
防止でき、かつ、被検出体の平面度等の検出用途
以外に、通常のレンズと同じように被検出体の観
察用として用いることのできる干渉対物レンズ装
置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す干渉対物レン
ズ装置の構成図、第２図はシヤツター部分の平面
図、第３図は従来の干渉対物レンズ装置の構成図
を示す。 １０……対物レンズ、１１……被検出体、１２
……ハーフミラー、１３……参照ミラー、１４…
…シヤツター、１５……参照ミラーの支持体、Ｌ
……光束。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被検出体と対物レンズの間に配置したハーフミ
   ラーと、そのハーフミラーに対して上記被検出体
   と対称位置に配置した参照ミラーと、参照ミラー
   の上記ハーフミラー側に参照ミラーを覆うように
   挿脱自在に臨ませたシヤツターとからなる干渉対
   物レンズ装置。