JPS6433009U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6433009U JPS6433009U JP12832487U JP12832487U JPS6433009U JP S6433009 U JPS6433009 U JP S6433009U JP 12832487 U JP12832487 U JP 12832487U JP 12832487 U JP12832487 U JP 12832487U JP S6433009 U JPS6433009 U JP S6433009U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- reference mirror
- objective lens
- detected
- half mirror
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す干渉対物レン
ズ装置の構成図、第２図はシヤツター部分の平面
図、第３図は従来の干渉対物レンズ装置の構成図
を示す。 １０……対物レンズ、１１……被検出体、１２
……ハーフミラー、１３……参照ミラー、１４…
…シヤツター、１５……参照ミラーの支持体、Ｌ
……光束。
ズ装置の構成図、第２図はシヤツター部分の平面
図、第３図は従来の干渉対物レンズ装置の構成図
を示す。 １０……対物レンズ、１１……被検出体、１２
……ハーフミラー、１３……参照ミラー、１４…
…シヤツター、１５……参照ミラーの支持体、Ｌ
……光束。
Claims (1)
- 被検出体と対物レンズの間に配置したハーフミ
ラーと、そのハーフミラーに対して上記被検出体
と対称位置に配置した参照ミラーと、参照ミラー
の上記ハーフミラー側に参照ミラーを覆うように
挿脱自在に臨ませたシヤツターとからなる干渉対
物レンズ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12832487U JPH0524163Y2 (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12832487U JPH0524163Y2 (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433009U true JPS6433009U (ja) | 1989-03-01 |
| JPH0524163Y2 JPH0524163Y2 (ja) | 1993-06-21 |
Family
ID=31381557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12832487U Expired - Lifetime JPH0524163Y2 (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0524163Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197534A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nikon Corp | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
-
1987
- 1987-08-24 JP JP12832487U patent/JPH0524163Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197534A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nikon Corp | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0524163Y2 (ja) | 1993-06-21 |