JPH04350818A - 共焦点光学系 - Google Patents
共焦点光学系Info
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- JPH04350818A JPH04350818A JP3126054A JP12605491A JPH04350818A JP H04350818 A JPH04350818 A JP H04350818A JP 3126054 A JP3126054 A JP 3126054A JP 12605491 A JP12605491 A JP 12605491A JP H04350818 A JPH04350818 A JP H04350818A
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- Japan
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- lens
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 40
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
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- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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-
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- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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- G02B21/0048—Scanning details, e.g. scanning stages scanning mirrors, e.g. rotating or galvanomirrors, MEMS mirrors
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- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は共焦点光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】共焦点光学系は、従来の顕微鏡に比べて
結像特性に優れ、最近注目されている走査型レーザー顕
微鏡（ＳＬＭ）等において利用されている。共焦点光学
系の一例を図４に示す。光源１２から射出されたレーザ
ー光はコリメートレンズ１４により平行光束となり、偏
光ビームスプリッター１６で反射された後、対物レンズ
２０により試料面２２に集光される。試料面２２で反射
された光は対物レンズ２０に入射し再び平行光束となり
偏光ビームスプリッター１６に入射する。この光は、λ
／４板１８を２回通過することにより偏光方向が９０°
回転されるため、偏光ビームスプリッター１６を通過し
、結像レンズ２４に入射する。結像レンズ２４により集
光された光は、結像レンズ２４の焦点面に配置された遮
光板３０のピンホール３２を通過し、光電検出素子３４
で受光される。対物レンズ２０の合焦位置にある試料面
２２からの光は、実線で示した光路に沿って進み、ピン
ホール３２を通過できるが、非合焦位置にある試料面（
例えば２３で示される）からの光は、破線で示した光路
に沿って進むため、ピンホール３２を通過できない。 従って、検出器３４により得られる画像はコントラスト
のある解像度の高いものとなる。また、このように特定
の試料面の像を得られる光学系は、光軸方向に分解能を
有することを意味し、いわゆるオプチカルスライスを行
なうことができる。
結像特性に優れ、最近注目されている走査型レーザー顕
微鏡（ＳＬＭ）等において利用されている。共焦点光学
系の一例を図４に示す。光源１２から射出されたレーザ
ー光はコリメートレンズ１４により平行光束となり、偏
光ビームスプリッター１６で反射された後、対物レンズ
２０により試料面２２に集光される。試料面２２で反射
された光は対物レンズ２０に入射し再び平行光束となり
偏光ビームスプリッター１６に入射する。この光は、λ
／４板１８を２回通過することにより偏光方向が９０°
回転されるため、偏光ビームスプリッター１６を通過し
、結像レンズ２４に入射する。結像レンズ２４により集
光された光は、結像レンズ２４の焦点面に配置された遮
光板３０のピンホール３２を通過し、光電検出素子３４
で受光される。対物レンズ２０の合焦位置にある試料面
２２からの光は、実線で示した光路に沿って進み、ピン
ホール３２を通過できるが、非合焦位置にある試料面（
例えば２３で示される）からの光は、破線で示した光路
に沿って進むため、ピンホール３２を通過できない。 従って、検出器３４により得られる画像はコントラスト
のある解像度の高いものとなる。また、このように特定
の試料面の像を得られる光学系は、光軸方向に分解能を
有することを意味し、いわゆるオプチカルスライスを行
なうことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような共焦点光学
系では、一般に結像レンズは１枚の凸レンズで構成され
る。この結像レンズ２４に焦点距離の短いものを用いた
場合、図５に示すように、ビームウエストの径Ｗ２ は
数十μｍと非常に小さくなる。共焦点光学系では、ビー
ムウエストの径に見合った径のピンホールを使用する必
要があるため、ビームウエストの径が細くなるとピンホ
