JP2011197534A - 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対物レンズ系21と、対物レンズ系21と試料22との間の光路中に配置された光路分割プリズム23と、光路分割プリズム23によって分割された一方の分割光路中に配置される参照鏡24とを有し、光路分割プリズム23によって分割された他方の分割光路中に配置される試料22からの反射光と、参照鏡24からの反射光とを干渉させる干渉対物レンズ20において、参照鏡24は、透明の基板部材24aの裏面に反射膜24bが形成された裏面反射鏡であり、試料22と光路分割プリズム23との間に、裏面反射鏡の基板部材24aによって生じた光路差を補正する光路差補正部材25を有する。
【選択図】 図1
Description
11 光源
12 照明用ハーフミラー
13 検出器
20,30,40,50 干渉対物レンズ
21,51 対物レンズ系
22,52 試料
23,43,53 光路分割プリズム(光路分割部材)
24 参照鏡(裏面反射鏡)
24a 基板部材
24b 反射膜
25,35 光路差補正部材
43a 試料側部材(光路差補正部材)
43b 参照鏡側部材
54 参照鏡(表面反射鏡)
Claims (6)
- 対物レンズ系と、前記対物レンズ系と試料との間の光路中に配置された光路分割部材と、前記光路分割部材によって分割された一方の分割光路中に配置される参照鏡とを有し、
前記光路分割部材によって分割された他方の分割光路中に配置される前記試料からの反射光と、前記参照鏡からの反射光とを干渉させる干渉対物レンズにおいて、
前記参照鏡は、透明の基板部材の裏面に反射膜が形成された裏面反射鏡であり、
前記試料と前記光路分割部材との間に、前記裏面反射鏡の前記基板部材によって生じた光路差を補正する光路差補正部材を有することを特徴とする干渉対物レンズ。 - 前記光路差補正部材は、前記基板部材と同一のガラス材料で形成され且つ同一の光路長を有することを特徴とする請求項1に記載の干渉対物レンズ。
- 前記光路差補正部材は、前記光路分割部材に接合して配置されるか、もしくは前記光路分割部材から間隔をあけて配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の干渉対物レンズ。
- 前記光路分割部材は、前記試料側部材と前記参照鏡側部材とからなり、
前記試料側構成部材は、前記光路差補正部材であり、その光路長が前記裏面反射鏡の前記基板部材の光路長と前記参照鏡側部材の光路長との総和に相当するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の干渉対物レンズ。 - 前記光路分割部材は、前記裏面反射鏡の前記基板部材と同一のガラス材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の干渉対物レンズ。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の干渉対物レンズを有する顕微鏡装置。
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