ールの光学的な位置調整が困難になるという不都合があ
る。また逆に結像レンズ２４に焦点距離の長いものを用
いた場合は、図６に示すように、ビームウエストの径Ｗ
３ は大きくなる。従って、ピンホールもその径が大き
いものが使用できるため光学的な調整は容易になる。し
かしその反面、結像レンズ２４の焦点距離が長いので、
装置が大型になるという不都合がある。
系では、一般に結像レンズは１枚の凸レンズで構成され
る。この結像レンズ２４に焦点距離の短いものを用いた
場合、図５に示すように、ビームウエストの径Ｗ２ は
数十μｍと非常に小さくなる。共焦点光学系では、ビー
ムウエストの径に見合った径のピンホールを使用する必
要があるため、ビームウエストの径が細くなるとピンホ
ールの光学的な位置調整が困難になるという不都合があ
る。また逆に結像レンズ２４に焦点距離の長いものを用
いた場合は、図６に示すように、ビームウエストの径Ｗ
３ は大きくなる。従って、ピンホールもその径が大き
いものが使用できるため光学的な調整は容易になる。し
かしその反面、結像レンズ２４の焦点距離が長いので、
装置が大型になるという不都合がある。
【０００４】本発明は、このような事情を考慮してなさ
れたもので、ピンホールの位置調整が容易かつ小型な共
焦点光学系を提供することを目的とする。
れたもので、ピンホールの位置調整が容易かつ小型な共
焦点光学系を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の共焦点光学系は
、光源と、光源からの光を試料に集束させる対物レンズ
と、その光の集束点を試料に対して相対的に移動させる
手段と、試料からの光を集束させる結像光学素子と、こ
の集束光を選択的に通過させるピンホールと、ピンホー
ルを通過した光を受光する光電検出素子とを備え、結像
光学素子が試料側に配置された凸レンズと光電検出素子
側に配置された凹レンズとを有していることを特徴とす
る。
、光源と、光源からの光を試料に集束させる対物レンズ
と、その光の集束点を試料に対して相対的に移動させる
手段と、試料からの光を集束させる結像光学素子と、こ
の集束光を選択的に通過させるピンホールと、ピンホー
ルを通過した光を受光する光電検出素子とを備え、結像
光学素子が試料側に配置された凸レンズと光電検出素子
側に配置された凹レンズとを有していることを特徴とす
る。
【０００６】
【作用】本発明の共焦点光学系では、結像光学素子が試
料側に配置された凸レンズと光電検出素子側に配置され
た凹レンズとを有している。従って、凸レンズから光の
集束点までの距離は短いが、結像光学素子の焦点距離は
実効的に長くなる。このため、この結像光学素子により
集束される光のビームウエストの径は比較的大きい。こ
れに対応して光電検出素子の手前に配置されるピンホー
ルは径の大きなものとなり、その位置調整が容易となる
。また、結像光学素子から集束点までの距離が短いので
、装置が大型になることもない。
料側に配置された凸レンズと光電検出素子側に配置され
た凹レンズとを有している。従って、凸レンズから光の
集束点までの距離は短いが、結像光学素子の焦点距離は
実効的に長くなる。このため、この結像光学素子により
集束される光のビームウエストの径は比較的大きい。こ
れに対応して光電検出素子の手前に配置されるピンホー
ルは径の大きなものとなり、その位置調整が容易となる
。また、結像光学素子から集束点までの距離が短いので
、装置が大型になることもない。
【０００７】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照しな
がら説明しよう。本発明の共焦点光学系の実施例を図１
に示す。光源１２から射出されたレーザー光はコリメー
トレンズ１４で平行光束にされた後、偏光ビームスプリ
ッター１６で反射され、対物レンズ２０により試料面２
２に集光される。試料面２２で反射された光は対物レン
ズ２０に入射し再び平行光束となり偏光ビームスプリッ
ター１６に入射する。この光は、λ／４板１８を２回通
過することにより偏光方向が９０°回転されるため、偏
光ビームスプリッター１６を通過する。偏光ビームスプ
リッター１６を通過した光は結像レンズ２４に入射して
集束される。この集束光は、遮光板３０に設けてあるピ
ンホール３２を通って光電検出素子３４に入射する。こ
の光学系において、結像レンズ２４は、光の入射側に配
置された凸レンズ２６とその後方に配置された凹レンズ
２８とで構成されている。このように構成された結像レ
ンズ２４は、いわゆるテレフォトタイプと呼ばれ、入射
光はまず凸レンズ２６により急激に集束され、光束径が
細くなったところで凹レンズ２８に入射し、集束の度合
が弱められる。この結果、結像レンズ２４の実効的な焦
点距離は長くなるが、集束点が遠のくことはない。従っ
て、集束光のビームウエストの径は、１枚の結像レンズ
を用いて同じ位置に集束させた場合に比べて太くなる。 これに応じて、遮光板３０に設けられているピンホール
３２も、その径が大きいものが使用される。これにより
、ピンホール３２の位置調整も容易に行なうことができ
る。また、結像レンズ２４からの集束点までの距離は、
一枚の結像レンズを用いた場合と同じであるから、光学
系が大型になることもない。
がら説明しよう。本発明の共焦点光学系の実施例を図１
に示す。光源１２から射出されたレーザー光はコリメー
トレンズ１４で平行光束にされた後、偏光ビームスプリ
ッター１６で反射され、対物レンズ２０により試料面２
２に集光される。試料面２２で反射された光は対物レン
ズ２０に入射し再び平行光束となり偏光ビームスプリッ
ター１６に入射する。この光は、λ／４板１８を２回通
過することにより偏光方向が９０°回転されるため、偏
光ビームスプリッター１６を通過する。偏光ビームスプ
リッター１６を通過した光は結像レンズ２４に入射して
集束される。この集束光は、遮光板３０に設けてあるピ
ンホール３２を通って光電検出素子３４に入射する。こ
の光学系において、結像レンズ２４は、光の入射側に配
置された凸レンズ２６とその後方に配置された凹レンズ
２８とで構成されている。このように構成された結像レ
ンズ２４は、いわゆるテレフォトタイプと呼ばれ、入射
光はまず凸レンズ２６により急激に集束され、光束径が
細くなったところで凹レンズ２８に入射し、集束の度合
が弱められる。この結果、結像レンズ２４の実効的な焦
点距離は長くなるが、集束点が遠のくことはない。従っ
て、集束光のビームウエストの径は、１枚の結像レンズ
を用いて同じ位置に集束させた場合に比べて太くなる。 これに応じて、遮光板３０に設けられているピンホール
３２も、その径が大きいものが使用される。これにより
、ピンホール３２の位置調整も容易に行なうことができ
る。また、結像レンズ２４からの集束点までの距離は、
一枚の結像レンズを用いた場合と同じであるから、光学
系が大型になることもない。
【０００８】図２は、図１の光学系で使用する結像レン
ズの別の構成を示す。この結像レンズは、２枚の反射鏡
で構成したいわゆる反射レンズで、中央部に開口を有す
る凹面鏡４２とこれに対向して配置された小径の凸面鏡
４４とを備えている。この結像レンズに入射した光は、
凸面鏡４４で遮られる一部を除いて凹面鏡４２に入射す
る。凹面鏡４２に入射した光はその鏡面で反射されて集
束性光束となり凸面鏡４４に入射する。凸面鏡４４に入
射した光はその鏡面で反射されると共に集束の度合が弱
められ、凹面鏡４２の開口部を通過し、その後方に集束
される。この構成の結像レンズも、上述の結像レンズと
同様、集束点までの距離を長くすることなく、実効的な
焦点距離が長くなる。従って同様の効果が得られる。
ズの別の構成を示す。この結像レンズは、２枚の反射鏡
で構成したいわゆる反射レンズで、中央部に開口を有す
る凹面鏡４２とこれに対向して配置された小径の凸面鏡
４４とを備えている。この結像レンズに入射した光は、
凸面鏡４４で遮られる一部を除いて凹面鏡４２に入射す
る。凹面鏡４２に入射した光はその鏡面で反射されて集
束性光束となり凸面鏡４４に入射する。凸面鏡４４に入
射した光はその鏡面で反射されると共に集束の度合が弱
められ、凹面鏡４２の開口部を通過し、その後方に集束
される。この構成の結像レンズも、上述の結像レンズと
同様、集束点までの距離を長くすることなく、実効的な
焦点距離が長くなる。従って同様の効果が得られる。
【０００９】図３は結像レンズのさらに別の構成を示す
。この結像レンズもまた図２の結像レンズと同様に凹面
鏡４６と凸面鏡４８とで構成されている。この結像レン
ズも、上述の結像レンズと同様、集束点までの距離を長
くすることなく、実効的な焦点距離が長くなる。
。この結像レンズもまた図２の結像レンズと同様に凹面
鏡４６と凸面鏡４８とで構成されている。この結像レン
ズも、上述の結像レンズと同様、集束点までの距離を長
くすることなく、実効的な焦点距離が長くなる。
【００１０】本発明は上述の実施例に何等限定されるも
のではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々多くの
変形が可能である。例えば実施例では反射型の光学系を
あげて説明したが、本発明が透過型の光学系にも適用で
きることはいうまでもない。
のではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々多くの
変形が可能である。例えば実施例では反射型の光学系を
あげて説明したが、本発明が透過型の光学系にも適用で
きることはいうまでもない。
【００１１】
【発明の効果】本発明の共焦点光学系では、結像光学素
子が凸レンズと凹レンズとで構成されるため、集束点ま
での距離を変えることなく焦点距離を実効的に長くなる
。従って、装置を大型にすることなく、比較的に大きな
径のピンホールが使用できるようになり、光学調整が容
易に行なえるようになる。
子が凸レンズと凹レンズとで構成されるため、集束点ま
での距離を変えることなく焦点距離を実効的に長くなる
。従って、装置を大型にすることなく、比較的に大きな
径のピンホールが使用できるようになり、光学調整が容
易に行なえるようになる。
【図１】本発明の共焦点光学系の実施例を示す。
【図２】図１の光学系に用いられる結像レンズの別の構
成を示す。
成を示す。
【図３】図１の光学系に用いられる結像レンズのさらに
別の構成を示す。
別の構成を示す。
【図４】従来例における共焦点光学系を示す。
【図５】図４の光学系において、焦点距離の短い結像レ
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
【図６】図４の光学系において、焦点距離の長い結像レ
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
１２…光源、２０…対物レンズ、２２…試料面、２４…
結像レンズ、２６…凸レンズ、２８…凹レンズ、３２…
ピンホール、３４…光電検出素子。
結像レンズ、２６…凸レンズ、２８…凹レンズ、３２…
ピンホール、３４…光電検出素子。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源と、光源からの光を試料に集束さ
せる対物レンズと、その光の集束点を試料に対して相対
的に移動させる手段と、試料からの光を集束させる結像
光学素子と、この集束光を選択的に通過させるピンホー
ルと、ピンホールを通過した光を受光する光電検出素子
とを備え、結像光学素子が試料側に配置された凸レンズ
と光電検出素子側に配置された凹レンズとを有している
共焦点光学系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126054A JP2975719B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 共焦点光学系 |
| US07/863,408 US5225671A (en) | 1991-05-29 | 1992-04-03 | Confocal optical apparatus |
| US08/004,458 US5334830A (en) | 1991-05-29 | 1993-01-14 | Scanning optical microscope having a compact confocal optical system for adjusting position of aperture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126054A JP2975719B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 共焦点光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04350818A true JPH04350818A (ja) | 1992-12-04 |
| JP2975719B2 JP2975719B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=14925501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3126054A Expired - Lifetime JP2975719B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 共焦点光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5225671A (ja) |
| JP (1) | JP2975719B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000162506A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 共焦点顕微鏡 |
| JP2002538492A (ja) * | 1999-02-23 | 2002-11-12 | メディカル リサーチ カウンシル | 走査光学顕微鏡およびその使用方法 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3151260B2 (ja) * | 1991-12-09 | 2001-04-03 | オリンパス光学工業株式会社 | 落射型ｘ線顕微鏡 |
| US5880880A (en) * | 1995-01-13 | 1999-03-09 | The General Hospital Corp. | Three-dimensional scanning confocal laser microscope |
| US5813987A (en) * | 1995-08-01 | 1998-09-29 | Medispectra, Inc. | Spectral volume microprobe for analysis of materials |
| US5713364A (en) * | 1995-08-01 | 1998-02-03 | Medispectra, Inc. | Spectral volume microprobe analysis of materials |
| US6104945A (en) * | 1995-08-01 | 2000-08-15 | Medispectra, Inc. | Spectral volume microprobe arrays |
| US6826422B1 (en) | 1997-01-13 | 2004-11-30 | Medispectra, Inc. | Spectral volume microprobe arrays |
| US6847490B1 (en) | 1997-01-13 | 2005-01-25 | Medispectra, Inc. | Optical probe accessory device for use in vivo diagnostic procedures |
| JP3438855B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2003-08-18 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
| JP3560123B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2004-09-02 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
| EP1161178A2 (en) | 1998-12-23 | 2001-12-12 | Medispectra Inc. | Systems and methods for optical examination of samples |
| EP1139864A1 (en) | 1998-12-23 | 2001-10-10 | Medispectra Inc. | Optical methods and systems for cervical screening |
| US20020007122A1 (en) * | 1999-12-15 | 2002-01-17 | Howard Kaufman | Methods of diagnosing disease |
| US7187810B2 (en) | 1999-12-15 | 2007-03-06 | Medispectra, Inc. | Methods and systems for correcting image misalignment |
| US7260248B2 (en) | 1999-12-15 | 2007-08-21 | Medispectra, Inc. | Image processing using measures of similarity |
| US20040224421A1 (en) * | 2000-06-15 | 2004-11-11 | Deweerd Herman | Bi-directional scanning method |
| US6839661B2 (en) | 2000-12-15 | 2005-01-04 | Medispectra, Inc. | System for normalizing spectra |
| DE10107210C1 (de) * | 2001-02-16 | 2002-10-10 | Evotec Ag | Mikroskop |
| US7469160B2 (en) | 2003-04-18 | 2008-12-23 | Banks Perry S | Methods and apparatus for evaluating image focus |
| US7309867B2 (en) | 2003-04-18 | 2007-12-18 | Medispectra, Inc. | Methods and apparatus for characterization of tissue samples |
| US6818903B2 (en) * | 2002-07-09 | 2004-11-16 | Medispectra, Inc. | Method and apparatus for identifying spectral artifacts |
| US7136518B2 (en) | 2003-04-18 | 2006-11-14 | Medispectra, Inc. | Methods and apparatus for displaying diagnostic data |
| US6933154B2 (en) | 2002-07-09 | 2005-08-23 | Medispectra, Inc. | Optimal windows for obtaining optical data for characterization of tissue samples |
| US7459696B2 (en) | 2003-04-18 | 2008-12-02 | Schomacker Kevin T | Methods and apparatus for calibrating spectral data |
| US7282723B2 (en) | 2002-07-09 | 2007-10-16 | Medispectra, Inc. | Methods and apparatus for processing spectral data for use in tissue characterization |
| US6768918B2 (en) | 2002-07-10 | 2004-07-27 | Medispectra, Inc. | Fluorescent fiberoptic probe for tissue health discrimination and method of use thereof |
| US7103401B2 (en) | 2002-07-10 | 2006-09-05 | Medispectra, Inc. | Colonic polyp discrimination by tissue fluorescence and fiberoptic probe |
| DE102004058833A1 (de) * | 2004-12-06 | 2006-06-08 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Optische Anordnung für ein Mikroskop und ein Mikroskop |
| CN100410719C (zh) * | 2006-10-11 | 2008-08-13 | 南开大学 | 采用虚拟共焦针孔的共焦显微成像系统 |
| CN102522683B (zh) * | 2012-01-10 | 2013-10-30 | 武汉锐科光纤激光器技术有限责任公司 | 用于高功率光纤激光器的功率合束器 |
Family Cites Families (3)
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-
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- 1992-04-03 US US07/863,408 patent/US5225671A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000162506A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 共焦点顕微鏡 |
| US6204962B1 (en) | 1998-11-30 | 2001-03-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Confocal microscope |
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